一種用于光譜儀真空腔室蓋板裝置的制作方法

本發明屬于機械領域，尤其涉及一種用于光譜儀真空腔室蓋板裝置。

背景技術：

光譜儀測量時需要將樣品放入真空腔體中進行測量，具體操作過程為：腔室蓋板打開，內外大氣相通，放入樣品，隨后腔室蓋板關閉，開始抽真空，要求真空密封性好，由于大氣壓強很大，機械機構承受很大的壓力變化；同時為了保護樣品，應盡可能避免沖擊效應，因此迫切需要尋找一種能夠解決此問題的機械機構。

技術實現要素：

有鑒于此，需要克服現有技術中的上述缺陷中的至少一個，本發明提供了一種用于光譜儀真空腔室蓋板裝置。

所述一種用于光譜儀真空腔室蓋板裝置包括蓋板，第一密封部件，第二密封部件；所述蓋板下部具有凹下的蓋板腔室，所述蓋板腔室內有凸起支柱；所述第一密封部件安裝在所述蓋板腔室內部，且與所述凸起支柱對應位置具有配合通孔，所述第一密封部件下部具有第一密封腔室，所述第一密封部件與所述蓋板通過第一聯接件聯接所述凸起支柱和所述配合通孔進行聯接；所述第二密封部件安裝在所述第一密封腔室內且位于所述配合通孔下部且通過與所述第一密封部件聯接的第二聯接件封閉所述配合通孔；所述第一聯接件或所述凸起支柱部位外壁安裝有彈性件，所述彈性件位于所述第一聯接件或所述凸起支柱部位外壁和所述配合通孔內壁之間，所述蓋板通過位于自身一端的軸進行轉動開合。

根據本專利背景技術中對現有技術所述，現有技術蓋板結構單一，當進行抽真空時，由于高密閉性的要求，機械蓋板結構需要承受很大的作用力，剛性聯接易形變受損，且壓力反差變化大會對樣品造成影響；而本發明公開的真空腔室蓋板裝置，通過采用蓋板腔室、凸起支柱、彈性件、第一密封部件和第二密封部件的配合，使得在抽真空的過程中，蓋板結構受力時會有一個緩沖作用并能夠在一定范圍內自動調整位置，增強了密閉性，同時樣品腔室不會受到急劇變化的壓力影響，保護了待檢測樣品，因此具有明顯的優點。

另外，根據本發明公開的用于光譜儀真空腔室蓋板裝置還具有如下附加技術特征：

進一步地，所述凸起支柱內有螺紋孔，所述第一聯接件為具有外螺紋的聯接件，所述彈性件通過所述第一聯接件將所述第一密封部件與所述蓋板進行聯接。

進一步地，所述彈性件為圓筒形彈性體或彈片。

更進一步地，所述彈片為碟形彈片。

碟形彈片的使用可以讓蓋板和第一密封部件之間具有誤差吸收功能，使得抽真空的時候，第一密封部件和蓋板之間能夠自動進行位置調整，使得真空密封性能更好。

進一步地，所述第一密封部件的第一密封腔室為具有向下開口且具有周壁的腔室，所述周壁頂面具有周壁密封槽。

更進一步地，所述周壁密封槽內裝有密封部件。

進一步地，所述第一密封部件的第一密封腔室為具有向下開口且具有周壁的腔室，形成所述配合通孔位于所述第一密封腔室內的頂面具有通孔密封槽。

更進一步地，所述通孔密封槽內裝有密封部件。

可選地，所述密封部件為密封圈。

優選地，所述密封圈為橫截面為圓形或X型的密封圈。

本發明附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。

附圖說明

本發明的上述和/或附加的方面和優點從下面結合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是用于光譜儀真空腔室蓋板裝置的示意圖；

圖2是用于光譜儀真空腔室蓋板裝置的剖面示意圖；

圖3是圖2中A部分的放大示意圖；

圖中，蓋板100，蓋板腔室101，凸起支柱102，軸103，第一密封部件200，第一密封腔室201，配合通孔202，周壁203，周壁密封槽204，密封部件205，通孔密封槽206，第一聯接件300, 彈性件301，第二密封部件400，第二聯接件401。

具體實施方式

下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件；下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發明，而不能解釋為對本發明的限制。

在本發明的描述中，需要理解的是，術語 “上”、“下”、“底”、“頂”、“前”、“后”、“內”、“外”、“橫”、“豎”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發明的限制。

在本發明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“連接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。

本發明的發明構思如下，通過采用蓋板腔室、凸起支柱、彈性件、第一密封部件和第二密封部件的配合，使得在抽真空的過程中，蓋板結構受力時會有一個緩沖作用，且樣品腔室不會受到急劇變化的壓力影響，保護了待檢測樣品，因此具有明顯的優點。

下面將參照附圖來描述本發明，其中圖1是用于光譜儀真空腔室蓋板裝置的示意圖；圖2是用于光譜儀真空腔室蓋板裝置的剖面示意圖；圖3是圖2中A部分的放大示意圖。

如圖1-3所示，根據本發明的實施例，所述用于光譜儀真空腔室蓋板裝置包括：蓋板100，第一密封部件200，第二密封部件400； 所述蓋板100下部具有凹下的蓋板腔室101，所述蓋板腔室101內有凸起支柱102；所述第一密封部件200安裝在所述蓋板腔室101內部，且與所述凸起支柱102對應位置具有配合通孔202，所述第一密封部件200下部具有第一密封腔室201，所述第一密封部件200與所述蓋板100通過第一聯接件300聯接所述凸起支柱102和所述配合通孔202進行聯接；所述第二密封部件400安裝在所述第一密封腔室201內且位于所述配合通孔202下部且通過與所述第一密封部件200聯接的第二聯接件401封閉所述配合通孔202；所述第一聯接件300或所述凸起支柱102部位外壁安裝有彈性件301，所述彈性件301位于所述第一聯接件300或所述凸起支柱102部位外壁和所述配合通孔202內壁之間，所述蓋板100通過位于自身一端的軸103進行轉動開合。

根據本專利背景技術中對現有技術所述，現有技術蓋板結構單一，當進行抽真空時，由于高密閉性的要求，機械蓋板結構需要承受很大的作用力，且壓力反差變化大會對樣品造成影響；而本發明公開的真空腔室蓋板裝置，通過采用蓋板腔室101、凸起支柱102、彈性件301、第一密封部件200和第二密封部件400的配合，使得在抽真空的過程中，蓋板結構受力時會有一個緩沖作用，且樣品腔室不會受到急劇變化的壓力影響，保護了待檢測樣品，因此具有明顯的優點。

另外，根據本發明公開的用于光譜儀真空腔室蓋板裝置還具有如下附加技術特征：

根據本發明的一些實施例，所述彈性件301為圓筒形彈性體或彈片。

根據本發明的一些實施例，彈片為碟形彈片。

根據本發明的一些實施例，所述第一密封部件200的第一密封腔室201為具有向下開口且具有周壁203的腔室，所述周壁203頂面具有周壁密封槽204。

根據本發明的一些實施例，所述周壁密封槽204內裝有密封部件205。

根據本發明的一些實施例，所述第一密封部件200的第一密封腔室201為具有向下開口且具有周壁203的腔室，形成所述配合通孔202位于所述第一密封腔室201內的頂面具有通孔密封槽206。

根據本發明的一些實施例，其特征在于，所述通孔密封槽206內裝有密封部件205。

根據本發明的一些實施例，所述密封部件205為密封圈。

根據本發明的一些實施例，所述密封圈為橫截面為圓形密封圈或X型密封圈。

任何提及“一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結合該實施例描述的具體構件、結構或者特點包含于本發明的至少一個實施例中；在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例；而且，當結合任何實施例描述具體構件、結構或者特點時，所主張的是，結合其他的實施例實現這樣的構件、結構或者特點均落在本領域技術人員的范圍之內。

盡管參照本發明的多個示意性實施例對本發明的具體實施方式進行了詳細的描述，但是必須理解，本領域技術人員可以設計出多種其他的改進和實施例，這些改進和實施例將落在本發明原理的精神和范圍之內；具體而言，在前述公開、附圖以及權利要求的范圍之內，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進，而不會脫離本發明的精神；除了零部件和/或布局方面的變型和改進，其范圍由所附權利要求及其等同物限定。