本發明涉及一種物理量傳感器、電子設備以及移動體。
背景技術：
一直以來，作為陀螺儀傳感器(角速度傳感器)而已知有專利文獻1所記載的結構。該專利文獻1所記載的陀螺傳感器具有框狀的質量部(框)、被配置于質量部的內側的可動板(振動裝置)、對可動板和框進行連結的梁部(懸架片)、和以與可動板對置的方式而配置的電極，且被構成為，當在使質量部于y軸方向上進行振動的狀態下被施加有圍繞x軸的角速度時，通過科里奧利力而使得可動板在使梁部發生扭轉變形的同時在z軸方向上進行振動。由于通過這種可動板的振動而使被形成在可動板與電極之間的靜電電容發生變化，因此能夠根據該靜電電容的變化而對被施加于陀螺傳感器上的角速度進行檢測。
然而，在這種專利文獻1的陀螺傳感器中，在向陀螺傳感器施加有可動板的面內方向上的加速度的情況下，可動板會向面內方向位移，從而存在梁部過度撓曲而損壞(裂縫的產生、斷裂等)、或者可動板與質量部發生碰撞而使可動板損壞的可能性。即，在專利文獻1的陀螺傳感器中，存在機械強度較低的這類問題。
專利文獻
專利文獻1：日本特表2008-514968號公報
技術實現要素：
本發明的目的在于，提供一種能夠發揮優良的機械強度的物理量傳感器、電子設備以及移動體。
這樣的目的通過下述的本發明來實現。
本發明的物理量傳感器的特征在于，具有：
基板；
可動板，其以與所述基板對置的方式而配置；
支承部，其對所述可動板進行支承；
梁部，其能夠進行彈性變形，且以將所述可動板設為能夠相對于所述基板而在所述基板的厚度方向上進行位移的方式對所述可動板和所述支承部進行連結；
第一限制部，其位于所述可動板與所述支承部之間，并對所述可動板的向面內方向的位移進行限制。
由此，由于通過第一限制部而限制了可動板的位移，因此能夠防止可動板的向支承部的碰撞、或梁部的過度的變形，從而能夠獲得具有優良的機械強度的物理量傳感器。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述第一限制部被設置于所述可動板上。
由此，第一限制部的配置變得容易。此外，例如能夠將第一限制部與可動板一體形成。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述可動板在俯視觀察時呈矩形形狀，
所述第一限制部被設置于所述可動板的角部處。
由此，能夠有效地減少可動板與支承部的接觸。此外，由于可動板的角部為容易因撞擊而出現缺口或破損的部位，因此通過利用第一限制部來保護這樣的部位，從而能夠有效地對可動板進行保護。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述可動板通過圍繞轉動軸傾倒從而在所述厚度方向上進行位移，并且具有如下部分，即，沿著所述旋轉軸的方向上的寬度沿著從所述旋轉軸遠離的方向而逐漸減少的部分。
由此，使可動板與支承部變得不易接觸。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述第一限制部被設置于所述支承部上。
由此，第一限制部的配置變得容易。此外，例如能夠將第一限制部與支承部一體形成。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述第一限制部被設置于所述基板上。
由此，能夠以與可動板及支承部為非接觸的方式而對第一限制部進行配置。因此，第一限制部不會對可動板及支承部的位移造成影響。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述可動板具有相互并列設置的第一可動板和第二可動板，
所述梁部具有對所述第一可動板與所述支承部進行連結的第一梁部、和對所述第二可動板與所述支承部進行連結的第二梁部，
所述物理量傳感器還具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可動板與所述第二可動板之間，并對所述第一可動板以及所述第二可動板的向面內方向的位移進行限制。
由此，能夠防止第一可動板與第二可動板的接觸。
在本發明的物理量傳感器中，優選為，所述第二限制部被設置于所述基板上。
由此，使第二限制部的配置變得容易。
本發明的電子設備的特征在于，具有本發明的物理量傳感器。
由此，能夠獲得一種機械強度優良、且具有較高可靠性的電子設備。
本發明的移動體的特征在于，具有本發明的物理量傳感器。
由此，能夠獲得一種機械強度優良、且具有較高可靠性的電子設備。
附圖說明
圖1為表示本發明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
圖2為圖1的a-a線剖視圖。
圖3為表示具有圖1所示的物理量傳感器的限制部的俯視圖。
圖4為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。
圖5為表示圖3所示的限制部的改變例的俯視圖。
圖6為表示圖3所示的限制部的改變例的俯視圖以及剖視圖。
圖7為表示本發明的第二實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
圖8為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。
圖9為表示本發明的第三實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
圖10為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。
圖11表示應用了本發明的電子設備的移動型(或筆記本型)的個人計算機的結構的立體圖。
圖12為表示應用了本發明的電子設備的便攜式電話機(也包括phs)的結構的立體圖。
圖13為表示應用了本發明的電子設備的數碼照相機的結構的立體圖。
圖14為表示應用了本發明的移動體的汽車的立體圖。
具體實施方式
以下，基于附圖所示的實施方式來對本發明的物理量傳感器、電子設備以及移動體進行詳細說明。
第一實施方式
首先，對本發明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。
圖1為表示本發明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖2為圖1的a-a線剖視圖。圖3為表示具有圖1所示的物理量傳感器的限制部的俯視圖。圖4為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。圖5為表示圖3所示的限制部的改變例的俯視圖。圖6為表示圖3所示的限制部的改變例的俯視圖以及剖視圖。另外，在以下的說明中，將互相正交的三個軸設為x軸、y軸以及z軸。此外，將沿著x軸的方向稱為“x軸方向”、將沿著y軸方向的方向稱為“y軸方向”、將沿著z軸的方向稱為“z軸方向”。
圖1及圖2所示的物理量傳感器1為，能夠對圍繞y軸的角速度ωy進行檢測的陀螺傳感器。該物理量傳感器1具有基板2、蓋體3、功能元件4和限制部6。另外，為了便于說明，在圖1中，省略了基板2以及蓋體3的圖示。
基板2具有向上表面開放的凹部21和被設置于凹部21內的支柱(突起部)22，并通過上表面和支柱22來對功能元件4進行支承。此外，在凹部21的底面21a上，設置有與功能元件4之間形成靜電電容c的四個固定檢測電極5。另一方面，蓋體3具有向下表面開放的凹部31。而且，基板2與蓋體3以通過凹部21與凹部31而形成內部空間s的方式被接合在一起，并且在內部空間s內收納有功能元件4。另外，優選為，使內部空間s處于減壓狀態(優選為，10pa以下程度)。由此，能夠減少粘性阻力，從而有效地使功能元件4進行振動(驅動)。
在本實施方式中，基板2由玻璃基板形成，蓋體3由硅基板形成。因此，能夠通過陽極接合而對基板2和蓋體3進行接合。但是，作為基板2及蓋體3的材料并未被限定于此，而且，基板2與蓋體3的接合方法也未被限定于此。
如上文所述，功能元件4被配置于內部空間s內，且與基板2的上表面和支柱22接合。這種功能元件4具有兩個結構體40(40a、40b)。兩個結構體40a、40b以在x軸方向上并排的方式被設置，并且相對于沿著y軸的假想直線α而對稱。
結構體40具有：質量部(振動部)41、驅動彈簧部42、固定部43、可動驅動電極44、固定驅動電極45、46、檢測用翼板(可動板)47、梁部48。此外，檢測用翼板47具有第一翼板(第一可動板)471和第二翼板(第二可動板)472，梁部48具有第一梁部481和第二梁部482。這種結構體40是通過利用蝕刻等(例如干蝕刻)而對摻雜了磷、硼等雜質的導電性的硅基板進行圖案形成從而被一體形成的。
質量部41為矩形的框體，且位于結構體40的中央部處。而且，在質量部41的四角上分別連接有驅動彈簧部42的一端部。驅動彈簧部42的另一端部與固定部43連接，固定部43被接合在基板2的上表面或支柱22上。由此，質量部41以及驅動彈簧部42成為如下狀態，即，以從基板2上浮起的狀態被支承的狀態。因此，通過使驅動彈簧部42在x軸方向上進行伸縮(彈性變形)，從而能夠使質量部41相對于基板2而在x軸方向上振動。另外，雖然作為固定部43與支柱22的接合方法并未被特別限定，但例如能夠使用陽極接合。
可動驅動電極44被設置于質量部41上，在本實施方式中，所述可動驅動電極44在質量部41的+y軸側設置有兩個、在-y軸側設置有兩個，總計設置有四個。這些可動驅動電極44成為具備從質量部41起向y軸方向延伸的干部、和從該干部起向x軸方向延伸的支部的梳齒形狀。另一方面，固定驅動電極45、46被接合(固定)在基板2上。固定驅動電極45、46以與可動驅動電極44對置的方式而設置，且可動驅動電極44位于固定驅動電極45、46之間。此外，固定驅動電極45、46成為具備在y軸方向上延伸的干部、和從該干部起向x軸方向延伸的支部的梳齒形狀。
因此，當向可動驅動電極44與固定驅動電極45、46之間施加驅動電壓時，在可動驅動電極44與固定驅動電極45、46之間將產生靜電力，由此，能夠在使驅動彈簧部42在x軸方向上伸縮的同時，使質量部41在x軸方向上振動(驅動)。在此，在結構體40a與結構體40b中，固定驅動電極45與固定驅動電極46的配置是相反(對稱)的。因此，結構體40a的質量部41與結構體40b的質量部41以互相接近或遠離的方式在x軸方向上以反相進行振動。由此，能夠抵消結構體40a、40b的振動，從而能夠減少振動泄漏。
另外，雖然在本實施方式中，如上文所述對通過靜電力而使質量部41振動的方式(靜電驅動方式)進行了說明，但使質量部41振動的方法并未被特別限定，也能夠應用壓電驅動方式或利用了磁場的洛倫茨力的電磁驅動方式等。
第一、第二翼板471、472位于質量部41的內側，且以在y軸方向上并列的方式而配置。此外，第一、第二翼板471、472分別呈矩形的板狀。此外，第一翼板471在+y軸側的端部處通過第一梁部481而與質量部41連結，第二翼板472在-y軸側的端部處通過第二梁部482而與質量部41連結。這種第一、第二翼板471、472在通過向使質量部41于x軸方向上振動的狀態下的物理量傳感器1施加有圍繞y軸的角速度ωy，從而因科里奧利力而使第一、第二梁部481、482發生扭轉變形(彈性變形)的同時，圍繞由第一、第二梁部481、482形成的轉動軸j1、j2而進行轉動(位移)。
限制部6對檢測用翼板47(第一、第二翼板471、472)的面內方向上的過度的位移進行限制，主要具有減少功能元件4的破損的功能。
這種限制部6具有位于第一、第二翼板471、472與質量部41之間的第一限制部61。另外，由于位于第一翼板471和質量部41之間的第一限制部61與位于第二翼板472和質量部41之間的第一限制部61為相同的結構，因此在下文中，為了便于說明，而以位于第一翼板471與質量部41之間的第一限制部61為代表來進行說明。
如圖3所示，第一限制部61位于第一翼板471與質量部41之間。而且，第一限制部61被設計為，在由于向物理量傳感器1施加的力(加速度、角速度)而像圖4所示那樣使第一翼板471向x軸方向或向y軸方向或圍繞z軸進行位移的情況下，與質量部41接觸。通過設置這樣的第一限制部61，從而能夠防止第一翼板471的過度的位移，由此能夠降低由第一梁部481的過度的變形所造成的損壞(斷裂、裂縫的產生等)或由與第二梁部482的接觸所造成的損壞。此外，由于減少了第一翼板471向質量部41的沖擊，因此也能夠減少第一翼板471的損壞。因此，成為了機械強度較高的物理量傳感器1。此外，通過設置第一限制部61，從而能夠降低第一翼板471與質量部41之間的電吸附或電吸引。
換言之，第一限制部61被構成為，在第一梁部481過度變形之前、在第一梁部481與第二梁部482接觸之前、以及在第一翼板471與質量部41接觸之前，與質量部41接觸。
第一限制部61在第一翼板471的側面上被設置有多個，并且以向第一翼板471的外側突出的方式而設置。由此，能夠使第一限制部61的配置變得容易，并且能夠更可靠地使第一限制部61位于第一翼板471與質量部41之間。此外，由于能夠將第一限制部61與第一翼板471一體形成，因此使第一限制部61的形成變得容易。另外，雖然在本實施方式中，第一限制部61與第一翼板471一體形成(即，由硅基板形成)，但第一限制部61也可以不與第一翼板471一體形成。在該情況下，例如，能夠通過利用天然橡膠、硅酮橡膠等比較柔軟的樹脂材料(與硅相比楊氏模量較大的材料)來形成第一限制部61，從而得到彈性較為優良的第一限制部61。
此外，第一限制部61被設置于第一翼板471的自由端側(+y軸側)的角部處，且包括從角部向x軸方向突出的突出片611和從角部向y軸方向突出的突出片612。因此，在第一翼板471相對于質量部41而在x軸方向上發生了位移的情況下，通過突出片611與質量部41接觸，從而限制了第一翼板471的該限制以上的位移。此外，在第一翼板471相對于質量部41而在y軸方向上發生了位移的情況下，通過突出片612與質量部41接觸，從而限制了第一翼板471的該限制以上的位移。此外，在第一翼板471相對于質量部41而圍繞z軸發生了位移的情況下，通過突出片611、612中的至少一方與質量部41接觸，從而限制了第一翼板471的該限制以上的位移。如此，通過將第一限制部61設為上述的結構，從而無論第一翼板471的面內方向上的何種位移，均能夠有效地對其進行限制。但是，只要能夠對上述的第一翼板471的位移進行限制即可，第一限制部61的配置與數量并不限定于本實施方式的配置與數量。
此外，第一限制部61的頂端部由彎曲凸面構成。由此，能夠有效地減少與質量部41發生碰撞時的第一限制部61的損壞。但是，作為第一限制部61的形狀，只要能夠對上述的第一翼板471的過度的位移進行限制即可，并未被限定于本實施方式的形狀。
以上，對限制部6(第一限制部61)進行了說明。雖然在本實施方式中，對第一限制部61被設置于第一、第二翼板471、472的側面上的結構進行了說明，但作為第一限制部61的配置，只要位于第一、第二翼板471、472與質量部41之間即可，并未被特別限定。
例如，如圖5所示，第一限制部61也可以被設置在質量部41的內周面上，并朝向質量部41的內側突出。通過采用這種結構，從而能夠使第一限制部61的配置變得容易，并且能夠更可靠地使第一限制部61位于第一翼板471與質量部41之間。此外，由于能夠使第一限制部61與質量部41一體形成，因此第一限制部61的形成變得容易。雖然在圖5的結構中，第一限制部61與質量部41一體形成，但第一限制部61也可以不與質量部41一體形成。在該情況下，例如，能夠利用天然橡膠、硅酮橡膠等比較柔軟的樹脂材料來形成第一限制部61，由此，能夠獲得彈性較為優良的第一限制部61。
此外，如圖6所示，第一限制部61也可以被基板2支承，并以與第一翼板471以及質量部41為非接觸的方式被設置。如此，通過以與第一翼板471以及質量部41為非接觸的方式來設置第一限制部61，從而能夠使第一限制部61不給振動部41的振動或第一翼板471的位移帶來影響，而使振動部41以及第一翼板471順暢地進行位移。此外，雖然在本實施方式或圖5所示的結構中，在第一翼板471與質量部41的間隔距離較大的情況下，必須隨此而將第一限制部61形成得較大，但根據本結構，即使第一翼板471與質量部41的間隔距離較大，第一限制部61也不會大型化。另外，在該情況下，優選為，第一限制部61與第一翼板471以同電位的方式連接，或者電浮置(被絕緣)。
這種第一限制部61例如能夠由形成功能元件4的硅基板而形成。如果簡單地進行說明，則功能元件4是通過如下方式而被形成的，即，首先，將未實施圖案形成的硅基板接合在基板2上，之后，對硅基板進行圖案形成，但是也能夠在該圖案形成時與功能元件4一起形成第一限制部61。根據這種方法，由于能夠同時形成功能元件4與第一限制部61，因此不會產生工序的增加等情況。但是，第一限制部61也可以由天然橡膠、硅酮橡膠等比較柔軟的樹脂材料來形成，在該情況下，能夠獲得彈性較為優良的第一限制部61。
在基板2的與第一、第二翼板471、472對置的區域(在從z軸方向進行觀察的俯視觀察時重疊的區域)內設置有固定檢測電極5，在第一翼板471與固定檢測電極5之間以及第二翼板472與固定檢測電極5之間分別形成有靜電電容c。如前文所述，當因角速度ωy而使第一、第二翼板471、472圍繞轉動軸j1、j2而進行位移(傾倒)時，由于靜電電容c的大小會發生變化，因此能夠根據該靜電電容c的變化而對角速度ωy進行檢測。另外，作為固定檢測電極5的構成材料，只要具有導電性即可，并未被特別限定，例如，能夠使用鋁、金、鉑金、ito(indiumtinoxide：氧化銦錫)等。
以上，對物理量傳感器1的形狀進行了說明。接下來，對物理量傳感器1的動作進行說明。首先，向可動驅動電極44與固定驅動電極45、46之間施加驅動電壓，使結構體40a的質量部41與結構體40b的質量部41以反相且以預定的頻率在x軸方向上進行振動。當在該狀態下向物理量傳感器1施加有圍繞y軸的角速度ωy時，科里奧利力將發揮作用，從而使結構體40a的第一、第二翼板471、472與結構體40b的第一、第二翼板471、472圍繞轉動軸j1、j2(在z軸方向上)而以反相的方式進行位移。由于第一、第二翼板471、472發生位移，從而使第一、第二翼板471、472與固定檢測電極5之間的間隙發生變化，伴隨于此靜電電容c發生變化。因此，通過對該靜電電容c的變化量進行檢測，從而能夠求出角速度ωy。
以上，對第一實施方式所涉及的物理量傳感器進行了說明。雖然在本實施方式中，結構體40所具有的檢測用翼板47具有兩個翼板(即第一、第二翼板471、472)，但作為翼板的數量并未被特別限定，例如也可以為一個。此外，作為第一、第二翼板471、472的朝向，也未被特別限定，例如既可以以使相互的自由端彼此對置(即，第一翼板471的自由端朝向-y軸側，第二翼板472的自由端朝向+y軸側)的方式而配置，也可以以使相互的自由端朝向相同的方向(即，均朝向+y軸方向或-y軸方向)的方式而配置。
第二實施方式
接下來，對本發明的第二實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。
圖7為表示本發明的第二實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖8為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。
在本實施方式所涉及的物理量傳感器中，主要是檢測用翼板的形狀與限制部的結構有所不同，除此以外，均與前述的第一實施方式所涉及的物理量傳感器相同。
另外，在以下的說明中，關于第二實施方式的物理量傳感器，以其與前述的實施方式的不同點為中心來進行說明，關于相同的事項則省略其說明。此外，由于第一、第二翼板互為相同的結構，因此在下文中，以第一翼板為代表來進行說明。此外，在圖7以及圖8中，對與前述的實施方式相同的結構標注相同的符號。
如圖7所示，本實施方式的第一翼板471呈寬度(x軸方向上的寬度)w越趨向于頂端側(從旋轉軸j1離開的方向)越逐漸減小的錐形形狀(梯形形狀)。通過將第一翼板471設為這種形狀，從而在第一翼板471相對于質量部41而在x軸方向上或圍繞z軸發生位移時使第一翼板471不易與質量部41接觸。此外，如圖8所示，即使在第一翼板471圍繞z軸發生位移而與質量部41接觸的情況下，也能夠使第一翼板471的側面與質量部41的內周面進行面接觸。因此，能夠緩和接觸時的沖擊(應力集中)，從而能夠減少第一翼板471或質量部41的損壞。另外，在本實施方式中，由于在第一翼板471的x軸方向上的位移過程中，不易與質量部41接觸，因此從第一限制部61中省略了突出片611。因此，第一限制部61的結構與前述的第一實施方式相比而變得簡單。
通過這種第二實施方式，也能夠發揮與前述的第一實施方式相同的效果。
第三實施方式
接下來，對本發明的第三實施方式所涉及的物理量傳感器進行說明。
圖9為表示本發明的第三實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖10為表示檢測用翼板的向面內方向的位移的俯視圖。
在本實施方式所涉及的物理量傳感器中，主要是限制部的結構有所不同，除此以外，均與前述的第一實施方式所涉及的物理量傳感器相同。
另外，在以下的說明中，關于第三實施方式的物理量傳感器，以其與前述的實施方式的不同點為中心來進行說明，關于相同的事項則省略其說明。此外，在圖9中對與前述的實施方式相同的結構標注相同的符號。
圖9所示的限制部6除了具有第一限制部61以外，還具有第二限制部62。第二限制部62位于第一翼板471與第二翼板472之間，并對第一、第二翼板471、472的向面內方向的過度的位移進行限制。具體而言，第二限制部62被設計為，在由于施加于物理量傳感器1上的力(加速度、角速度)而像圖10所示那樣使第一、第二翼板471、472在y軸方向上以及圍繞z軸而發生位移的情況下，在第一翼板471與第二翼板472接觸之前與第一、第二翼板471、472接觸。因此，能夠防止第一、第二翼板471、472的過度的位移，從而能夠減少由第一、第二梁部481、482的過度變形所造成的損壞(斷裂、裂縫的產生等)、或由第一、第二梁部481、482彼此的接觸所造成的損壞。如此，通過具有第二限制部62，從而成為了機械強度較高的物理量傳感器1。
此外，第二限制部62被基板2支承，并且以從基板2的上表面突出的方式而設置。此外，第二限制部62以與第一、第二翼板471、472為非接觸的方式而設置。如此，通過以與第一、第二翼板471、472為非接觸的方式來設置第二限制部62，從而能夠使第二限制部62不給第一、第二翼板471、472的位移帶來影響，而使第一、第二翼板471、472順暢地進行位移。
此外，優選為，第二限制部62與第一、第二翼板471、472電連接或為相同電位或者電浮置(被絕緣)。
這樣的第二限制部62例如能夠由形成功能元件4的硅基板而形成。但是，第二限制部62例如也能夠由天然橡膠、硅酮橡膠等比較柔軟的樹脂材料而形成，由此，能夠獲得彈性較為優良的第二限制部62。
通過這種第三實施方式，也能夠發揮與前述的第一實施方式相同的效果。
接下來，對具備本發明的物理量傳感器的電子設備進行說明。
圖11為表示應用了本發明的電子設備的移動型(或筆記本型)的個人計算機的結構的立體圖。
在該圖中，個人計算機1100由具有鍵盤1102的主體部1104、和具有顯示部1108的顯示單元1106構成，并且顯示單元1106通過鉸鏈結構部而以能夠相對于主體部1104進行轉動的方式被支承。在這種個人計算機1100中，內置有物理量傳感器1。
圖12為表示應用了本發明的電子設備的便攜式電話機(也包括phs(personalhandy-phonesystem：個人手持式電話系統))的結構的立體圖。
在該圖中，便攜式電話機1200具有天線(未圖示)、多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動電話1200中，內置有物理量傳感器1。
圖13為表示應用了本發明的電子設備的數碼照相機的結構的立體圖。
在數碼照相機1300的外殼(主體)1302的背面上設置有顯示部1310，并且成為根據由ccd(charge-coupleddevice：電荷耦合元件)生成的拍攝信號而進行顯示的結構，顯示部1310作為將被攝體以電子圖像的形式來顯示的取景器而發揮功能。此外，在外殼1302的正面側(圖中背面側)設置有包含光學鏡片(攝像光學系統)或ccd等在內的受光單元1304。而且，當拍攝者對被顯示在顯示部1310上的被攝體圖像進行確認，并按下快門按鈕1306時，該時間點上的ccd的攝像信號會被傳輸并存儲在存儲器1308中。在這種數碼照相機1300中，內置有例如被用于手抖校正中的物理量傳感器1。
由于這種電子設備具備物理量傳感器1，因此具有優良的可靠性。
另外，本發明的電子設備除了能夠應用于圖11的個人計算機、圖12的便攜式電話機、圖13的數碼照相機之外，還能夠應用于如下的裝置中，例如：智能手機、平板終端、時鐘(包括智能手表)、噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機)、膝上型個人計算機、電視機、攝像機、錄像機、車輛導航裝置、尋呼器、電子記事本(也包括附帶通信功能的產品)、電子辭典、電子計算器、電子游戲機、文字處理機、工作站、電視電話、防盜用視頻監視器、電子雙筒望遠鏡、pos(pointofsale：銷售點)終端、醫療設備(例如，電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖測量裝置、超聲波診斷裝置、電子內窺鏡)、魚群探測器、各種測量設備、計量儀表類(例如，車輛、飛機、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等。
接下來，對本發明的移動體進行說明。
圖14為表示應用了本發明的移動體的汽車的立體圖。
如圖14所示，在汽車1500中內置有物理量傳感器1，例如通過物理量傳感器1而能夠對車身1501的姿態進行檢測。物理量傳感器1的檢測信號被供給至車身姿態控制裝置1502，車身姿態控制裝置1502根據該信號而對車身1501的姿態進行檢測，并且能夠根據檢測結果而對懸架的軟硬進行控制，或者對各個車輪1503的制動器進行控制。除此之外，也能夠在雙足步行機器人或無線電遙控直升機(包括無人機)中利用這樣的姿態控制。如上文所述，為了實現各種移動體的姿態控制，而組裝有物理量傳感器1。
以上，雖然根據圖示的實施方式而對本發明的物理量傳感器、電子設備以及移動體進行了說明，但本發明并不限定于此，各個部的結構能夠置換為具有相同功能的任意的結構。此外，在本發明中也可以附加其他的任意的結構物。
此外，雖然在前述的實施方式中對檢測用翼板圍繞轉動軸進行轉動的結構進行了說明，但作為檢測用翼板，只要能夠在z軸方向上進行位移即可，可以進行任意方式的位移。例如，檢測用翼板既可以圍繞轉動軸進行杠桿擺動，也可以保持姿態不變地在z軸方向上進行位移。即，既可以是杠桿擺動型的物理量傳感器，也可以是平行平板型的物理量傳感器。
此外，作為物理量傳感器，并不限定于對角速度進行檢測的陀螺傳感器，例如也可以為加速度傳感器、氣壓傳感器等的對角速度以外的物理量進行檢測的物理量傳感器。
符號說明
1…物理量傳感器；2…基板；21…凹部；21a…底面；22…支柱；3…蓋體；31…凹部；4…功能元件；40、40a、40b…結構體；41…質量部；411…凹部；411a…接觸面；42…驅動彈簧部；43…固定部；44…可動驅動電極；45、46…固定驅動電極；47…檢測用翼板；471…第一翼板；472…第二翼板；48…梁部；481…第一梁部；482…第二梁部；5…固定檢測電極；6…限制部；61…第一限制部；611、612…突出片；62…第二限制部；1100…個人計算機；1102…鍵盤；1104…主體部；1106…顯示單元；1108…顯示部；1200…便攜式電話機；1202…操作按鈕；1204…聽筒；1206…話筒；1208…顯示部；1300…數碼照相機、1302…外殼；1304…受光單元；1306…快門按鈕；1308…存儲器；1310…顯示部；1500…汽車；1501…車身；1502…車身姿態控制裝置；1503…車輪；c…靜電電容；j1、j2…轉動軸；s…內部空間；w…寬度；α…假想直線；ωy…角速度。