三通閥和進(jìn)氣系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及三通閥，特別是涉及切換空氣等流體的流路的三通閥和使用該三通閥的進(jìn)氣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，已知這樣的三通閥，其配設(shè)在與進(jìn)氣源連接的配管上，用于切換在配管中流動(dòng)的流體的流路。例如，在專利文獻(xiàn)I中，提出了下述這樣的三通閥，所述三通閥具備:由中空橢圓柱狀的彈性體構(gòu)成的閥芯；和形成有將該閥芯收納成能夠旋轉(zhuǎn)的橢圓柱狀的空洞的閥室，通過(guò)使閥芯在閥室內(nèi)不晃動(dòng)地旋轉(zhuǎn)滑動(dòng)，由此切換2個(gè)出口端口的開(kāi)閉狀態(tài)。另外，在專利文獻(xiàn)2中，提出了下述這樣的三通閥:在兩側(cè)設(shè)有閥孔的閥室內(nèi)收納有一對(duì)閥芯和凸輪，所述一對(duì)閥芯以交替地開(kāi)閉閥孔的方式一體地移動(dòng)，所述凸輪選擇性地將這些閥芯推壓至閉閥位置，隨著開(kāi)閉軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，利用凸輪選擇性地將閥芯推壓至閉閥位置。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2013-57352號(hào)公報(bào)
[0004]專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2009-299736號(hào)公報(bào)
[0005]可是，在上述的專利文獻(xiàn)I所述的三通閥中，閥芯具有相對(duì)于閥室的一部分滑動(dòng)的部分。另一方面，在上述的專利文獻(xiàn)2所述的三通閥中，凸輪的一部分具有相對(duì)于閥芯滑動(dòng)的部分。在像這些在驅(qū)動(dòng)閥芯的結(jié)構(gòu)中包含滑動(dòng)的部分的情況下，由于該滑動(dòng)部分發(fā)生磨損而可能發(fā)生流路的開(kāi)閉性能惡化的情況。
[0006]為了防止這樣的滑動(dòng)部分的磨損，可以考慮涂敷潤(rùn)滑油等?？墒牵谶@種情況下，可能會(huì)發(fā)生潤(rùn)滑油的一部分泄漏到配管內(nèi)的情況。潤(rùn)滑油的泄漏會(huì)成為具備三通閥的裝置閥體中的不良情況的原因。例如，如后述那樣，在將三通閥應(yīng)用于對(duì)加工臺(tái)的表面進(jìn)行抽吸的進(jìn)氣系統(tǒng)中的情況下，可能會(huì)發(fā)生油分附著于加工臺(tái)上的加工對(duì)象上這樣的情況。
[0007]另外，將上述的三通閥例如應(yīng)用于這樣的進(jìn)氣系統(tǒng):利用分支管使單一的進(jìn)氣源分支，對(duì)配置在多個(gè)部位的加工臺(tái)上的異物等進(jìn)行抽吸。在這樣的進(jìn)氣系統(tǒng)中，通過(guò)使用三通閥來(lái)切換分支管內(nèi)的流路，能夠?qū)Τ槲愇锏鹊募庸づ_(tái)進(jìn)行切換。
[0008]在這樣的進(jìn)氣系統(tǒng)中，優(yōu)選的是，與分支管內(nèi)的流路的狀態(tài)無(wú)關(guān)地將對(duì)加工臺(tái)的抽吸力維持得固定。例如，還可以想象到這樣的情況:在對(duì)特定的加工臺(tái)的抽吸力對(duì)應(yīng)于分支管內(nèi)的流路的狀態(tài)發(fā)生變動(dòng)的情況下，抽吸力脫離規(guī)定的范圍而對(duì)不必要的構(gòu)成部件進(jìn)行抽吸。因此，在這樣的進(jìn)氣系統(tǒng)中，為了將抽吸部的抽吸力維持得固定，要求能夠調(diào)整流體的流入量的三通閥。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0009]本發(fā)明是鑒于這樣的問(wèn)題而完成的，目的在于提供一種能夠在抑制流路的開(kāi)閉性能惡化的同時(shí)調(diào)整流體的流入量的三通閥和使用該三通閥的進(jìn)氣系統(tǒng)。
[0010]本發(fā)明的三通閥具備:閥體，其具備與第I端口對(duì)置的第2端口、和第I端口與第2端口之間的第3端口 ；和開(kāi)閉構(gòu)件，其使第I端口和第2端口以切換的方式開(kāi)閉，所述三通閥的特征在于，開(kāi)閉構(gòu)件至少由下述部件構(gòu)成:面積為能夠封閉第I端口或第2端口的板狀的封閉板；和使封閉板在第I端口與第2端口之間往返的板移動(dòng)部，在第I端口或第2端口上具備用于調(diào)整端口的開(kāi)口面積的調(diào)整部。
[0011]根據(jù)上述三通閥，開(kāi)閉構(gòu)件通過(guò)利用板移動(dòng)部使封閉板在第I端口與第2端口之間往返，從而使第I端口和第2端口以切換的方式開(kāi)閉。因此，不存在相對(duì)于閥體等發(fā)生滑動(dòng)的部分，就能夠以切換的方式開(kāi)閉第I端口和第2端口。由此，能夠避免三通閥的構(gòu)成部件發(fā)生磨損的情況，并且能夠抑制流路的開(kāi)閉性能惡化。另外，通過(guò)調(diào)整部來(lái)調(diào)整第I端口或第2端口的開(kāi)口面積。因此，能夠調(diào)整從第I端口或第2端口流入閥體內(nèi)的流體的流入路徑的面積。由此，能夠調(diào)整從第I端口或第2端口流入的流體的流入量。其結(jié)果，能夠在抑制流路的開(kāi)閉性能惡化的同時(shí)調(diào)整流體的流入量。
[0012]例如，在上述三通閥中，調(diào)整部具備:用于調(diào)整開(kāi)口的面積的調(diào)整板；使調(diào)整板活動(dòng)的可動(dòng)部；和利用可動(dòng)部控制調(diào)整板的位置的位置控制部，通過(guò)位置控制部對(duì)調(diào)整板的位置控制來(lái)調(diào)整開(kāi)口面積。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)對(duì)調(diào)整板的位置控制將第I端口或第2端口調(diào)整為所期望的開(kāi)口面積。由此，能夠靈活地調(diào)整從第I端口或第2端口流入的流體的流入量。
[0013]本發(fā)明的進(jìn)氣系統(tǒng)具備:第I抽吸部和第2抽吸部，它們通過(guò)分支管從鼓風(fēng)機(jī)用馬達(dá)的抽吸口開(kāi)始至少向兩個(gè)方向分支，并至少對(duì)兩處加工臺(tái)進(jìn)行抽吸；由上述的任意三通閥構(gòu)成的第I三通閥，其配設(shè)在連接分支管和第I抽吸部的第I配管上；由上述的任意三通閥構(gòu)成的第2三通閥，其配設(shè)在連接分支管和第2抽吸部的第2配管上；以及切換控制部，其對(duì)第I三通閥和第2三通閥的開(kāi)閉進(jìn)行切換控制，所述進(jìn)氣系統(tǒng)的特征在于，使第I三通閥的第3端口與分支管連接，使第I三通閥的第I端口與第I抽吸部連接，第I三通閥的第2端口能夠向大氣開(kāi)放，使第2三通閥的第3端口與分支管連接，使第2三通閥的第I端口與第2抽吸部連接，第2三通閥的第2端口能夠向大氣開(kāi)放，通過(guò)切換控制部使第I三通閥的開(kāi)閉構(gòu)件和第2三通閥的開(kāi)閉構(gòu)件中的某一方動(dòng)作，使第I三通閥和第2三通閥中的一方的開(kāi)閉構(gòu)件動(dòng)作以封閉第I端口，并且，使大氣從通過(guò)調(diào)整部調(diào)整了開(kāi)口面積的第2端口進(jìn)入，使從與第I三通閥和第2三通閥中的另一方的第I端口連接的抽吸部進(jìn)入的進(jìn)氣量與第I三通閥和第2三通閥中的所述一方的第I端口被封閉之前相同。
[0014]根據(jù)上述進(jìn)氣系統(tǒng)，在使第I三通閥(第2三通閥)的開(kāi)閉構(gòu)件動(dòng)作而將第I三通閥(第2三通閥)的第I端口封閉的前后，能夠使從與第2三通閥(第I三通閥)的第I端口連接的抽吸部進(jìn)入的進(jìn)氣量相同。由此，能夠與第I三通閥(第2三通閥)的狀態(tài)無(wú)關(guān)地將與第2三通閥(第I三通閥)連接的抽吸部中的抽吸力維持得固定。其結(jié)果是，能夠防止因與第2三通閥(第I三通閥)連接的抽吸部的抽吸力對(duì)應(yīng)于第I三通閥(第2三通閥)的狀態(tài)發(fā)生變化而引起的不良情況。
[0015]例如，在上述進(jìn)氣系統(tǒng)中，在第I配管和第2配管上分別配設(shè)有測(cè)量配管內(nèi)部的風(fēng)速的風(fēng)速測(cè)量部，上述位置控制部控制成風(fēng)速測(cè)量部測(cè)量出的風(fēng)速不變化。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠基于第1、第2配管內(nèi)部的風(fēng)速的變化來(lái)利用位置控制部控制調(diào)整板的位置。由此，即使切換了第I三通閥的開(kāi)閉狀態(tài)，也能夠高精度地將來(lái)自第2抽吸部的進(jìn)氣量維持得固定。
[0016]根據(jù)本發(fā)明，能夠在抑制流路的開(kāi)閉性能惡化的同時(shí)調(diào)整流體的流入量。
【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1是示出第I實(shí)施方式的三通閥的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0018]圖2是示出第2實(shí)施方式的三通閥的結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0019]圖3是應(yīng)用了第2實(shí)施方式的三通閥的進(jìn)氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
[0020]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0021]10、20:三通閥；
[0022]20a:第I三通閥；
[0023]20b:第2三通閥；
[0024]20c:第3三通閥；
[0025]11:閥體；
[0026]Ila:第 I 端口;
[0027]lib:第 2 端口；
[0028]lie:第 3 端口;
[0029]12:開(kāi)閉構(gòu)件；
[0030]12a:封閉板；
[0031]12b:板移動(dòng)部；
[0032]12c:軸；
[0033]13:調(diào)整部；
[0034]131:調(diào)整板；
[0035]132:可動(dòng)部；
[0036]133:位置控制部；
[0037]14:配管；
[0038]14a:第 I 配管；
[0039]14b:第 2 配管；
[0040]14c:第 3 配管；
[0041]15:鼓風(fēng)機(jī)用馬達(dá)；
[0042]151:抽吸口；
[0043]152:排出口；
[0044]16:分支管；
[0045]17a:第I抽吸部；
[0046]17b:第2抽吸部；
[0047]17c:第3抽吸部；