粒子感測裝置、以及具有粒子感測裝置的電子設(shè)備的制作方法

本發(fā)明涉及一種粒子感測裝置，且特別是有關(guān)于一種粒子感測裝置及具有所述粒子感測裝置的電子設(shè)備，可感測空氣中的懸浮微粒(particulatematter，pm)。

背景技術(shù)：

近年來，隨著環(huán)保意識的提升，人們逐漸重視生活環(huán)境中的空氣品質(zhì)。懸浮微粒是指微粒與液滴的混合物，用以作為空氣污染的指標(biāo)。其中，由于直徑小于等于10微米的細(xì)顆粒物可通過喉嚨與鼻子而進(jìn)入肺部，現(xiàn)今將懸浮微粒2.5與懸浮微粒10定義為影響人體健康的主要指標(biāo)。懸浮微粒2.5(particulatematter2.5，pm2.5)是指大氣中直徑(aerodynamicdiameter)小于等于2.5微米(micrometer)的細(xì)顆粒物(fineparticles)，而懸浮微粒10(particulatematter10，pm10)是指大氣中直徑小于等于10微米的可吸入粗顆粒物(inhalablecoarseparticles)。由于懸浮微粒的粒徑很小，所以，懸浮微?？梢栽诖髿庵型Ａ艉芫玫臅r(shí)間且輸送很遠(yuǎn)的距離。結(jié)果是，懸浮微粒會使得空氣品質(zhì)和能見度產(chǎn)生嚴(yán)重的惡化。

懸浮微粒除了會吸附大量的有毒及有害物質(zhì)，之外，研究顯示懸浮微粒10容易附著于人體的呼吸系統(tǒng)及器官，而懸浮微粒2.5則是可以直接穿透肺泡，繼而進(jìn)入血管中且隨著血液循環(huán)全身，而引起過敏、氣喘、肺氣腫、肺癌、心血管疾病、肝癌、及血液疾病等；也就是說，懸浮微粒對于人體健康會造成嚴(yán)重的影響。

為了檢測大氣中的懸浮微粒，已知有如圖1所示的電容式粒子感測器。圖1為現(xiàn)有的電容式粒子感測器的示意圖。請參照圖1，此電容式粒子感測器100具有：第一指叉電極110與第二指叉電極120。第一指叉電極110具有：多個(gè)第一電極指112與連接這些第一電極指112的第一連接電極114。在第一指叉電極110的一端具有第一連接接口114a，用以輸入/輸出信號。

第二指叉電極120具有：多個(gè)第二電極指122與連接這些第二電極指122的第二連接電極124。在第二指叉電極120的一端具有第二連接接口124a，用以輸入/輸出信號。

當(dāng)懸浮微粒進(jìn)入到第一電極指112與第二電極指122之間的間隙時(shí)，由于改變了第一電極指112與第二電極指122之間的介電常數(shù)，所以，使得電容值也隨之造成改變。以此，可進(jìn)行懸浮微粒的量測。

然而，現(xiàn)有的電容式粒子感測器100，對于環(huán)境的溫度、空氣中的水氣等極為敏感。換言之，電容式粒子感測器100所量測到的電容值(理論上應(yīng)只有懸浮微粒造成的影響)，通常會包含溫度與水氣的影響；因此，還需要額外地對于所述量測到的電容值，進(jìn)行溫度與濕度的校正。另外，現(xiàn)有的電容式粒子感測器100，對于粒子的尺寸沒有辨識能力，只能相對地量測粒子數(shù)量的增減。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種粒子感測裝置，具有能夠辨識懸浮微粒的尺寸的能力，能夠良好地對于懸浮微粒進(jìn)行感測，且能整合到各種電子設(shè)備中。

本發(fā)明還提供一種電子設(shè)備，具有上述的粒子感測裝置，而能夠容易地對于環(huán)境中的懸浮微粒進(jìn)行感測。

本發(fā)明的粒子感測裝置，包括：基板以及至少一粒子感測元件?；寰哂邪疾?，在凹槽的底部具有通孔，此通孔貫穿基板的底部。粒子感測元件設(shè)置于基板，其中，粒子感測元件可包括：第一電極對以及第二電極對。第一電極對設(shè)置于基板的內(nèi)部，第一電極對的兩個(gè)第一子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第一子電極之間具有第一間距。第二電極對設(shè)置于基板的內(nèi)部，第二電極對的兩個(gè)第二子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第二子電極之間具有第二間距，其中，第一間距小于第二間距，且第一電極對較第二電極對接近通孔。

本發(fā)明的電子設(shè)備包括：裝置本體以及粒子感測裝置。粒子感測裝置電性結(jié)合于裝置本體。粒子感測裝置包括：基板以及至少一粒子感測元件。基板具有凹槽，在凹槽的底部具有通孔，此通孔貫穿基板的底部。粒子感測元件設(shè)置于基板，其中，粒子感測元件可包括：第一電極對以及第二電 極對。第一電極對設(shè)置于基板的內(nèi)部，第一電極對的兩個(gè)第一子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第一子電極之間具有第一間距。第二電極對設(shè)置于基板的內(nèi)部，第二電極對的兩個(gè)第二子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第二子電極之間具有第二間距，其中，第一間距小于第二間距，且第一電極對較第二電極對接近通孔。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，粒子感測裝置可更包括：第三電極對，設(shè)置于基板的內(nèi)部，第三電極對的兩個(gè)第三子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第三子電極之間具有第三間距，其中，第二間距小于第三間距，且第二電極對較第三電極對接近通孔。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，粒子感測裝置可更包括：第四電極對，設(shè)置于基板的內(nèi)部，第四電極對的兩個(gè)第四子電極分別鄰近凹槽的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第四子電極之間具有一第四間距，其中，第三間距小于第四間距，且第三電極對較第四電極對接近通孔。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一間距可為2.5微米，第二間距可為10微米，第三間距可為50微米，第四間距可為100微米。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，粒子感測裝置可更包括：空氣泵，設(shè)置于通孔的下方。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，粒子感測元件可為多個(gè)，多個(gè)粒子感測元件沿著基板的設(shè)定方向進(jìn)行排列。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，凹槽的剖面形狀包括：v字型、u字型或階梯型。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，粒子感測裝置可以被內(nèi)嵌于電子設(shè)備的裝置本體中。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，電子設(shè)備可更包括：電性連接元件，粒子感測裝置是經(jīng)由電性連接元件，而外接于電子設(shè)備的裝置本體上。

基于上述，利用三維堆迭式的電極的設(shè)計(jì)，通過在三維空間設(shè)置多個(gè)電極對，可達(dá)成粒子大小判斷，并進(jìn)行空氣中的懸浮微粒的濃度(density)的量測。并且，可達(dá)成微型化的具有粒徑大小的辨別能力的粒子感測裝置。另外，粒子感測裝置的制作容易，且可容易地與大部分的可攜式電子設(shè)備進(jìn)行整合。

為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉實(shí)施例，并配合所附圖式作詳細(xì)說明如下。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的電容式粒子感測器的示意圖。

圖2a為本發(fā)明一實(shí)施例的粒子感測裝置的立體示意圖。

圖2b為圖2a的粒子感測裝置沿著剖面線a-a的剖面示意圖。

圖2c為本發(fā)明又一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。

圖3為懸浮微粒沒有進(jìn)入到電極對之間的狀態(tài)下，所量測的電容值的示意圖。

圖4為懸浮微粒進(jìn)入到電極對之間的狀態(tài)下，所量測的電容值的示意圖。

圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的粒子感測裝置的上視圖，顯示懸浮微粒進(jìn)入到粒子感測元件內(nèi)的狀態(tài)。

圖6為圖5的粒子感測裝置的剖面示意圖。

圖7為本發(fā)明又一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。

圖8為本發(fā)明再一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。

圖9為本發(fā)明一實(shí)施例的電子設(shè)備的示意圖。

圖10為本發(fā)明又一實(shí)施例的電子設(shè)備的示意圖。

附圖標(biāo)記說明

100：電容式粒子感測器

110：第一指叉電極

112：第一電極指

114：第一連接電極

114a：第一連接接口

120：第二指叉電極

122：第二電極指

124：第二連接電極

124a：第二連接接口

200、202、204、206、420：粒子感測裝置

210：基板

212：凹槽

212a：通孔

220：粒子感測元件

222：第一電極對

222a：第一子電極

224：第二電極對

224a：第二子電極

226：第三電極對

226a：第三子電極

228：第四電極對

228a：第四子電極

230：空氣泵

300：子電極

400、402：電子設(shè)備

410：裝置本體

430：電性連接元件

a-a：剖面線

cair、cdust：電容值

d：設(shè)定方向

d1：第一間距

d2：第二間距

d3：第三間距

d4：第四間距

p、p1、p2：懸浮微粒

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。

圖2a為本發(fā)明一實(shí)施例的粒子感測裝置的立體示意圖。圖2b為圖 2a的粒子感測裝置沿著剖面線a-a的剖面示意圖。圖2a與圖2b顯示了懸浮微粒p尚未進(jìn)入粒子感測裝置的情況。請參照圖2a與圖2b，粒子感測裝置200可包括：基板210以及至少一粒子感測元件220?；?10具有凹槽212，在凹槽212的底部具有通孔212a，此通孔212a貫穿基板210的底部。

粒子感測元件220設(shè)置于基板210，其中，粒子感測元件220可包括：第一電極對222以及第二電極對224。第一電極對222設(shè)置于基板210的內(nèi)部，第一電極對222的兩個(gè)第一子電極222a分別鄰近凹槽212的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第一子電極222a之間具有第一間距d1。第一間距d1為對應(yīng)第一電極對222位置的凹槽212寬度。第二電極對224設(shè)置于基板210的內(nèi)部，第二電極對224的兩個(gè)第二子電極224a分別鄰近凹槽212的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第二子電極224a之間具有第二間距d2，其中，第一間距d1小于第二間距d2。第一電極對222較第二電極對224接近通孔。第二間距d2為對應(yīng)第二電極對224位置的凹槽212寬度。

如圖2a與圖2b所示的粒子感測裝置200中，可利用三維堆迭(threedimensionalstacking)的技術(shù)，來制作第一電極對222與第二電極對224。如此，可利用第一電極對222來量測尺寸接近于第一間距d1的懸浮微粒，且利用第二電極對224來量測尺寸接近于第二間距d2的懸浮微粒，因而，能夠辨識兩種不同尺寸的懸浮微粒。

并且，由于第一電極對222與第二電極對224都設(shè)置于基板210的內(nèi)部，所以，可保護(hù)第一電極對222與第二電極對224，避免受到外界溫度變化(高溫)或水氣侵蝕的破壞。由于第一電極對222與第二電極對224不會裸露在基板210的外部，如此一來，可避免電極氧化及受到刮除的情況，可大幅提升粒子感測裝置200的元件穩(wěn)定度。并且，由于減少了外界溫度變化或水氣的影響，粒子感測裝置200的感測穩(wěn)定度較高，可省去后續(xù)對于電容值的量測數(shù)據(jù)的校正步驟(即，減去來自外界溫度變化或水氣對于電容值的影響的計(jì)算步驟)。

圖2c為本發(fā)明又一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。圖2c與圖2b相同的元件，標(biāo)示以相同的元件符號，在此不予以重述相同的內(nèi)容。請參照圖2c，此粒子感測裝置202可更包括：第三電極對226，設(shè)置于基 板210的內(nèi)部，第三電極對226的兩個(gè)第三子電極226a分別鄰近凹槽212的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第三子電極226a之間具有第三間距d3，其中，第二間距d2小于第三間距d3。第二電極對224較第三電極對226接近通孔。第三間距d3為對應(yīng)第三電極對226位置的凹槽212寬度。再者，粒子感測裝置202還可包括：第四電極對228，設(shè)置于基板210的內(nèi)部，第四電極對228的兩個(gè)第四子電極228a分別鄰近凹槽212的兩側(cè)設(shè)置，所述兩個(gè)第四子電極228a之間具有一第四間距d4，其中，第三間距d3小于第四間距d4。第三電極對226較第四電極對228接近通孔。第四間距d4為對應(yīng)第四電極對228位置的凹槽212寬度。

請參照圖2c，在此粒子感測裝置202中，具有第一電極對222～第四電極對228。如此，可利用第一電極對222來量測尺寸接近于第一間距d1的懸浮微粒，利用第二電極對224來量測尺寸接近于第二間距d2的懸浮微粒，利用第三電極對226來量測尺寸接近于第三間距d3的懸浮微粒，且利用第四電極對228來量測尺寸接近于第四間距d4的懸浮微粒；因而能夠辨識四種不同尺寸的懸浮微粒。在本發(fā)明的實(shí)施例中，電極對的數(shù)量僅為舉例，并非用以限制本發(fā)明。所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，可根據(jù)設(shè)計(jì)需要，來適當(dāng)?shù)卦O(shè)定電極對的數(shù)量、以及電極對的兩個(gè)子電極之間的間距，以對于多種不同尺寸的懸浮微粒進(jìn)行量測。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一間距d1可為2.5微米，第二間距d2可為10微米，第三間距d3可為50微米，第四間距d4可為100微米。如此，可量測不同范圍尺寸的懸浮微粒。

并且，請?jiān)賲⒄請D2c，粒子感測裝置202還可包括：空氣泵230，設(shè)置于通孔212a的下方。利用空氣泵230的設(shè)置，在進(jìn)行懸浮微粒的量測時(shí)，利用空氣泵230經(jīng)由通孔212a對于凹槽212進(jìn)行抽氣，則可以加快懸浮微粒落入第一電極對222到第四電極對228的任一者之間的速度；另外，也可利用空氣泵230，對于凹槽212進(jìn)行清潔，也就是，從通孔212a向凹槽212進(jìn)行排氣，以使懸浮微粒排出凹槽212，如此，可達(dá)到自我清潔的功能。

請繼續(xù)參照圖2a，粒子感測元件220可為多個(gè)，多個(gè)粒子感測元件220沿著基板210的設(shè)定方向d進(jìn)行排列。通過設(shè)置多個(gè)粒子感測元件220， 而可以大面積地對于懸浮微粒進(jìn)行感測，提升懸浮微粒的感測的靈敏度。

圖3為懸浮微粒沒有進(jìn)入到電極對之間的狀態(tài)下，所量測的電容值的示意圖。圖4為懸浮微粒進(jìn)入到電極對之間的狀態(tài)下，所量測的電容值的示意圖。請先參照圖3，在一對子電極300之間，沒有懸浮微粒進(jìn)入的狀況下，可量測到在干凈空氣的狀態(tài)之下的電容值cair。再者，請參照圖4，當(dāng)懸浮微粒p進(jìn)入到所述對子電極300之間時(shí)，可量測到的電容值為cdust。設(shè)定空氣中的懸浮微粒p的濃度為dparticles，懸浮微粒p的填充因數(shù)(fillingfactorincapacitor)為γdust，懸浮微粒p的介電常數(shù)為εr，dust。上述多個(gè)參數(shù)之間，會滿足以下的式(1)與式(2)，

cdust＝[γdust·εr，dust+(1-γdust)]·cair......(1)

經(jīng)由上述式(1)，可推知以下的式(2)

也就是說，通過量測到的電容值cair與cdust，以及已知的懸浮微粒p的介電常數(shù)εr，dust，可計(jì)算出懸浮微粒p的填充因數(shù)γdust，且所述懸浮微粒p的填充因數(shù)γdust是正比于懸浮微粒p的濃度dparticles。如此一來，可通過本發(fā)明的實(shí)施例的粒子感測裝置200、202等，來進(jìn)行懸浮微粒p的濃度(density)的量測。

圖5為本發(fā)明一實(shí)施例的粒子感測裝置的上視圖，顯示懸浮微粒進(jìn)入到粒子感測元件內(nèi)的狀態(tài)。圖6為圖5的粒子感測裝置的剖面示意圖。

請參照圖5與圖6，當(dāng)懸浮微粒p進(jìn)入到凹槽212中，落在對應(yīng)于第二子電極224a的位置時(shí)，可觀察到所述兩個(gè)第二子電極224a之間的電容值會產(chǎn)生顯著變化，就可依此判斷，所述懸浮微粒p的粒徑會接近第二間距d2的尺寸，例如，10微米。并且，通過上述圖3與圖4所說明的式(1)與式(2)的內(nèi)容，則可得知空氣中懸浮微粒p的濃度。

在另一狀況中，若當(dāng)懸浮微粒p1(如圖8的虛線所示)進(jìn)入到凹槽212 中，落在對應(yīng)于第一子電極222a的位置時(shí)，可觀察到所述兩個(gè)第一子電極222a之間的電容值會產(chǎn)生顯著變化，就可依此判斷，所述懸浮微粒p1的粒徑會接近第一間距d1的尺寸，例如，2.5微米。同樣地，通過上述圖3與圖4所說明的式(1)與式(2)的內(nèi)容，則可得知空氣中懸浮微粒p1的濃度。

值得注意的是，兩個(gè)第一子電極222a對于懸浮微粒p1的量測、與兩個(gè)第二子電極224a對于懸浮微粒p的量測，可以是同時(shí)進(jìn)行的狀態(tài)；也就是說，粒子感測裝置202可以同時(shí)量測兩種不同尺寸的懸浮微粒p1(即pm2.5)、p(即pm10)。由于，粒子感測裝置202具有第一電極對222～第四電極對228，所以，可同時(shí)量測四種不同尺寸的懸浮微粒。

圖7為本發(fā)明又一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。圖8為本發(fā)明再一實(shí)施例的粒子感測裝置的剖面示意圖。在上述的實(shí)施例中，粒子感測裝置200、202的凹槽212的剖面形狀是v字型。然而，在圖7所示的粒子感測裝置204中，凹槽212的剖面形狀也可以是u字型；在圖8所示的粒子感測裝置206中，凹槽212的剖面形狀也可以是階梯型。

通過凹槽212的形狀設(shè)計(jì)，可以提升不同尺寸的懸浮微粒的篩選精確度。舉例而言，如圖8所示的階梯狀的凹槽212，由于在各個(gè)電極對之間具有階梯差(step)，懸浮微粒p1可良好地卡合于兩個(gè)第一子電極222a之間；懸浮微粒p可良好地卡合于兩個(gè)第二子電極224a之間；懸浮微粒p2可良好地卡合于兩個(gè)第三子電極226a之間，所以，可以提升不同尺寸的懸浮微粒的篩選的精確度。所述粒子感測裝置206可良好地對于懸浮微粒p、p1、p2進(jìn)行同時(shí)檢測，可得到不會相互干擾的三個(gè)量測訊號。當(dāng)然，圖8中僅繪示三種懸浮微粒p、p1、p2的狀況，若同時(shí)存在兩個(gè)第四子電極228a可量測的尺寸的懸浮微粒時(shí)，則可同時(shí)進(jìn)行四種尺寸的懸浮微粒的量測。

圖9為本發(fā)明一實(shí)施例的電子設(shè)備的示意圖。請參照圖9，電子設(shè)備400包括：裝置本體410以及粒子感測裝置420。粒子感測裝置420電性結(jié)合于裝置本體410。

粒子感測裝置420可以采用如上述的圖2a～圖2b所示的粒子感測裝置200、圖2c所示的粒子感測裝置202、圖7所示的粒子感測裝置204、 與圖8所示的粒子感測裝置206的任一個(gè)，在此不予以重述相同的內(nèi)容。在圖9的電子設(shè)備400中，粒子感測裝置420是被內(nèi)嵌于電子設(shè)備400的裝置本體410中；例如，如圖9的局部放大圖所示，可看到，粒子感測裝置420是被設(shè)置在裝置本體410的通用串列匯流排(usb)的插槽的側(cè)壁上。

電子設(shè)備400以是任何可攜帶式電子裝置，如智慧型手機(jī)、平板電腦、筆記型電腦、虛擬實(shí)境顯示器、穿戴式電子裝置(如智慧手環(huán)、智慧眼鏡)等等。詳細(xì)而言，本發(fā)明實(shí)施例的粒子感測裝置420可容易整合到電子設(shè)備中，以使人們能夠容易地對于環(huán)境中的懸浮微粒進(jìn)行感測，以得到懸浮微粒的濃度數(shù)據(jù)，并進(jìn)行相關(guān)的應(yīng)用。

例如，在穿戴式電子裝置的應(yīng)用上，當(dāng)使用者穿戴智慧手環(huán)到任何環(huán)境中進(jìn)行活動時(shí)，智慧手環(huán)上所整合的本發(fā)明的實(shí)施例的粒子感測裝置420，可利用電容式感測作用，來即時(shí)地(realtime)對于所述環(huán)境中的懸浮微粒的濃度進(jìn)行感測，并回報(bào)感測結(jié)果給使用者。使用者在發(fā)現(xiàn)所述環(huán)境的懸浮微粒濃度過高時(shí)，就可以馬上做出反應(yīng)，如離開所述環(huán)境、或戴上防護(hù)口罩等。

又如，在虛擬實(shí)境顯示器的應(yīng)用上，當(dāng)使用者穿戴虛擬實(shí)境顯示器處于一環(huán)境中時(shí)，虛擬實(shí)境顯示器上所整合的本發(fā)明的實(shí)施例的粒子感測裝置420，可以感測所述環(huán)境中的懸浮微粒的濃度，并將所述濃度的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為可見影像。使用者可以看見所述環(huán)境中的懸浮微粒的虛擬樣貌(如，濃度高時(shí)，看見密集的懸浮微粒；濃度低時(shí)，則顯示清新的大自然環(huán)境等)。

圖10為本發(fā)明又一實(shí)施例的電子設(shè)備的示意圖。在本發(fā)明的一實(shí)施例中，電子設(shè)備402可更包括：電性連接元件430，粒子感測裝置420是經(jīng)由電性連接元件430，而外接于電子設(shè)備402的裝置本體410上。電性連接元件430可以是通用串列匯流排(usb)的連接方式、或是其他適合的電性連接方式，在此不予以限制。

也就是說，如圖10所示的電子設(shè)備402，可以利用外接的方式來使用粒子感測裝置420；當(dāng)不須使用粒子感測裝置420時(shí)，即可卸除所述粒子感測裝置420。通過上述外接式的設(shè)計(jì)方式，可以大幅提升粒子感測裝置420與裝置本體410之間的搭配使用的彈性度與自由度。

本發(fā)明實(shí)施例的粒子感測裝置200～206、420能夠使用多個(gè)電極對(第 一～第四電極對222～228)，對于不同尺寸的懸浮微粒進(jìn)行感測，具有辨識懸浮微粒的大小的能力。并且，粒子感測裝置200～206、420能夠容易地被結(jié)合到任何可攜帶式電子裝置中，使用者可以通過可攜帶式電子裝置(如智能手機(jī))而能隨時(shí)地檢測空氣中的懸浮微粒的濃度；所測得的數(shù)據(jù)亦能夠被應(yīng)用在物聯(lián)網(wǎng)(internetofthings，iot)與大數(shù)據(jù)(bigdata)的相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域中，并藉由這些數(shù)據(jù)的解讀，可以對于大氣科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、流行病學(xué)、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域產(chǎn)生極大的貢獻(xiàn)。

綜上所述，本發(fā)明的粒子感測裝置以及電子設(shè)備，至少具有以下的優(yōu)點(diǎn)：通過在三維空間設(shè)置多個(gè)電極對，可達(dá)成粒子大小判斷(具有粒徑辨識能力)，并進(jìn)行空氣中的懸浮微粒的濃度的量測。并且，粒子感測裝置的電極對是設(shè)置于基板的內(nèi)部，所以，可提升粒子感測裝置的元件穩(wěn)定度及感測穩(wěn)定度，避免受到外界的溫度變化或水氣的影響。再者，粒子感測裝置的制作容易，可容易進(jìn)行微型化，且可與大部分的可攜式電子設(shè)備進(jìn)行整合。

以上所述的具體實(shí)施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。