本發明涉及電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件以及電子標本保持部件的組裝方法。
背景技術:
從患者的患部直接取下組織(被檢體),進行疾病診斷的病理診斷,在確定病名及病情上是非常有效的方法。為了進行這樣的病理診斷,在醫院或研究所對大量的被檢體進行顯微鏡圖像的攝影。
在專利文獻1公開了生物試樣觀察裝置,該生物試樣觀察裝置具備在受光面上載置被檢體的固體攝像元件、以及固定該固體攝像元件和被檢體的保持器件。透過了被檢體的光在固體攝像元件的受光面成像,從而拍攝被檢體的細微組織。通過所述構成,在被檢體和固體攝像元件之間,不需要設置光學系統,所以能夠大幅度簡化觀察裝置。
(現有技術文獻)
(專利文獻)
專利文獻1∶日本特開平4-316478號公報
然而,在專利文獻1公開的現有技術中,被檢體直接載置在固體攝像元件的受光面,所以該受光面會受到損傷。從固體攝像元件攝像的圖像精度以及成本的觀點上,優選的是例如由一個固體攝像元件進行多個被檢體的攝像,按照不同的被檢體,每次粘貼固體攝像元件和被檢體,則加速所述受光面的損傷,從而導致圖像精度下降。
技術實現要素:
鑒于所述課題,本發明提供具有低成本高圖像精度的電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件以及電子標本保持部件的組裝方法。
為了解決所述課題,本申請的一個方案涉及的電子標本保持部件,具備:固體攝像元件,具有受光面,由該受光面接受透過了被檢體的光,所述被檢體被設置在所述受光面的上方;以及透明部件,被設置在所述受光面,所述透明部件是密封所述受光面的可去除的非揮發性透明部件。
此外,本申請的一個方案涉及的固體攝像元件,接受透過了攝像對象物的光,所述固體攝像元件具備:受光面,是與可去除的非揮發性的透明部件接觸的面,該受光面與所述透明部件的與所述攝像對象物相對的面相反一側的面接觸;以及多個像素,以矩陣狀被設置在所述受光面。
此外,本申請的一個方案涉及的電子標本保持部件組裝套件具備:透明基板,用于支承被檢體;非揮發性的透明部件,該透明部件與所述透明基板夾著所述被檢體;固體攝像元件,用于將透過了所述被檢體的光,經由所述透明部件接受;以及固定部件,用于將所述透明基板與所述固體攝像元件以可裝拆的方式進行固定。
此外,本申請的一個方案涉及的電子標本保持部件的組裝方法,在所述電子標本保持部件被固定設置了被檢體和拍攝該被檢體的固體攝像元件,所述電子標本保持部件的組裝方法包括:被檢體準備步驟,準備所述被檢體;透明部件設置步驟,在所述被檢體與所述固體攝像元件的受光面之間,以與所述受光面相接的方式設置透明部件,該透明部件是可去除的非揮發性的透明部件;以及固定步驟,將所述被檢體與所述固體攝像元件以可裝拆的方式進行固定。
通過本申請涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件以及電子標本保持部件的組裝方法,非揮發性的透明部件介于固體攝像元件的受光面與被檢體之間,所以能夠防止固體攝像元件的損傷。因而,能夠以低成本獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。
附圖說明
圖1是表示實施方式1涉及的電子標本保持部件的外觀斜視圖。
圖2a是實施方式1涉及的電子標本保持部件的第一截面圖。
圖2b是實施方式1涉及的電子標本保持部件的第二截面圖。
圖3a是實施方式1涉及的標本保持部件的概要構成圖。
圖3b是實施方式1涉及的標本保持部件的截面圖。
圖4a是實施方式1涉及的第二基材的平面圖以及截面圖。
圖4b是實施方式1涉及的第一基材的平面圖以及截面圖。
圖5是實施方式1涉及的固體攝像元件(圖像傳感器)的平面圖以及截面圖。
圖6是表示實施方式1涉及的固體攝像元件(圖像傳感器)的攝像區域的截面構造的圖。
圖7是說明實施方式1涉及的標本保持部件的形成方法的工序圖。
圖8是說明實施方式1涉及的電子標本保持部件的組裝方法的工序圖。
圖9是實施方式1涉及的填入了電子標本保持部件的夾具的外觀斜視圖。
圖10a是實施方式1涉及的圖像獲得裝置開放時的外觀斜視圖。
圖10b是實施方式1涉及的圖像獲得裝置密封時的外觀斜視圖。
圖11是表示實施方式1涉及的圖像獲得裝置的功能方框圖。
圖12是實施方式2涉及的電子標本保持部件的截面圖。
圖13是實施方式3涉及的電子標本保持部件的外觀斜視圖。
圖14a是實施方式3涉及的電子標本保持部件的第一截面圖。
圖14b是實施方式3涉及的電子標本保持部件的第二截面圖。
圖15是說明實施方式3涉及的標本保持部件以及圖像傳感器的形成方法的工序圖。
圖16a是表示ccd圖像傳感器的構造的截面圖。
圖16b是表示背面照射型的cmos圖像傳感器的構造的截面圖。
具體實施方式
以下,參考附圖來說明本申請的實施方式涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件、以及電子標本保持部件的組裝方法。以下的實施方式均是本發明的一個具體例子,所示出的數值、形狀、材料、構成要素、構成要素的配置位置以及連接形式、步驟、步驟的順序等,都是本發明的一個例子,主旨不是限制本發明。
(實施方式1)
[1.電子標本保持部件的構成]
圖1是表示實施方式1涉及的電子標本保持部件的外觀斜視圖。此外,圖2a是實施方式1涉及的電子標本保持部件的第一截面圖,圖2b是實施方式1涉及的電子標本保持部件的第二截面圖。具體而言,圖2a是沿著圖1的2a-2a線切斷的情況下的截面圖,圖2b是沿著圖1的2b-2b線切斷的情況下的截面圖。
另外,在本實施方式中,將至少具備被檢體(攝像對象物,病理被檢體)和固體攝像元件等電子元件(集成電路,半導體芯片)的部件、以及調整為在透明基板上載置被檢體(攝像對象物、病理被檢體),以固體攝像元件等電子元件(集成電路、半導體芯片)夾著的狀態的部件稱為電子標本保持部件。
如圖1、圖2a以及圖2b所示,本實施方式涉及的電子標本保持部件1具備,圖像傳感器(固體攝像元件)10、玻璃片20、透明膜30、封入部件35、基材40a以及40b。玻璃片20、透明膜30、封入部件35以及被檢體50構成標本保持部件。此外,基材40a以及40b構成固定部件。下面說明電子標本保持部件1的構成要素。
[1-1.標本保持部件的構成]
圖3a是實施方式1涉及的標本保持部件的概要構成圖,圖3b是實施方式1涉及的標本保持部件的截面圖。具體而言,圖3b是以圖3a的3b-3b線切斷的情況下的截面圖。本實施方式涉及的標本保持部件60被進行了處理,使作為觀察對象的被檢體50處于能夠觀察的狀態。另外,圖3a以及圖3b表示的標本保持部件60的設置狀態,相對于圖1、圖2a以及圖2b表示的玻璃片20的設置狀態,表面以及背面是倒過來表示的。
玻璃片20是具有第一主面(表面)以及第二主面(背面)的透明基板。圖3a所示,玻璃片20的表面,沿著長度方向,形成有兩道溝槽。這兩個溝槽,作為后述的圖像傳感器10的位置決定用向導而發揮作用。
被檢體50,如圖3a以及圖3b所示,是設置在玻璃片20的表面的攝像對象物,例如,從患者的患部直接采下的病理切片,其大小是5mm~20mm左右,厚度為幾微米左右。通過該被檢體進行患者的病理診斷。此外,被檢體50,可以是例如學生實驗等從動物或植物剪切的細胞組織。
封入部件35,如圖3a以及圖3b所示,是以覆蓋被設置在玻璃片20的表面上的被檢體50的方式而設置的揮發性的封入劑。封入部件35,例如由樹脂來構成,使入射光以低損耗透過,具有防止被檢體50因外部環境經時變化的功能。
透明膜30,如圖3a以及圖3b所示,是粘貼在玻璃片20的表面的中央區域的非揮發性的透明部件,將被檢體50以及封入部件35夾在透明膜30與玻璃片20之間。透明膜30,使入射光以低損耗透過,具有防止被檢體50與封入部件35因外部環境經時變化的功能。關于透明膜30的構成,在后述的1-5.透明膜的構成中詳細說明。
[1-2.固定部件的構成]
圖4a是實施方式1涉及的第二基材的平面圖以及截面圖,圖4b是實施方式1涉及的第一基材的平面圖以及截面圖。
如圖4a所示,基材40a是第二基材,具備設置了開口402的主體部400、以及卡止部401。開口402,具有將入射光向被檢體50引導的功能,在截面視時呈上底比下底長的梯形形狀(錐形形狀),通過這個形狀,能夠提高在圖4a的截面圖中從上方向下方射入的光的聚光效率。
如圖4b所示,基材40b是第一基材,具備上部板420、以及下部板410,該上部板420具有凹部425。圖像傳感器10被設置在凹部425,通過從凹部425延伸至下部板410而形成的電力線,圖像傳感器10的圖像信號向外部輸出。具體而言,例如在凹部425設置了信號輸入端子,該信號輸入端子用于將圖像傳感器10的圖像信號傳遞給上部板420。此外,下部板410的背面設置有外部連接端子,該外部連接端子向電子標本保持部件1的外部輸出圖像信號。而且,在基材40b形成有所述電力線,所述電力線對信號輸入端子和外部連接端子進行電連接。此外,在下部板410設置有向導426,該向導426用于固定在基材40b上的玻璃片20的短方向的位置。
[1-3.各構成要素的設置關系]
如圖2a以及圖2b所示,圖像傳感器10、透明膜30、封入部件35、被檢體50以及玻璃片20,按照該順序設置在基材40b與基材40a之間,通過基材40a卡止基材40b,從而這些被固定。具體而言,卡止部401的爪部嵌入到下部板410的中央的凹部,從而這些被固定。在此,圖像傳感器10和被檢體50以及封入部件35,不是直接相接,僅經由透明膜30,沒有接合。換句話說,圖像傳感器10的受光面與透明膜30接觸的面是透明膜30的與封入部件35接觸的面相反一側的面。這樣,圖像傳感器10與標本保持部件60,通過由基材40b以及基材40a構成的固定部件,以可裝拆的方式被固定。
此外,如圖2b所示,在圖像傳感器10的端部形成的樹脂凸部(后述的圖5的樹脂凸部16),嵌入到形成在玻璃片20的溝槽,從而玻璃片20與圖像傳感器10的受光面的位置被固定。
[1-4.固體攝像元件的構成]
圖5是實施方式1涉及的固體攝像元件(圖像傳感器)的平面圖以及截面圖。
如圖5所示,本實施方式涉及的圖像傳感器10具有半導體芯片11、設置在半導體芯片11的背面側的封裝體基板12、將半導體芯片11與封裝體基板12電連接的導線13、在導線形成區域填充了樹脂的樹脂凸部16。
半導體芯片11具有攝像區域11a,該攝像區域11a中設置有以矩陣狀排列的多個像素。在電子標本保持部件1中,被檢體50以及封入部件35經由透明膜30與攝像區域11a對置。此外,半導體芯片11在攝像區域11a的周圍區域具備信號輸出電路、干擾信號消除電路、ad轉換器等信號轉換電路、信號放大電路等。
一般的ccd(chargecoupleddevice:電荷耦合器件)圖像傳感器以及cmos(complementarymetal-oxidesemiconductor:互補式金屬氧化物半導體)圖像傳感器的像素大小,即使使用最新的細微加工技術,可用于受光的空間仍然受到限制。這是因為像素面積的大部分,被驅動電路所需的電子元件(場效應晶體管)所占有。為了解決這個問題,高精度地攝像被檢體50的細微結構,本實施方式涉及的圖像傳感器10是光電轉換膜層疊型的固體攝像元件,在上層具備捕捉光并將其轉換為電信號的光電轉換膜。但是如后述本發明涉及的圖像傳感器10,不限定為光電轉換膜層疊型的固體攝像元件。
下面說明,圖像傳感器10具有的像素100的構成。
圖6是表示實施方式1涉及的固體攝像元件(圖像傳感器)的攝像區域的截面構造的圖。如該圖所示,圖像傳感器10的半導體芯片11具備半導體基板101、布線層102、像素電極103a、光電轉換膜104、透明電極105。
布線層102,形成在半導體基板101上。像素電極103a,以按照每個像素100來分離的狀態,形成在布線層102上。光電轉換膜104,形成在像素電極103a上。透明電極105,形成在光電轉換膜104上。
用于光電轉換膜104的材料,可以采用從光轉換為電荷的效率高的有機材料或無機材料等各種材料,但是光電轉換膜104,優選的是由有機材料來構成。針對需要按照所接受的入射光的波長頻帶來調整厚度或形狀的光電二極管,將有機光電轉換膜作為光電轉換元件來使用的情況下,因為光吸收率高,所以即使膜厚很薄(典型的是0.5um左右),也能夠實現比si光電二極管高的靈敏度。進而,這樣將光電轉換膜設為很薄,即使入射到各像素的光是斜著入射的情況下,光電轉換膜內的傳播距離比較短,與波長相等程度或者是波長以下,所以不會傳播到鄰接像素,即,能夠以低串擾來接受光。從而,能夠實現具有廣受光角的光學系統。
此外,ccd圖像傳感器以及表面照射型cmos圖像傳感器,有時在該表面產生階梯。此外,在背面照射型cmos圖像傳感器,為了獲得高分辨率圖像,有時在受光面上形成遮光層。換言之,與被檢體相對的受光面不是平坦的。
對于此,使用本實施方式涉及的光電轉換膜104的光電轉換膜層疊型的圖像傳感器10的受光面,從圖6可知是平坦的。從而,能夠使被檢體50與受光面之間的距離很短并且與多個像素之間的距離相同。
進而,將高平坦性的光電轉換膜層疊型的圖像傳感器10與透明膜30組合的情況下,能夠維持被檢體50與受光面之間的短的距離,并且維持與多個像素之間的距離相同。
因而,本實施方式涉及的使用光電轉換膜104的光電轉換膜層疊型圖像傳感器10、以及使用光電轉換膜層疊型圖像傳感器10的電子標本保持部件1(或后述的實施方式2中的電子標本保持部件2),能夠觀察被檢體50的更詳細的構造。
如所述構成,在圖像傳感器10中,代替在半導體基板上形成的光電二極管,光電轉換膜104在半導體基板101上形成。光電轉換膜104以及透明電極105,典型的是在攝像區域11a的整體上形成。
入射光,在光電轉換膜104轉換為與該入射光量對應的電荷,每個像素100的電荷,由像素電極103a被聚集。通過所述構成,即使入射光傾斜入射的情況下,該入射光也不會被布線層102的布線而遮住,能夠具有高聚光效率。
另外,在圖6中,與像素電極103a接近的位置設置偽(dummy)電極103b。如上所述,在使用光電轉換膜的圖像傳感器(稱為“光電轉換膜層疊型圖像傳感器”),能夠確保高聚光效率,但是光電轉換膜104在整個攝像區域11a形成,像素100之間的邊界區域也產生電荷,像素間的隔離(isolation)下降。作為其對策,在透明電極105與偽電極103b之間,施加規定的電位差,將像素的邊界區域中產生的電荷引入到偽電極103b。這樣,能夠提高像素間的隔離。
另外,偽電極103b,不限定為用于提高像素間的隔離。也可以利用引入到偽電極103b的電荷進行焦點檢測。此外偽電極103b也可以不設置。
此外,本實施方式涉及的圖像傳感器10,從受光面到被檢體50的距離(實質上是圖像傳感器的裝置表面保護膜和透明膜30的膜厚)很短,換言之焦點距離短。但是,在優先圖像傳感器10的靈敏度特性(換言之,圖像的明亮度)的情況下,也可以在透明電極105的上方設置微透鏡。另外,微透鏡至少包含使用無機材料等在圖像傳感器10的保護膜(最上層膜)的上方設置的微透鏡(外透鏡)、以及在圖像傳感器10的層間絕緣膜內設置的微透鏡(內透鏡),換句話說,本實施方式涉及的圖像傳感器10至少設置一個外透鏡或內透鏡就可以。
另一方面,使入射光直接到達攝像區域11a(換句話說,使斜光成分變少),優先污點、混合色等的圖像特性的提高的情況下,最好是不具備微透鏡的構造。
此外,通過不設置微透鏡,從而使受光面與被檢體50的距離接近,從而能夠獲得分辨率更高的影像。此外,能夠省略微透鏡的形成工序,從而能夠減少半導體芯片11的制造成本。
進而,在本發明中,通過不設置微透鏡,在圖像傳感器10本身獲得高平坦性,在圖像傳感器10上容易設置透明膜30,能夠提高觀察被檢體50的更詳細的構造的觀察效果。
進而如后述,通過不設置微透鏡(外透鏡),從而容易進行受光面的氧等離子體處理(表面處理)。
此外,半導體芯片11,在布線層102以及半導體基板101內,按照每個像素100形成有放大晶體管、復位晶體管、選擇晶體管、以及連接這些的布線。通過這些,在光電轉換膜104生成的電荷,經由圖像傳感器10的輸出端子,作為像素信號來輸出。
返回圖5,說明圖像傳感器10的構成。
封裝體基板12收容半導體芯片11。半導體芯片11,通過粘合劑等固定在封裝體基板12上。封裝體基板12的上表面,具有與半導體芯片11電連接的電極墊14。封裝體基板12的背面,形成有輸出端子17,與圖像傳感器10的外部電連接。
作為輸出端子17的形狀,有球形、峰形以及觸面等,但不僅限于此。通過選擇這樣的輸出端子17,與設置在基材40b的凹部425的信號輸入端子的連接變得容易。此外,能夠在背面以柵格狀排列輸出端子17,所以能夠對應于多插針化。
封裝體基板12的材質,作為一例,能夠采用陶瓷或有機類。通過采用陶瓷,能夠抑制與半導體芯片11之間的溫度變化而產生的熱膨脹的差,能夠提高信賴性。采用有機類的基板,能夠以低成本來制造。
導線13,對形成在半導體芯片11上的電極墊15與形成在封裝體基板12上的電極墊14進行電連接。在圖5中示例了普通接合技術,球式接合使用于半導體芯片11,針腳式接合使用于封裝體基板12。
此外,形成有樹脂凸部16,以使導線13、電極墊14以及15不暴露在外部空氣。樹脂凸部16通過向包含導線13、電極墊14以及15的區域中填充樹脂的方式來形成。這樣,能夠防止導線13、電極墊14以及15因水分和異物而劣化,提高信賴性。進一步,在樹脂凸部16的頂峰部,形成有隔著半導體芯片11相對的兩個山脊部。如圖2b所示,該兩個山脊部嵌入到玻璃片20上形成的溝槽上,從而固定了玻璃片20和圖像傳感器10的受光面的位置,并且能夠使半導體芯片11的受光面和被檢體50夾著透明膜30而接近。
另外,本實施方式涉及的圖像傳感器10,具有半導體芯片11與封裝體基板12經由導線13電連接的構造,但是不限于此。本實施方式涉及的圖像傳感器,不僅是導線構造,也可以具有所謂tsv(throughsiliconvia:硅穿孔)構造,該tsv構造中,在貫通半導體芯片11的半導體基板101的孔中埋入導電體,將端子引出到半導體基板101的背面。
[1-5.透明膜的構成]
在此參考圖1和圖2a以及圖2b,說明本實施方式涉及的電子標本保持部件1中的透明膜30的構成,該透明膜30用于將圖像傳感器10與標本保持部件60以能夠裝拆的方式固定,并且具有高攝像精度。
透明膜30,被設置在圖像傳感器10的受光面,是密封該受光面的非揮發性的透明部件。此外,透明膜30以能夠從圖像傳感器10的受光面去除的方式來設置。
換句話說,透明膜30,被設置為與被檢體50以及圖像傳感器10的受光面緊貼。進而,透明膜30具有按照被檢體50以及圖像傳感器10的受光面的凹凸在緊貼的面可自由變形的伸縮性或者浸潤性。
此外,透明膜30與玻璃片20之間夾著被檢體50以及封入部件35。這樣,被檢體50能夠以被玻璃片20保持的狀態,不變質地長期保存。
此外,透明膜30,在可視光(波長300nm~800m)的范圍,優選的是比玻璃片20的光透過率高,優選的是具有80%的光透過率。這樣,將透過被檢體50的光,能夠以低損耗到達圖像傳感器10。
此外,透明膜30和封入部件35的折射率的差,優選的是0.2以下。透明膜30和封入部件35的折射率越是不同,透過被檢體50的光的直進性越下降,從而圖像分辨率下降。從這個觀點上,使透明膜30與封入部件35的折射率的差大致相等,從而確保透過被檢體50的光直進性,所以能夠以高分辨率攝像被檢體50。
此外,在電子標本保持部件1,從獲得高分辨率的攝影圖像的觀點上,優選的是不擴散入射光,以平行光到達檢體50以及圖像傳感器10的受光面。從這個觀點上,優選的是被檢體50到圖像傳感器10的受光面的距離短。更具體而言優選的是,透明膜30的膜厚是與以矩陣狀設置的多個像素100的排列間距大致相等或者排列間距以下。這樣,不降低圖像傳感器10的圖像分辨率,就能夠獲得反映了圖像傳感器10的圖像分辨率的圖像。
此外,更優選的是透明膜30的膜厚是1μm以下。這樣,不降低波長頻帶是300nm~800nm的可視光區域中的圖像傳感器10的高圖像分辨率,能夠獲得反映了圖像傳感器10的高圖像分辨率的高精度圖像。
此外,透明膜30,可以以與封入部件35不產生化學反應的方式相接。這樣,能夠抑制透明膜30的變色以及變質,能夠實現透過被檢體50的光的低損耗性以及被檢體50的長期保存。
此外,透明膜30,優選的是由不被封入部件35的稀釋溶解劑溶解的材料構成。封入部件35的稀釋溶解劑例如是二甲苯系溶劑。這樣,能夠抑制在標本保持部件60的形成過程中,透明膜30由于封入部件35的稀釋溶解劑而變質。因而,能夠實現透過被檢體50的光的低損耗性以及被檢體50的長期保存。
透明膜30的材料,可舉出塑料樹脂膜、無機玻璃系膜、或合成材料玻璃膜為例。
以上,本實施方式涉及的電子標本保持部件1,不使用高額的顯微鏡圖像攝像裝置,圖像傳感器10本身就能夠進行圖像信號(電子信號)的輸出,能夠大幅度降低了觀察所需要的成本(檢查成本)。換言之,本實施方式涉及的電子標本保持部件1,能夠廣泛地普及高層次的病理診斷。
此外,具有所述特征的透明膜30介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以既具有圖像傳感器10的高攝像精度,又能防止圖像傳感器10的損傷。因而,能夠以低成本獲得高圖像精度的被檢體觀測數據。圖像傳感器10的受光面與封入部件35,不經由透明膜30相接的情況下,該受光面和封入部件35被緊貼。這樣,所述受光面因封入部件35受到應力,從而該受光面有可能變形或者變質。此外,將所述受光面與封入部件35分離的情況下,該受光面也有可能變形或者變質。相對于此,透明膜30介于圖像傳感器10的受光面與封入部件35之間,能夠防止所述受光面變形或者變質。
此外,被檢體50由透明膜30、玻璃片20以及封入部件35被保護,所以能夠防止被檢體50的劣化。換言之,將被檢體50,以標本保持部件60的形態來保管,從而在長期保管之后也能夠以高精度再次檢查。
[2.電子標本保持部件的組裝方法]
下面利用圖7以及圖8來說明實施方式涉及的電子標本保持部件1的組裝方法。
圖7是說明實施方式1涉及的標本保持部件的形成方法的工序圖。此外,圖8是說明實施方式1涉及的電子標本保持部件的組裝方法的工序圖。
首先,如圖7的(a)所示,進行被檢體50的預處理(被檢體準備步驟)。作為一例將取下的被檢體脫水,用石蠟進行包埋處理后,切成從幾μm左右到十幾μm左右的所希望的厚度,將去除石蠟的被檢體50,設置在玻璃片20的表面。
接著,如圖7的(b)所示將被檢體50連帶玻璃片20,浸漬到染色液中。從而,如圖7的(c)所示被檢體50被染色。
接著,如圖7的(d)所示,在被檢體50涂布封入劑,從而以覆蓋被檢體50的方式設置封入部件35(封入步驟)。
接著,如圖7的(e)所示,一邊將透明膜30的原型即透明薄層向玻璃片20的面方向拉伸,一邊緊貼到玻璃片20的表面的中央區域以及封入部件35,從而使膜厚比該透明薄層薄的透明膜30,設置在玻璃片20的表面(透明膜設置步驟)。換言之,將透明膜30設置在玻璃片20的表面,從而使被檢體50以及封入部件35,夾在透明膜30與玻璃片20之間。這樣,如圖7的(f)所示,形成與玻璃片20一體化,并以遮斷外部空氣的方式被密封的標本保持部件60。另外,拉伸透明薄層的具體的方法,可用滾動方式。
接著,將標本保持部件60和圖像傳感器10緊貼并固定。如圖8所示,以圖像傳感器10的受光面與被檢體50夾著透明膜30的方式,將玻璃片20與圖像傳感器10可裝拆地進行固定(固定步驟)。具體而言,將標本保持部件60的設置了被檢體50、封入部件35以及透明膜30的表面側朝向基材40b側、將標本保持部件60的背面側朝向基材40a側,用基材40a和在凹部425嵌入了圖像傳感器10的基材40b,來夾著標本保持部件60的方式被固定。此時,在對標本保持部件60平面視時基材40a的開口402與被檢體50的位置一致的方式,調整標本保持部件60、基材40a以及基材40b的位置關系。在這個狀態下,將卡止部401的爪部,嵌入到下部板410的中央的凹部。這樣,圖像傳感器10和被檢體50以及封入部件35,以不是直接相接的狀態下僅經由透明膜30來接近,并沒有接合。因而,圖像傳感器10與標本保持部件60,以可裝拆的方式被固定。
以上,通過本實施方式涉及的電子標本保持部件的組裝方法,具有所述特征的透明膜30介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以既具有圖像傳感器10的高攝像精度,也能夠防止圖像傳感器10的損傷。
此外,一旦被固定的圖像傳感器10與標本保持部件60,通過基材40a與基材40b分離,從而以不損傷圖像傳感器10的受光面的方式進行分離,所以能夠將一個圖像傳感器10,適用于大量的標本保持部件60。因而,以低成本來獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。
[3.電子標本保持部件的組裝套件]
另外,本實施方式1涉及的電子標本保持部件1是組裝標本保持部件60、圖像傳感器10、和基材40a以及基材40b的完成品的形態,在本發明中不限于該形態,還包含電子標本保持部件組裝套件,該組裝套件是標本保持部件60、圖像傳感器10以及上述固定部件組裝之前的形態。
換言之,本實施方式變形例涉及的電子標本保持部件組裝套件具備:用于支承被檢體50的玻璃片20、用于封入被檢體50的封入部件35、用于與玻璃片20夾著被檢體50以及封入部件35的透明膜30、用于使透過了被檢體50的光經由透明膜30接受的圖像傳感器10、以及用于以可裝拆的方式固定玻璃片20和圖像傳感器10的基材40a以及40b。
通過組裝所述電子標本保持部件組裝套件的所述配件,制作實施方式1涉及的電子標本保持部件1,起到與電子標本保持部件1同樣的效果。
[4.電子標本保持部件的攝像系統]
下面說明電子標本保持部件1的攝像系統。
[4-1.夾具]
圖9是實施方式1涉及的填入了電子標本保持部件的夾具的外觀斜視圖。在該圖中表示了電子標本保持部件1被載置在夾具70的狀態。夾具70具備夾具基材71以及72、卡合部73、鉸鏈76。
夾具基材71設置有如下:能夠插入電子標本保持部件1的基材40a的開口75、與夾具基材72一起按壓玻璃片20的按壓部74。
在夾具基材72設置有凹部77,在該凹部77能夠嵌入卡合部73的爪部。另外,雖然未圖示,在夾具基材72還設置有電力線,從電子標本保持部件1載置的表面(上表面)一直設置到背面(下表面),該電力線與設置在電子標本保持部件1的基材40b的外部連接端子電連接。而且,在夾具基材72的下表面設置有外部連接端子,該外部連接端子經由所述電力線,將圖像傳感器10的圖像信號傳遞給外部測定設備。
通過所述構成,從圖9的狀態,以鉸鏈76為旋轉中心來轉動夾具基材71,卡合部73的爪部嵌入凹部77,從而夾具基材71固定到夾具基材72。這樣,電子標本保持部件1固定在夾具基材71以及72之間。在這個狀態下,能夠經由開口75以及開口402,使入射光到達圖像傳感器10的受光面。
[4-2.圖像獲得裝置]
圖10a是實施方式1涉及的圖像獲得裝置開放時的外觀斜視圖,圖10b是實施方式1涉及的圖像獲得裝置密封時的外觀斜視圖。圖10a表示設置在主體部82的臺座84上,裝填了夾具70(包含電子標本保持部件1)的狀態。臺座84被構成為與夾具70以可裝拆的方式連接。圖像獲得裝置80具有光源83,通過改變臺座84的姿勢,能夠從多個不同的照射方向來照射電子標本保持部件1。此外,圖像獲得裝置80具有能夠開閉的蓋部81。通過閉合蓋部81,如圖10b所示,能夠在圖像獲得裝置80的內部形成暗室。
圖11是表示實施方式1涉及的圖像獲得裝置的功能框圖。圖像獲得裝置80具備光源83,將透過了被檢體50的光入射到電子標本保持部件1的圖像傳感器10,該圖像傳感器10裝填在夾具70。
此外,圖像獲得裝置80具備控制裝置85(計算機),控制裝置85具備:控制部86、圖像處理部87、存儲器88。
控制部86,通過控制圖像傳感器10以及光源83,使圖像傳感器10進行被檢體50的攝像。
另外,圖像傳感器10裝填到夾具70時,經由基材40b以及夾具基材72的各個端子以及電力線,與控制裝置85連接。
通過攝像獲得的圖像數據,接受圖像處理部87的合成以及像素插補的處理。通過這些處理,生成具有高分辨率的被檢體50的攝影圖像。該攝影圖像,例如顯示在顯示器90,保存在存儲器88或數據庫91。
(實施方式2)
本實施方式涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件及其組裝方法,與實施方式1涉及的電子標本保持部件以及固體攝像元件比較時,透明膜30的設置構成以及形成工序不同。以下,關于本實施方式涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件及其組裝方法,以不同于實施方式1涉及的電子標本保持部件1、圖像傳感器10以及其組裝方法的部分為中心進行說明。
[5.電子標本保持部件的構成]
圖12是實施方式2涉及的電子標本保持部件的截面圖。如圖12所示,本實施方式涉及的電子標本保持部件2,具備圖像傳感器10、支承基板21、透明膜30、封入部件35。下面說明電子標本保持部件2的構成要素。
支承基板21是具有表面以及背面的基板。另外,支承基板21可以不必是透明的,并且也可以不存在。
被檢體50,被設置在透明膜30的與圖像傳感器10相接的面相反一側的面上、且圖像傳感器10的受光面的上方。
封入部件35被設置為覆蓋被檢體50,該被檢體50設置在透明膜30的與圖像傳感器10相接的面相反一側的面上。
透明膜30,以密封圖像傳感器10的受光面的方式,粘貼在圖像傳感器10。
另外,封入部件35以及透明膜30的材料、物性、以及構造,與實施方式1涉及的封入部件35以及透明膜30相同。
如圖12所示,支承基板21、圖像傳感器10、透明膜30、被檢體50、以及封入部件35,以上述的順序被設置,并且被固定。另外,本實施方式涉及的電子標本保持部件2,不需要電子標本保持部件1具有的固定部件。
以上,通過本實施方式涉及的電子標本保持部件2,不需要使用高額的顯微鏡圖像攝影裝置,用圖像傳感器10本身就能夠進行圖像信號(電子信號)的輸出,大幅度減少觀察所需要的成本(檢查成本)。換言之,本實施方式涉及的電子標本保持部件2,能夠廣泛普及高層次的病理診斷。
此外,透明膜30介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以既具有圖像傳感器10的高攝像精度,又能防止圖像傳感器10的損傷。因而,能夠以低成本獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。進而,也可以采用為了保護被檢體而用蓋玻片覆蓋最表面的構成。
[6.電子標本保持部件的組裝方法]
下面說明實施方式2涉及的電子標本保持部件的組裝方法。
首先,作為透明膜30的原型的透明薄層,一邊向圖像傳感器10的受光面方向拉伸,一邊緊貼到該受光面,從而膜厚比該透明薄層薄的透明膜30設置在該受光面上(透明膜設置步驟)。換言之,以透明膜30的背面來密封所述受光面的方式,在該受光面上設置透明膜30。
下面,進行被檢體50的預處理(被檢體準備步驟)。作為一例,將取下的被檢體進行脫水,用石蠟進行包埋處理之后,切成幾μm左右到幾十μm左右的所希望的厚度,并將去除石蠟的被檢體50,設置在透明膜30的表面。
下面,將被檢體50,連帶圖像傳感器10以及透明膜30一同浸漬到染色液。從而,被檢體50被染色。
最后,在被檢體50涂布封入劑,從而以覆蓋被檢體50的方式設置封入部件35(封入步驟)。
以上,通過本實施方式涉及的電子標本保持部件的組裝方法,透明膜30介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以圖像傳感器10既具有高攝像精度,又能防止圖像傳感器10的損傷。
此外,一旦被固定的圖像傳感器10和被檢體50,可以以不損傷圖像傳感器10的受光面的方式來分離,所以一個圖像傳感器10,能夠適用于多個被檢體50。因而,能夠以低成本獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。
(實施方式3)
本實施方式涉及的電子標本保持部件,固體攝像元件以及其組裝方法,與實施方式1涉及的電子標本保持部件以及固體攝像元件進行比較時,被檢體50與圖像傳感器10之間設置的部件設置構成以及形成工序不同。下面,針對本實施方式涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件以及其組裝方法,以不同于實施方式1涉及的電子標本保持部件1、圖像傳感器10以及其組裝方法的部分為中心進行說明。
[7.電子標本保持部件的構成]
圖13是表示實施方式3涉及的電子標本保持部件的外觀斜視圖。此外,圖14a是實施方式3涉及的電子標本保持部件的第一截面圖,圖14b是實施方式3涉及的電子標本保持部件的第二截面圖。具體而言,圖14a是圖13的14a-14a線切斷的情況下的截面圖,圖14b是圖13的14b-14b線切斷的情況下的截面圖。
如圖13、圖14a以及圖14b所示,本實施方式涉及的電子標本保持部件3具備圖像傳感器(固體攝像元件)10、玻璃片20、透明油層36、基材40a以及40b。玻璃片20、透明油層36以及被檢體50構成標本保持部件。此外,基材40a以及40b構成固定部件。
本實施方式涉及的電子標本保持部件3,與本實施方式1涉及的電子標本保持部件1比較時作為構成的不同之處是沒有設置封入部件35、以及代替透明膜30設置了透明油層36。
透明油層36,如圖14a以及圖14b所示是涂布在圖像傳感器10的受光面的非揮發性的透明部件。此外,透明油層36與玻璃片20夾著被檢體50。透明油層36使入射光以低損耗來透過,具有防止被檢體50因外部環境經時變化的功能。關于透明油層36的構成,在后述的7-2.透明油層的構成中詳細說明。
此外,關于固定部件以及圖像傳感器10的構成,與實施方式1涉及的構成相同,所以這里省略說明。
[7-1.各個構成要素的設置關系]
如圖14a以及圖14b所示,圖像傳感器10、透明油層36、被檢體50、以及玻璃片20,按照該順序被設置在基材40b與基材40a之間,通過基材40a卡止基材40b,從而這些被固定。具體而言,卡止部401的爪部嵌入到下部板410的中央的凹部,從而這些被固定。在這里,圖像傳感器10和被檢體50沒有直接相接,圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,僅由透明油層36填滿。換句話說,圖像傳感器10的受光面與透明油層36接觸,該接觸的面是透明油層36的與被檢體50接觸的面相反一側的面。從而圖像傳感器10和設置了被檢體50的玻璃片20,通過基材40b以及基材40a構成的固定部件,以可裝拆的方式被固定。
此外,如圖14b所示,在圖像傳感器10的端部形成的樹脂凸部(圖5的樹脂凸部16),嵌入到在玻璃片20形成的溝槽,從而玻璃片20與圖像傳感器10的受光面的位置被固定。
在本實施方式涉及的圖像傳感器10,與實施方式1涉及的圖像傳感器10具有同樣的構成,與透明油層36相接的受光面作為表面處理,優選的是進行親油性處理(防水性處理)。作為受光面的親油性處理,沒有特別限定,例如可以舉出該受光面的氧等離子體處理(等離子體處理)。這樣,具有防水性的透明油層36的油脂成分,均勻地浸潤圖像傳感器10的受光面。這樣,空氣不介入到所述受光面與透明油層36的接觸界面。因而,透過了被檢體50的入射光,在所述接觸界面不穿過空氣,所以能夠確保該入射光的直進性以及低損耗性。
進而,在進行所述表面處理的情況下,優選的是在圖像傳感器10不設置微透鏡(外透鏡)。從而,能夠防止由有機材料等形成的微透鏡上產生的等離子體損壞(表面劣化,形狀劣化等),能夠防止以此為原因的圖像傳感器10的畫質不良等。
另外,在本發明中,與透明油層36(或者透明膜30)相接的受光面的表面處理,不限定為親油性處理(防水性處理),也可以進行與透明油層36(或透明膜30)的物性(材質)等對應的表面處理(作為一例是親水性處理)。
另外,在本發明中,受光面的表面處理不限定為氧等離子體處理(等離子體處理),也可以采用其他表面處理(作為一例是藥液等的涂布、噴霧、或噴射的處理等)。
另外,所述表面處理,也可以在實施方式1和2中說明的與透明膜30相接的受光面進行。
另外,除了透明油層36,還可以使實施方式1涉及的封入部件35介于被檢體50與圖像傳感器10的受光面之間。
[7-2.透明油層的構成]
在此,參照圖13、圖14a以及圖14b,對本實施方式涉及的電子標本保持部件3中的透明油層36的構成進行說明,該透明油層36用于使圖像傳感器10與設置了被檢體50的玻璃片20以可裝拆的方式進行固定,并且具有高攝像精度。
透明油層36是被設置在圖像傳感器10的受光面,密封該受光面的非揮發性透明部件,由防水性油脂材料來構成。此外,透明油層36,以能夠從圖像傳感器10的受光面去除的方式而被設置。
換句話說,透明油層36,以緊貼著被檢體50以及圖像傳感器10的受光面的方式而被設置。進而,透明油層36具有按照被檢體50以及圖像傳感器10的受光面的凹凸,在緊貼的面可自由變形的伸縮性、或者浸潤性。
此外,透明油層36,需要將被檢體50,用玻璃片20來覆蓋。這樣,以被檢體50保持在玻璃片20的狀態下,使被檢體50不變質地長期保存。
此外,透明油層36,優選的是在可視光(波長300nm~800m)的范圍內,比玻璃片20的光透過率高,優選的是具有80%的光透過率。這樣,使透過了被檢體50的光,以低損耗到達圖像傳感器10。
此外,在電子標本保持部件3中,從獲得高分辨率的攝影圖像的觀點上,優選的是入射光不擴散,以平行光到達被檢體50以及圖像傳感器10的受光面。在這個觀點上,優選的是被檢體50與圖像傳感器10的受光面之間的距離短。更具體而言,優選的是透明油層36的膜厚與以矩陣狀設置的多個像素100的排列間距大致相等或者排列間距以下。這樣,不使圖像傳感器10的圖像分辨率下降,能夠獲得反映了圖像傳感器10的圖像分辨率的圖像。
此外,透明油層36的膜厚,更優選的是1μm以下。這樣,不降低波長頻帶為300nm~800nm的可視光區域中的圖像傳感器10的高圖像分辨率,能夠獲得反映了圖像傳感器10的高圖像分辨率的高精度的圖像。
透明油層36是非揮發性的油脂,優選的是第三石油類等的油脂。
在本實施方式中,僅由透明油層36介于被檢體50與圖像傳感器10的受光面之間,封入部件35不介于其間。這樣,比較實施方式1以及2,在被檢體50與圖像傳感器10的受光面之間,介質不同的層只有透明油層36,減少了介質不同的層數。從而,確保入射光的直進性以及低損耗性。
此外,在實施方式1涉及的具有透明膜30的構造中,不設置封入部件35,只用透明膜30覆蓋被檢體50的情況下,通過被檢體50的表面凹凸,有時在透明膜30與被檢體50的接觸界面上包含空氣。在這里,玻璃片20的折射率是例如1.45,被檢體50的折射率是例如1.3以上,透明膜30的折射率是例如1.45以上。在這個情況下,透過被檢體50的入射光,有可能被所述接觸界面中的空氣(折射率=1)而折射。
對于此,本實施方式涉及的透明油層36,在常溫是液相狀態,與被檢體50之間的接觸界面上,即使被檢體50存在表面凹凸的情況下,該接觸界面上不介入空氣,而填充透明油層36。從而,透過了被檢體50的入射光在所述接觸界面不穿過空氣,所以能夠確保入射光的直進性以及低損耗性。
以上,通過本實施方式涉及的電子標本保持部件3,不使用高額的顯微鏡圖像攝影裝置,圖像傳感器10本身就能輸出圖像信號(電子信號),能夠大幅度減少觀察所需要的成本(檢查成本)。換言之,本實施方式涉及的電子標本保持部件3,能夠廣泛普及高層次的病理診斷。
此外,具有所述特征的透明油層36介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以既具有圖像傳感器10的高攝像精度,又能防止圖像傳感器10的損傷。因而,能夠以低成本獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。不經由透明油層36,圖像傳感器10的受光面與被檢體50或者其封入部件相接的情況下,所述受光面受到被檢體50或其封入部件的應力,該受光面有可能變形或者變質。此外,所述受光面與被檢體50或其封入部件進行分離的情況下,該受光面有可能變形或者變質。對于此,透明油層36介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,從而能夠防止所述的受光面的變形或變質。
此外,被檢體50通過透明油層36以及玻璃片20而受保護,能夠防止被檢體50的劣化。
[8.電子標本保持部件的組裝方法]
下面,利用圖15來說明實施方式3涉及的電子標本保持部件3的組裝方法。
圖15是說明實施方式3涉及的標本保持部件的形成方法的工序圖。
首先,如圖15的(a1)所示,進行被檢體50的預處理(被檢體準備步驟)。作為一例,對取下的被檢體進行脫水,用石蠟進行包埋處理后,切成從幾μm左右到十幾μm左右的所希望的厚度,將去除石蠟的被檢體50,設置在玻璃片20的表面。
接著,如圖15的(b1)所示,將被檢體50連帶玻璃片20,浸漬到染色液中。這樣,如圖15的(c1)所示,被檢體50被染色。
另一方面,如圖15的(a2)所示,將透明油36a滴到圖像傳感器10的受光面上。在此,作為透明油36a的材料,可舉出非揮發性的油脂,優選的是第三石油類等油脂。
下面,如圖15的(b2)所示,將透明油36a滴到所述受光面之后,經過規定時間,或者通過旋轉涂覆,在所述受光面均等地分散透明油36a。換言之,在圖15的(a2)以及(b2)中,以用防水性油脂材料構成的透明油層36的背面來密封所述受光面的方式,在該受光面上設置透明油層36部件(透明部件設置步驟)。
下面,如圖15的(d)所示,玻璃片20的被設置了被檢體50的面,與被設置了透明油層36的圖像傳感器10的受光面重合。換言之,在透明油層36的表面設置被檢體50(透明部件設置步驟)。
通過上述工序,如圖15的(e)所示,透明油層36、被檢體50、以及玻璃片20按照該順序重合,形成以切斷戶外空氣的方式來密封的標本保持部件61。
另外,代替如圖15的(b2)所示的將透明油36a滴到所述受光面的工序,可以將透明油36a滴到設置在玻璃片20的被檢體50。這樣,以覆蓋被檢體50的方式,在被檢體50上均等地分散透明油36a。而且,玻璃片20的被設置了被檢體50以及透明油36a的面,與圖像傳感器10的受光面重合。
接著,用基材40a和基材40b夾著圖像傳感器10以及標本保持部件61來進行固定。這樣,圖像傳感器10和被檢體50,在沒有直接相接的狀態下僅經由透明油層36來接近,并沒有接合。因而,圖像傳感器10和被設置了被檢體50的玻璃片20,以可裝拆的方式被固定。
以上,通過本實施方式涉及的電子標本保持部件的組裝方法,具有所述特征的透明油層36介于圖像傳感器10的受光面與被檢體50之間,所以既具有圖像傳感器10的高攝像精度,又能防止圖像傳感器10的損傷。
此外,一旦固定的圖像傳感器10和被設置了被檢體50的玻璃片20,通過分離基材40a和基材40b,以圖像傳感器10的受光面不受損傷的方式進行分離,所以能夠將一個圖像傳感器10,適用(重復使用)于多個被檢體50。因而,能夠以低成本獲得具有高圖像精度的被檢體觀測數據。
將一個圖像傳感器10,適用(重復使用)于多個被檢體50的例子,可舉出以下形態。
首先,經過上述的電子標本保持部件的組裝工序后,對用基材40a以及基材40b一體化的圖像傳感器10以及標本保持部件61進行攝像。
接著,從圖像傳感器10以及標本保持部件61取下基材40a以及基材40b。在這個狀態下,圖像傳感器10與設置了被檢體50的玻璃片20,僅經由透明油層36來結合,所以能夠容易分離圖像傳感器10和被檢體50。在結束了該攝像的被檢體50上滴下封入劑,并且將被檢體50用玻璃片20與蓋玻片來夾著,從而攝像完畢的被檢體50成為能夠保管的狀態。對被保管的被檢體50再次進行攝像的情況下,將通過二甲苯等溶媒來溶解并去除封入劑的被檢體50以及玻璃片20,與被涂布了透明油層36的圖像傳感器10重合。
另一方面,與被設置了被檢體50的玻璃片20分離的圖像傳感器10的受光面上殘存著透明油36a,但不需要沖洗。在這個狀態下或著在該受光面滴下透明油36a的狀態下,與被設置了新的被檢體50的玻璃片20重合。然后,對被重合的圖像傳感器10和新的被檢體50以及玻璃片20、以及基材40a和基材40b以可裝拆的方式一體化的電子標本保持部件3,執行攝像。
以下,通過反復所述組裝、攝像、分離、保管,從而將一個圖像傳感器10適用(重復使用)于多個被檢體50。
[9.電子標本保持部件的組裝套件]
另外,本實施方式3涉及的電子標本保持部件3是將標本保持部件61、圖像傳感器10、和基材40a以及基材40b組裝的完成品的形態,但是本發明不限定為該形態,還包含電子標本保持部件組裝套件,該組裝套件是標本保持部件61、圖像傳感器10以及上述固定部件組裝之前的形態。
換言之,本實施方式變形例涉及的電子標本保持部件組裝套件具備:用于支承被檢體50的玻璃片20、用于與玻璃片20夾著被檢體50的透明油36a、用于對透過了被檢體50的光經由透明油層36而接受的圖像傳感器10、以及用于以可裝拆的方式固定玻璃片20和圖像傳感器10的基材40a以及40b。
通過組裝所述電子標本保持部件組裝套件的所述配件,制作實施方式3涉及的電子標本保持部件3,起到與電子標本保持部件3同樣的效果。
另外,電子標本保持部件3的攝像系統,與實施方式1涉及的電子標本保持部件1的攝像系統是同樣的構成,所以省略說明。
(其他實施方式)
另外,本發明涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件、以及電子標本保持部件的組裝方法,不限定為實施方式1~3。組合各個實施方式中的任意的構成要素來實現的其他實施方式、對各個實施方式在不超過本發明的宗旨的范圍內實施本領域技術人員所想出的各種變形而得到的變形例、本實施方式涉及的內置電子標本保持部件或固體攝像元件的各種設備也包含在本發明中。
例如,本發明涉及的圖像傳感器10,不局限于利用光電轉換膜104的光電轉換膜層疊型圖像傳感器,也可以是如下示出的ccd圖像傳感器、cmos圖像傳感器、或其他的圖像傳感器。ccd圖像傳感器以及cmos圖像傳感器,可以是表面照射型或者背面照射型的任一種。
圖16a是表示ccd圖像傳感器的構造的截面圖。如圖16a所示,ccd圖像傳感器120具有基板122、在基板122上的絕緣層123、在絕緣層123內形成的布線124。在基板122形成有多個光電二極管121。此外,在布線124上,形成遮光層(未圖示)。此外,省略了各晶體管的圖示。此外,表面照射型的cmos圖像傳感器中光電二極管附近的截面構造,與圖16a的ccd圖像傳感器120中的光電二極管附近的截面構造相同。
圖16b是表示背面照射型的cmos圖像傳感器的構造的截面圖。如圖16b所示,背面照射型的cmos圖像傳感器110具有基板113、基板113的下方的絕緣層112、在絕緣層112內形成的布線114。在基板113,形成有多個光電二極管111。如該圖所示,背面照射型的cmos圖像傳感器110具有如下優點,即使傾斜入射的情況下,透過光也不會被布線114所遮住。另外,為了減少在基板113產生的噪聲,可以在基板113中沒有形成光電二極管111的區域,形成遮光層。
本申請涉及的電子標本保持部件、固體攝像元件、電子標本保持部件組裝套件、以及電子標本保持部件的組裝方法,能夠以低成本來實現高畫質的圖像攝像,所以有用于例如病理被檢體的檢查。
符號說明
1,2,3電子標本保持部件
10圖像傳感器(固體攝像元件)
11半導體芯片
11a攝像區域
12封裝體基板
13導線
14,15電極墊
16樹脂凸部
20玻璃片
21支承基板
30透明膜
35封入部件
36透明油層
36a透明油
40a,40b基材
50被檢體
60,61標本保持部件
70夾具
71,72夾具基材
73卡合部
74按壓部
75,402開口
76鉸鏈
77,425凹部
80圖像獲得裝置
81蓋部
82,400主體部
83光源
84臺座
85控制裝置
86控制部
87圖像處理部
88存儲器
90顯示器
91數據庫
100像素
101半導體基板
102布線層
103a像素電極
103b偽電極
104光電轉換膜
105透明電極
110cmos圖像傳感器
111,121光電二極管
112,123絕緣層
113,122基板
114,124布線
120ccd圖像傳感器
401卡止部
410下部板
420上部板
426向導