技術總結
本發明涉及一種檢驗系統，此檢驗系統具有光學頭、支撐系統及與所述支撐系統電通信的控制器。所述支撐系統經配置以向所述光學頭提供具有三個自由度的移動。所述控制器經編程以使用所述支撐系統來控制所述光學頭的移動，使得所述光學頭維持相對于晶片表面的恒定入射角，同時使所述晶片的圓周邊緣成像。可使邊緣輪廓測繪儀橫跨所述晶片掃描以確定邊緣輪廓。可使用所述邊緣輪廓來確定所述光學頭的軌跡。
技術研發人員：P·霍恩
受保護的技術使用者：科磊股份有限公司
文檔號碼：201580047056
技術研發日：2015.09.30
技術公布日：2017.05.31