掃描電子顯微鏡測試用樣品盒及利用其進行測試的方法與流程

本發明屬于材料化學研究工具領域，具體涉及一種掃描電子顯微鏡測試用樣品盒及利用其進行測試的方法。

背景技術：

掃描電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope），簡稱SEM，是1965年發明的細胞生物學研究工具，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射，二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。

發展至今，描電子顯微鏡已廣泛應用于材料化學研究等多個領域，對很多常規樣品表面形貌的測試分析非常有效，但是，隨著科學研究的不斷深入，出現了一些對空氣和水敏感的研究樣品，使用現有描電子顯微鏡所配備的樣品盒無法實現對這些樣品的測試，因此，需要設計一種新的樣品盒，保證樣品在轉移和測試的過程中避免與水分和空氣接觸。

技術實現要素：

本發明的目的是為了解決現有描電子顯微鏡所配備的樣品盒存在的上述問題，提供了一種掃描電子顯微鏡測試用樣品盒及利用其進行測試的方法，其技術方案如下：

一種掃描電子顯微鏡測試用樣品盒，它包含盒體、盒蓋、密封圈、連接軸、開蓋扭簧和單向抽氣閥，盒體是導電金屬材質的，如不銹鋼，鋁合金等，在盒體的開口處設置有盒蓋，在盒體與盒蓋之間設置有密封圈，盒體與盒蓋通過連接軸沿開合方向轉動連接，在連接軸上設置有開蓋扭簧，使盒蓋在自然條件下處于打開狀態，在盒體上設置有單向抽氣閥，可以抽掉盒內氣體。

利用上述掃描電子顯微鏡測試用樣品盒進行測試的方法，它包含如下步驟：

第一步，在盒體內部底面上粘導電膠，并在導電膠上粘測試樣品，粘測試樣品要在存儲樣品的空間內進行，由于測試樣品對空氣和水敏感，所以要存儲在充滿氬氣等惰性氣體的空間內，粘測試樣品后合上盒蓋，用夾子將盒體與盒蓋夾緊；

第二步，利用抽真空裝置與單向抽氣閥連接進行抽真空，抽真空完成后，將夾子取下，在氣壓作用下開蓋扭簧不會驅動盒蓋打開；

第三步，將樣品盒轉移至掃描電子顯微鏡的腔體中，對掃描電子顯微鏡的腔體進行抽真空至盒蓋自動打開，當掃描電子顯微鏡腔體中的真空度與樣品盒中的真空度接近時，開蓋扭簧便會驅動盒蓋打開；

第四步，操作掃描電子顯微鏡將樣品盒升至合適的高度進行測試。

本發明的有益效果為：可以用于測試對空氣和水分敏感的樣品，整個過程中樣品處于真空或氬氣環境中，有效的防止該類樣品發生變質，能準確測試樣品表面形貌和表面元素分布等特征。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是圖1的分解示意圖；

圖3是本發明合上盒蓋的狀態示意圖。

具體實施方式

參照圖1至圖3，一種掃描電子顯微鏡測試用樣品盒，它包含盒體1、盒蓋2、密封圈3、連接軸4、開蓋扭簧5和單向抽氣閥6，盒體1是導電金屬材質的，如不銹鋼，鋁合金等，在盒體1的開口處設置有盒蓋2，在盒體1與盒蓋2之間設置有密封圈3，盒體1與盒蓋2通過連接軸4沿開合方向轉動連接，在連接軸4上設置有開蓋扭簧5，使盒蓋2在自然條件下處于打開狀態，在盒體1上設置有單向抽氣閥6，可以抽掉盒內氣體。

利用上述掃描電子顯微鏡測試用樣品盒進行測試的方法，它包含如下步驟：

第一步，在盒體1內部底面上粘導電膠，并在導電膠上粘測試樣品，粘測試樣品要在存儲樣品的空間內進行，由于測試樣品對空氣和水敏感，所以要存儲在充滿氬氣等惰性氣體的空間內，粘測試樣品后合上盒蓋2，用夾子將盒體1與盒蓋2夾緊；

第二步，利用抽真空裝置與單向抽氣閥6連接進行抽真空，抽真空完成后，將夾子取下，在氣壓作用下開蓋扭簧5不會驅動盒蓋2打開；

第三步，將樣品盒轉移至掃描電子顯微鏡的腔體中，對掃描電子顯微鏡的腔體進行抽真空至盒蓋2自動打開，當掃描電子顯微鏡腔體中的真空度與樣品盒中的真空度接近時，開蓋扭簧5便會驅動盒蓋2打開；

第四步，操作掃描電子顯微鏡將樣品盒升至合適的高度進行測試。

優選的是，在盒體1的與密封圈3對應的位置設置有深度小于密封圈3高度的凹槽1-1，用于放置密封圈3。

優選的是，本樣品盒包含夾子，便于將盒體1與盒蓋2夾緊。

優選的是，盒蓋2采用透明材質或在盒蓋2上設置有觀察窗，便于觀察樣品在樣品盒中的位置分布情況。