一種亞微米級位移傳感器的制作方法

本發明涉及位移傳感器設備技術領域，具體為一種亞微米級位移傳感器。

背景技術：

位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種屬于金屬感應的線性器件，傳感器的作用是把各種被測物理量轉換為電量。在生產過程中，位移的測量一般分為測量實物尺寸和機械位移兩種。按被測變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數字式兩種。模擬式又可分為物性型和結構型兩種。常用位移傳感器以模擬式結構型居多，包括電位器式位移傳感器、電感式位移傳感器、自整角機、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。數字式位移傳感器的一個重要優點是便于將信號直接送入計算機系統。這種傳感器發展迅速，應用日益廣泛。

電位器式位移傳感器，位移傳感器它通過電位器元件將機械位移轉換成與之成線性或任意函數關系的電阻或電壓輸出。普通直線電位器和圓形電位器都可分別用作直線位移和角位移傳感器。但是，為實現測量位移目的而設計的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個確定關系。電位器式位移傳感器的可動電刷與被測物體相連。

目前的位移傳感器在使用過程中存在許多不足之處，磨損程度大，因要輸出微弱，測量精度低等問題，因此需要一種亞微米級位移傳感器。

技術實現要素：

本發明的目的在于提供一種亞微米級位移傳感器，以解決上述背景技術中提出磨損程度大，因要輸出微弱，測量精度低的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種亞微米級位移傳感器，包括機體外殼和微型處理器,所述機體外殼的一側安裝有頂端堵頭，所述頂端堵頭的中心處安裝有數據連接裝置，所述機體外殼的另一側安裝有防塵罩，所述防塵罩的內部安裝有位移連桿機構，所述位移連桿機構的下方安裝有主體基座，所述位移連桿機構的一側安裝有光感元件，所述光感元件上安裝有發光源，所述微型處理器安裝在機體外殼的內部，所述微型處理器的上方安裝有驅動控制器，所述驅動控制器的一側安裝有數據采集裝置，所述數據采集裝置的一側安裝有限位器，所述限位器的右側安裝有編碼器，所述編碼器的上方安裝有激光發生器。

優選的，所述頂端堵頭的外側安裝有緊固螺栓。

優選的，所述限位器、數據采集裝置、驅動控制器、激光發生器和編碼器均與微型處理器電性連接。

優選的，所述發光源和光感元件均設置有兩個。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：該設備結構科學合理，使用安全方便，具有構簡單，輸出信號大，測量精度高，磨損低等優點；設置有光感元件和激光發生器，因此傳感器輸出信號為絕對位移值，即使電源中斷、重接，數據也不會丟失，更無須重新歸零，由于光感元件是非接觸的，就算不斷重復檢測，也不會對傳感器造成任何磨損，可以大大地提高檢測的可靠性和使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明的內部結構示意圖。

圖中：1-位移連桿機構；2-防塵罩；3-機體外殼；4-頂端堵頭；5-數據連接裝置；6-緊固螺栓；7-發光源；8-光感元件；9-主體基座；10-限位器；11-數據采集裝置；12-驅動控制器；13-微型處理器；14-激光發生器；15-編碼器。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1和圖2，本發明提供的一種亞微米級位移傳感器實施例：一種亞微米級位移傳感器，包括機體外殼3和微型處理器13,機體外殼3的一側安裝有頂端堵頭4，頂端堵頭4的中心處安裝有數據連接裝置5，機體外殼3的另一側安裝有防塵罩2，防塵罩2的內部安裝有位移連桿機構1，位移連桿機構1的下方安裝有主體基座9，位移連桿機構1的一側安裝有光感元件8，光感元件8上安裝有發光源7，微型處理器13安裝在機體外殼3的內部，微型處理器13的上方安裝有驅動控制器12，驅動控制器12的一側安裝有數據采集裝置11，數據采集裝置11的一側安裝有限位器10，限位器10的右側安裝有編碼器15，編碼器15的上方安裝有激光發生器1，頂端堵頭4的外側安裝有緊固螺栓6，限位器10、數據采集裝置11、驅動控制器12、激光發生器14和編碼器15均與微型處理器13電性連接，發光源7和光感元件8均設置有兩個。

工作原理：該亞微米級位移傳感器使用時，激光發生器14產生的激光經過發光源7進行工作，傳感器輸出光源信號為絕對位移值，即使電源中斷、重接，數據也不會丟失，更無須重新歸零，由于光感元件8與發光源7是非接觸的，因此傳感器造成任何磨損，之后在數據采集裝置11和微型處理器12的計算后，將數據通過數據連接裝置5輸送到外部設備。

對于本領域技術人員而言，顯然本發明不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本發明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本發明。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發明的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本發明內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。