真空閥的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種真空閥。
【背景技術】
[0002]當在真空處理裝置的真空腔室中安裝著渦輪分子栗等真空栗時，一般會插入真空閥。
[0003]專利文獻1記載的真空閥使滑動板滑動而相對于流路拔插，由此來進行流量調整。在使閥為完全關閉的狀態的情況下，通過使設置著密封環的環狀密封體抵接于插入到流路中的滑動板的緣部，來阻斷流路。
[0004]專利文獻1記載的密封體包含將所述密封環與環狀的活塞加以連接且在周向上設置著多個的螺栓。使用彈簧及壓縮空氣來驅動該活塞，由此進行密封體對滑動板的抵接及背離。
[0005][現有技術文獻]
[0006][專利文獻]
[0007][專利文獻1]美國專利第5577707號說明書
【發明內容】
[0008][發明所要解決的問題]
[0009]伴隨閥的動作，可能引起密封環的固定部與活塞的固定部的周向上的位置關系的偏離等。專利文獻1記載的發明中，因上述原因，存在螺栓的密封環側的固定位置與活塞側的固定位置所連結的線不與密封體的移動方向平行的可能性。該情況下，當然螺栓也不會與密封體的移動方向平行。
[0010]雖然在螺栓的周面與收納螺栓的空間的壁面之間設置著0形環，但如上所述，在螺栓不與密封體的移動方向平行的情況下，0形環局部接觸，從而使0形環的密封性劣化。結果，壓縮空氣或大氣會向真空系統側泄漏，或發生因螺栓與螺栓周圍的壁面的接觸而引起的動作不良，從而無法確保作為真空閥的性能。
[0011][解決問題的技術手段]
[0012]本發明的優選的形態的真空閥包括:框體，形成著相向的一對開口部；閥體，在一對開口部之間拔插；以及環狀密封體，在框體內沿一對開口部的相向方向滑動移動，抵接于插入到一對開口部之間的閥體而成為閥關閉狀態。框體上形成著環狀收容部，所述環狀收容部具備內周側壁面及外周側壁面并且收容滑動移動的密封體。在環狀密封體的內周面及外周面分別設置著:將密封體與內周側壁面的間隙加以密封的第一密封材，及將密封體與外周側壁面的間隙加以密封的第二密封材。
[0013][發明的效果]
[0014]根據本發明，可提高真空閥的密封體的密封性。
[0015]綜上所述，本發明提供一種真空閥，其密封體的密封性及動作良好。真空閥包括:框體，形成著相向的一對開口部；閥體，在一對開口部之間拔插；以及環狀密封體，利用壓縮空氣、彈簧或磁力的壓力而在框體內沿一對開口部的相向方向滑動移動，且抵接于插入到一對開口部之間的閥體而成為閥關閉狀態。框體上形成著環狀收容部，所述環狀收容部具備內周側壁面及外周側壁面并且收容滑動移動的密封體。在密封體的內周面及外周面分別設置著將密封體與內周側壁面的間隙加以密封的密封材，及將密封體與外周側壁面的間隙加以密封的密封材。
[0016]上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本發明的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。
【附圖說明】
[0017]圖1是表示本發明的一實施方式的真空閥的立體圖。
[0018]圖2是本發明的一實施方式的真空閥的局部剖面圖。
[0019]圖3(a)?圖3(c)是表示本發明的一實施方式的真空閥的凸緣、活塞部及密封環的剖面圖。
[0020]圖4(a)?圖4(c)是表示本發明的一實施方式的真空閥的活塞部的圖。
[0021]圖5(a)?圖5(c)是表示本發明的一實施方式的真空閥的密封環的圖。
[0022]圖6(a)?圖6(d)是用以說明本發明的一實施方式的真空閥的活塞部與密封環的卡合的圖。
[0023]圖7(a)?圖7(c)是本發明的一實施方式的變形例的真空閥的局部剖面圖。
[0024]圖8是比較例的真空閥的局部剖面圖。
[0025]圖9是比較例的真空閥的密封體的螺栓周邊的放大圖。
[0026][符號的說明]
[0027]1、60:真空閥
[0028]2:框體
[0029]3:凸緣
[0030]3A、6:緊固面
[0031]4:框體基部
[0032]5:收容部
[0033]7、61:密封體
[0034]8:閥體(滑動板)
[0035]8a:閥體
[0036]9:連接器
[0037]10:驅動部
[0038]11:蓋
[0039]12:取出口
[0040]31:開口部
[0041]33、64a、713、715A、716A、726A、727A、728A:凹部
[0042]34、7 lb:筒部
[0043]34A:筒部的外周面(收容部的內周側壁面)
[0044]34B:下端
[0045]41:開口部
[0046]42:通氣口
[0047]43:內周面
[0048]44:框體基部的內周面(收容部的外周側壁面)
[0049]50:壓縮彈簧
[0050]52:它磁鐵
[0051]62:活塞
[0052]63:螺栓
[0053]63a、71c:凸部
[0054]64、720:密封環
[0055]65、66:壁面
[0056]71、72:基部
[0057]71a:受壓部
[0058]71d、72b:卡合部
[0059]72a:槽
[0060]72c:圓環部
[0061]630:虛線
[0062]631、641、642、711、712、714、721、722、723:密封材
[0063]710:活塞部
[0064]715:大徑部
[0065]716:小徑部
[0066]717:上表面(端面)
[0067]718、729:連接面
[0068]726:外周面
[0069]727:內周面
[0070]728:端面
[0071]G:氣體
[0072]Θ:開度
【具體實施方式】
[0073]-實施方式-
[0074]圖1、圖2是表示本發明的一實施方式的真空閥1的圖。圖1是表示真空閥1的外觀的立體圖，圖2是圖1的A-A剖面圖。
[0075]真空閥1包括框體2及驅動部10。框體2包括凸緣3、由緊固面6 (參照圖2)及連接器(coupler) 9形成的框體基部4、以及在框體基部4內滑動驅動的閥體8 (滑動板8)。在真空處理裝置的真空腔室中固定著凸緣3的緊固面3A，緊固面6上固定著真空栗。雖省略圖示，但在驅動部10上設置著對閥體8進行擺動驅動的電動機、及對電動機進行驅動控制的控制部。
[0076]圖1所示的Θ表示閥體8的Θ開度。圖中所示的“ Θ = 0”表示使凸緣3的開口部31完全關閉的Θ開度，“Θ = Θ max”表示使凸緣3的開口部31完全打開的Θ開度。虛線所示的閥體8a表示完全打開(Θ = Θ max)時的閥體8。閥體8利用驅動部10的電動機擺動驅動且對Θ開度進行調節，由此對從真空處理裝置向真空栗流動的氣體的流量進行調節。
[0077]框體2具有設置著能夠開閉的蓋11的取出口 12。設置取出口 12是為了無須將真空閥1從真空處理裝置或真空栗卸下，便可更換設置于框體2內的零件。
[0078]圖2是圖1的A-A剖面圖。然而，與圖1不同的是，僅表示閥體8完全關閉(Θ =0)時的情況。
[0079]凸緣3具有緊固面3A、開口部31、凹部33、及筒部34。框體基部4具有連接器9、通氣口 42、開口部41、及緊固面6。另外，雖未圖不，但凸緣3與框體基部4被螺固。
[0080]開口部31與開口部41彼此相向。閥體8在開口部31與開口部41之間拔插。另夕卜，以下，將開口部31與開口部41的相向方向(圖2的圖示上下方向)的緊固面3A側(圖2的圖示上側)簡稱為“緊固面3A側”，將開口部31與開口部41的相向方向的緊固面6側(圖2的圖示下側)簡稱為“緊固面6側”。
[0081]框體2在凸緣3與框體基部4之間具有筒狀的收容部5。收容部5包括具有后述筒部34的外周面34A的筒狀的內周側壁面、及具有后述內周面43的筒狀的外周側壁面。收容部5中收容密封體7。
[0082]密封體7包含活塞部710及密封環720。此處，使用圖3(a)?圖3(c)對活塞部710與密封環720的構造進行進一步說明。圖3(a)是凸緣3的軸方向剖面圖。圖3 (b)是活塞部710的軸方向剖面圖。圖3(c)是密封環720的軸方向剖面圖。如圖3(a)?圖3(c)所示，凸緣3、活塞部710、密封環720分開制作。
[0083]如圖3(b)所示，活塞部710具有基部71、密封材711、及密封材71