一種高純化學品連續穩定輸送系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及薄膜太陽能電池行業中高純化學品的輸送，具體是指一種高純化學品連續穩定輸送系統。
【背景技術】
[0002]高純化學品(如:二乙基鋅DEZ、三甲基鋁TMA等)已經廣泛地應用于電子器件制造，如在薄膜太陽能電池(含硅基薄膜電池、CIGS電池等)以及制藥等行業之中。
[0003]目前，這些高純化學品的輸送裝置或系統包括貯存罐、填充緩沖罐和壓送系統，所述壓送系統多采用高純惰性氣體壓送，先通過一路惰性氣體將高純化學品壓送從貯存罐壓送至填充緩沖罐，該路惰性氣體管道上設有過濾器和若干單向閥，再由另一路惰性氣體將填充緩沖罐內的高純化學品壓送到幾十米至上百米之外的使用機臺。但是該種輸送裝置或系統由于DEZ、TMA等在室溫狀態下有自分解的化學特性，其產生的分解顆粒物會使過濾器出現不同程度的堵塞，而且隨著過濾器使用時間的延長和使用期間的高溫環境，高純化學品由于自分解作用而產生的顆粒物對過濾器的堵塞會愈發嚴重，這會導致填充的速度變慢、填充時間間隔延長等問題，嚴重時會導致無法將緩沖罐內的化學品推送到遠處的使用機臺，導致供應中斷現象出現。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種結構布置合理、成本低、效率高和推送連續穩定的高純化學品連續穩定輸送系統。
[0005]本實用新型可以通過以下技術方案來實現:
[0006]一種高純化學品連續穩定輸送系統，包括貯存罐、緩沖罐、推送系統、排氣管道、機臺和控制模塊，所述推送系統上的電動或氣動部件與控制模塊連接，所述推送系統通過惰性氣體推送高純化學品，所述推送系統包括第一推送系統和第二推送系統，所述第一推送系統和第二推送系統均與輸送總管連通，所述第一推送系統用于將貯存罐內的高純化學品推送至緩沖罐內，第一推送系統包括第一貯存推送管道和第二貯存推送管道，所述第一貯存推送管道的一端與輸送總管連通，另一端伸入貯存罐內上部，第一貯存推送管道上從與輸送總管連通的一端起依次設有第一調壓閥和第一氣動閥，所述第一調壓閥用于將第一貯存推送管道進口處壓力調整至根據過濾器的具體使用情況所需要的預設定值，該第一調壓閥設定的壓力預設定值定義為填充壓力，所述第二貯存推送管道的一端伸入貯存罐內下部，另一端伸入緩沖罐內下部，第二貯存推送管道上設有從與貯存罐連接的一端起依次設有過濾器和第二氣動閥；所述第二推送系統用于將緩沖罐內的高純化學品推送至機臺，第二推送系統包括第一緩沖推送管道和第二緩沖推送管道，所述第一緩沖推送管道的一端與輸送總管連通，另一端伸入緩沖罐內上部，所述第一緩沖推送管道上從與輸送總管連通的一端起依次設有第二調壓閥和第三氣動閥，所述第二調壓閥的設置用于將第一緩沖推送管道進口處壓力調整至根據緩沖罐到使用機臺的距離等因素和機臺使用端的具體使用情況所需要的預設定值，該第二調壓閥設定的壓力預設定值定義為推送壓力，所述第二緩沖推送管道的一端伸入緩沖罐內下部，另一端與機臺連通，所述第二緩沖推送管道上從與緩沖罐連通的一端起依次設有第四氣動閥、壓力傳感器和壓力監測計，壓力傳感器用于感應緩沖罐上方第二緩沖推送管道內的壓力，并將感應到的數據及時傳送給控制模塊，由控制模塊控制第二氣動閥以及第五氣動閥的開啟與閉合，壓力監測計同時監測該道管道內的壓力，其顯示的壓力數據可以校訂壓力傳感器的準確性。緩沖罐內安裝的測量極限液位的傳感器起到安全監控作用，當該傳感器測量到緩沖罐內的液位達到設定的安全極限上限時，將觸發信號給控制模塊，為了安全起見控制模塊將會終止化學品的繼續填充。上述第二推送系統設于第一推送系統上方，本實用新型通過第一推送系統和第二推送系統上下結構布置，同時在第一推送系統和第二推送系統上分別獨立設置第一調壓閥和第二調壓閥，整個結構布置合理，占地面積小；且與現有輸送系統或裝置的零部件構成相比，主要區別是在結構布置和閥門位置設定方面，零部件僅增加了調壓閥以及壓力傳感器等，且增加的零部件均為常用閥門、傳感器等，其不僅來源豐富，而且價格低廉，成本低；采用現有技術高純化學品輸送系統或裝置進行從貯存罐向緩沖罐內填充高純化學品，1、剛換新的過濾器的輸送系統，填充時間為9分鐘，開始填充時緩沖罐內的壓力為1.8Barg，填充結束時壓力為1.2Barg ;2、新換過濾器的輸送系統使用一周后，填充時間為12分鐘，開始填充時緩沖罐內的壓力為1.SBarg，填充結束時壓力為1.0Barg ;3、新換過濾器的輸送系統使用兩周后，填充時間為16分鐘，開始填充時緩沖罐內的壓力為1.8Barg，填充結束時壓力為0.5Barg ;由此可知，隨著過濾器使用時間的延長和使用期間的高溫環境，高純化學品由于自分解作用而產生的顆粒物對過濾器的堵塞愈發嚴重，進而導致填充時間延長，以及緩沖罐使用端壓力降低的情況。而采用本實用新型高純化學品輸送系統進行從貯存罐向緩沖罐內填充高純化學品，填充時間為6分鐘，填充過程從開始至填充結束緩沖罐內的壓力始終恒定在1.5Barg，填充效率大大提升，填充效率高；采用本實用新型高純化學品輸送系統進行從貯存罐向緩沖罐內填充高純化學品，填充時間為6分鐘，填充過程從開始至填充結束緩沖罐內的壓力始終恒定在1.5Barg,即是緩沖罐內的壓力一直保持恒定狀態，有效避免了因現有技術中填充過程隨著時間的推移緩沖罐內的壓力越來越低無法將高純化學品推送至使用機臺，導致推送中斷的情況出現，整個推送過程連續穩定，不間斷。
[0007]所述排氣管道設于緩沖罐頂部，所述排氣管道的外端部與真空栗連接，排氣管道上設有第五氣動閥，排氣管道以及其上第五氣動閥的設置，有效排解緩沖罐內的壓力，使緩沖罐內壓力維持在預設定值，真空栗的設置，使排氣管道處于真空狀態，便于排氣管道的壓力排放。
[0008]優選地，所述輸送總管內推送高純化學品的惰性氣體為高純氮氣或高純氬氣，優選純度為99.9999% (6N)的高純氮氣。
[0009]優選地，所述的高純化學品為二乙基鋅或三甲基鋁。
[0010]優選地，所述輸送總管的進口處設有第一手閥，用于開啟或關斷輸送總管氣路。
[0011]優選地，所述第一貯存推送管道上設有第二手閥，所述第二手閥設于第一氣動閥與貯存罐之間；所述第二貯存推送管道上設有至少三個第三手閥，所述至少三個第三手閥分別位于貯存罐和過濾器之間、過濾器和第二氣動閥之間、以及第二氣動閥與緩沖罐之間。第二手閥的設置一方面用于第一貯存推送管道氣路的開啟或關斷，另一方面便于維修或更換第一氣動閥；第三手閥的設置一方面用于第二貯存推送管道氣路的開啟或關斷，另一方面便于維修或更換過濾器以及第二氣動閥。
[0012]優選地，所述第一緩沖推送管道上設有兩個第四手閥，兩個第四手閥分別位于第三氣動閥的前后；所述第二緩沖推送管道上設有兩個第五手閥，兩個第五手閥分別位于第四氣動閥的前后。第四手閥的設置一方面用于第一緩沖推送管道氣路的開啟或關斷，另一方面便于維修或更換第三氣動閥。第五手閥的設置一方面用于第二緩沖推送管道氣路的開啟或關斷，另一方面便于維修或更換第四氣動閥。
[0013]優選地，所述排氣管道上設有兩個第六手閥，兩個第六手閥分別位于緩沖罐與第五氣動閥之間，以及第五氣動閥與真空栗之間。第六手閥的設置一方面用于排氣管道氣路的開啟或關斷，另一方面便于維修或更換第五氣動閥。
[0014]優選地，所述的緩沖罐內設有測量液位的液位計和測量極限液位的傳感器，液位計的設置用于測量緩沖罐內液面達到的高度，并及時將測量到的數據傳送至控制模塊；緩沖罐內安裝的測量極限液位的傳感器起到安全監控作用，當該傳感器測量到緩沖罐內的液位達到設定的安全極限上限時，將觸發信號給控制模塊，為了安全起見控制模塊將會終止化學品的繼續填充。
[0015]優選地，所述的控制模塊中可以根據實際使用狀況，設定高液位限限定值和低液位限限定值，該處提及的高液位限限定值和低液位限限定值只是一個設定限值，并不是在物理上有刻度線，且該高液位限限定值和低液位限限定值可以根據經驗及系統狀況而調整。
[0016]優選地，所述第一氣動閥、第二氣動閥、第三氣動閥、第四氣動閥、第五氣動閥、液位計、壓力傳感器和測量極限液位的傳感器均與控制模塊連接。
[0017]一種利用上述高純化學品連續穩定輸送系統的方法，其特征在于:包括如下步驟:
[0018]第一步，將高純化學品置于便于安全運輸的貯存罐內，密封貯存罐；
[0019]第二步，將第一推送管道伸入貯存罐內上部并密封好，將第二推送管道的兩端分別伸入貯存罐內和緩沖罐內并密封好；將第一緩沖推送管