緊湊型多層納米伺服平臺的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本發明涉及一種緊湊型多層納米伺服平臺。
【背景技術】
[0002]現有的二維納米柔性運動平臺存在結構尺寸大、終端平臺支撐效果差的缺陷。
【發明內容】
[0003]本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明提出一種具有尺寸小、終端平臺支撐效果好的優點的緊湊型多層納米伺服平臺。
[0004]根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺包括:基座;終端平臺，所述終端平臺位于所述基座的邊沿的內側;X向驅動器和Y向驅動器;第一 Y向柔性解耦件和第一 X向柔性導向件，所述第一 Y向柔性解耦件沿X向延伸且分別與所述終端平臺和所述X向驅動器相連，所述第一 X向柔性導向件設在所述基座上，所述第一 X向柔性導向件沿Y向延伸且與所述X向驅動器相連；以及第一 X向柔性解耦件和第一 Y向柔性導向件，所述第一 X向柔性解耦件沿Y向延伸且分別與所述終端平臺和所述Y向驅動器相連，所述第一 Y向柔性導向件設在所述基座上，所述第一 Y向柔性導向件沿X向延伸且與所述Y向驅動器相連，所述第一 X向柔性導向件和所述第一 Y向柔性導向件中的至少一個位于所述第一 Y向柔性解耦件和所述第一 X向柔性解耦件中的相應的至少一個的下方且在上下方向上相對。
[0005]根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺具有尺寸小、終端平臺支撐效果好的優點。
[0006]另外，根據本發明上述實施例的緊湊型多層納米伺服平臺還可以具有如下附加的技術特征:
[0007]根據本發明的一個實施例，所述緊湊型多層納米伺服平臺進一步包括:第一X向剛性連接件，所述第一 X向剛性連接件沿X向延伸，所述X向驅動器、所述第一 X向柔性導向件和所述第一 Y向柔性解耦件中的每一個均與所述第一 X向剛性連接件相連;和第一 Y向剛性連接件，所述第一 Y向剛性連接件沿Y向延伸，所述Y向驅動器、所述第一 Y向柔性導向件和所述第一 X向柔性解耦件中的每一個均與所述第一 Y向剛性連接件相連。
[0008]根據本發明的一個實施例，所述終端平臺包括終端平臺本體、L形的第一連接部和L形的第二連接部，所述第一連接部的X向部沿X向延伸且與所述終端平臺本體相連，所述第一連接部的Y向部沿Y向延伸且與所述第一 Y向柔性解耦件相連，所述第二連接部的Y向部沿Y向延伸且與所述終端平臺本體相連，所述第二連接部的X向部沿X向延伸且與所述第一 X向柔性解耦件相連，所述基座包括基座本體以及設在所述基座本體上的第一安裝部和第二安裝部，所述第一 X向柔性導向件的第一端與所述第一 X向剛性連接件相連且第二端與所述第一安裝部相連，所述第一 Y向柔性導向件的第一端與所述第一 Y向剛性連接件相連且第二端與所述第二安裝部相連，所述第一 X向柔性導向件和所述第一 Y向柔性導向件在上下方向上與所述基座本體間隔開。
[0009]根據本發明的一個實施例，所述緊湊型多層納米伺服平臺進一步包括:第二X向柔性導向件，所述第二 X向柔性導向件與所述第一 X向柔性導向件沿X向間隔開地設置，所述第二X向柔性導向件沿Y向延伸且分別與所述基座和所述第一 X向剛性連接件相連;第二 Y向柔性導向件，所述第二 Y向柔性導向件與所述第一 Y向柔性導向件沿Y向間隔開地設置，所述第二Y向柔性導向件沿X向延伸且分別與所述基座和所述第一 Y向剛性連接件相連。
[0010]根據本發明的一個實施例，所述第一X向柔性導向件與所述第一 X向剛性連接件的第一端相連，所述第二 X向柔性導向件與所述第一 X向剛性連接件的第二端相連，所述第一 Y向柔性導向件與所述第一 Y向剛性連接件的第一端相連，所述第二 Y向柔性導向件與所述第一 Y向剛性連接件的第二端相連。
[0011]根據本發明的一個實施例，所述第一X向柔性解耦件為兩個且兩個所述第一 X向柔性解耦件相對Y向對稱，所述第一 Y向柔性解耦件為兩個且兩個所述第一 Y向柔性解耦件相對X向對稱，所述第一 X向柔性導向件為兩個且兩個所述第一 X向柔性導向件相對X向對稱，所述第二 X向柔性導向件為兩個且兩個所述第二 X向柔性導向件相對X向對稱，所述第一 Y向柔性導向件為兩個且兩個所述第一 Y向柔性導向件相對Y向對稱，所述第二 Y向柔性導向件為兩個且兩個所述第二 Y向柔性導向件相對Y向對稱。
[0012]根據本發明的一個實施例，所述緊湊型多層納米伺服平臺進一步包括:第二X向剛性連接件和第二 Y向剛性連接件，所述第二 X向剛性連接件沿X向延伸，所述第二 Y向剛性連接件沿Y向延伸；第二 Y向柔性解耦件，所述第二 Y向柔性解耦件沿X向延伸，所述第二 Y向柔性解耦件的第一端與所述第二 X向剛性連接件相連，所述第二 Y向柔性解耦件的第二端與所述終端平臺相連;第二 X向柔性解耦件，所述第二 X向柔性解耦件沿Y向延伸，所述第二 X向柔性解耦件的第一端與所述第二 Y向剛性連接件相連，所述第二 X向柔性解耦件的第二端與所述終端平臺相連;第三X向柔性導向件，所述第三X向柔性導向件設在所述基座上且位于所述第二 Y向柔性解耦件的下方，所述第三X向柔性導向件在上下方向上與所述第二 Y向柔性解耦件相對，所述第三X向柔性導向件沿Y向延伸且與所述第二 X向剛性連接件相連;和第三
Y向柔性導向件，所述第三Y向柔性導向件設在所述基座上且位于所述第二X向柔性解耦件的下方，第三Y向柔性導向件在上下方向上與所述第二 X向柔性解耦件相對，所述第三Y向柔性導向件沿X向延伸且與所述第二 Y向剛性連接件相連。
[0013]根據本發明的一個實施例，所述緊湊型多層納米伺服平臺進一步包括:第四X向柔性導向件，所述第四X向柔性導向件和所述第三X向柔性導向件沿X向間隔開地設置，所述第四X向柔性導向件沿Y向延伸且分別與所述基座和所述第二 X向剛性連接件相連;和第四Y向柔性導向件，所述第四Y向柔性導向件和所述第三Y向柔性導向件沿Y向間隔開地設置，所述第四Y向柔性導向件沿X向延伸且分別與所述基座和所述第二 Y向剛性連接件相連。
[0014]根據本發明的一個實施例，所述第二X向柔性解耦件為兩個且兩個所述第一 X向柔性解耦件相對Y向對稱，所述第二 Y向柔性解耦件為兩個且兩個所述第一 Y向柔性解耦件相對X向對稱，所述第三X向柔性導向件為兩個且兩個所述第三X向柔性導向件相對X向對稱，所述第四X向柔性導向件為兩個且兩個所述第四X向柔性導向件相對X向對稱，所述第三Y向柔性導向件為兩個且兩個所述第三Y向柔性導向件相對Y向對稱，所述第四Y向柔性導向件為兩個且兩個所述第四Y向柔性導向件相對Y向對稱。
[0015]根據本發明的一個實施例，所述第二X向柔性解耦件為兩個且兩個所述第二 X向柔性解耦件相對Y向對稱，所述第二 Y向柔性解耦件為兩個且兩個所述第二 Y向柔性解耦件相對X向對稱，所述第三X向柔性導向件為兩個且兩個所述第三X向柔性導向件相對X向對稱，所述第三Υ向柔性導向件為兩個且兩個所述第三Υ向柔性導向件相對X向對稱，所述第一 X向柔性解耦件與所述第二 X向柔性解耦件相對X向對稱，所述第一 Υ向柔性解耦件與所述第二 Υ向柔性解耦件相對Υ向對稱，所述第一 X向柔性導向件與所述第三X向柔性導向件相對Υ向對稱，所述第一 Υ向柔性導向件與所述第三Υ向柔性導向件相對X向對稱，優選地，所述緊湊型多層納米伺服平臺通過3D打印一體成型，優選地，所述緊湊型多層納米伺服平臺為塑料材質(如ABS)，通過3D打印一體成型。
【附圖說明】
[0016]圖1是根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺的俯視圖；
[0017]圖2是根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺的結構示意圖；
[0018]圖3是根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺的局部結構示意圖；
[0019]圖4是根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺的局部結構示意圖；
[0020]圖5是根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺的主視圖。
【具體實施方式】
[0021]下面詳細描述本發明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本發明，而不能理解為對本發明的限制。
[0022]下面參考附圖描述根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺10。如圖1-圖5所示，根據本發明實施例的緊湊型多層納米伺服平臺10包括基座101、終端平臺102、Χ向驅動器(圖中未示出)、Υ向驅動器(圖中未示出)、第一Υ向柔性解耦件1041、第一X向柔性導向件1051、第一 X向柔性解耦件1042和第一 Υ向柔性導向件1053。
[0023]終端平臺102位于基座101的邊沿的內偵彳。第一Υ向柔性解耦件1041沿X向延伸，第一 Υ向柔性解耦件1041分別與終端平臺102和該X向驅動器相連。第一 X向柔性導向件1051設在基座101上，第一 X向柔性導向件1051沿Υ向延伸，第一 X向柔性導向件1051與該X向驅動器相連。
[0024]第一X向柔性解耦件1042沿Υ向延伸，第一 X向柔性解耦件1042分別與終端平臺102和該Υ向驅動器相連。第一 Υ向柔性導向件1053設在基座101上，第一 Υ向柔性導向件1053沿X向延伸，第一 Υ向柔性導向件1053與該Υ向驅動器相連。
[0025]其中，第一X向柔性導向件1051和第一Υ向柔性導向件1053中的至少一個位于第一Υ向柔性解耦件1041和第一 X向柔性解耦件1042中的相應的至少一個的下方且在上下方向上相對。
[0026]也就是說，第一X向柔性導向件1051位于第一 Υ向柔性解耦件1041的下方且第一 X向柔性導向件1051在上下方向上與第一 Υ向柔性解耦件1041相對，或者第一 Υ向柔性導向件1053位于第一 X向柔性解耦件1042的下方且第一 Υ向柔性導向件1053在上下方向上與第一 X向柔性解耦件1042相對，或者第一 X向柔性導向件1051位于第一 Υ向柔性解耦件1041的下