一種MO源瓶開關結構的制作方法

本發明涉及開關結構，更具體地說，特別涉及一種mo源瓶開關結構。

背景技術：

1、隨著mocvd?設備在半導體行業的廣泛應用，作為配套設施之一的mo源瓶溫控裝置也越來越重要。mo源瓶是mo（metalorganic?source）源的專用包裝容器。

2、mocvd已經生產半導體材料和器件的關鍵設備和工藝，在開啟mo源瓶時，源瓶內外的壓力不同，容易造成原料液體倒灌到流量控制器或者壓強控制器里面去，這樣就容易損壞流量控制器和壓強控制器，這兩種儀器只能接觸氣體介質而不是液體介質，一旦接觸到液體介質就容易損壞流量控制器和壓強控制器。

3、于是，有鑒于此，針對現有的結構及缺失予以研究改良，提供一種mo源瓶開關結構，以期達到更具有更加適應實際應用場景的目的。

技術實現思路

1、為了解決上述技術問題，本發明提供一種mo源瓶開關結構，以解決以上的問題。

2、本發明一種mo源瓶開關結構，由以下具體技術手段所達成：

3、一種mo源瓶開關結構，包括mo源瓶，所述mo源瓶的上端固定安裝有控制組件，所述控制組件的上端安裝有出氣管和進氣管，所述控制組件的下端安裝有短管和長管，

4、所述控制組件包括與mo源瓶固定連接的安裝殼，所述安裝殼的內部滑動安裝有第一安裝塊和第二安裝塊，所述第一安裝塊與安裝殼之間通過螺栓安裝，所述安裝殼上端和下端分別開設有配合導氣槽組使用的連接氣槽組，所述安裝殼的內部轉動安裝有配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的旋轉盤，所述旋轉盤的側壁安裝有旋鈕組件；

5、通過所述?mo?源瓶開關結構開啟mo?源瓶的順序如下，先轉動第三閥組，再轉動第一閥組，最后轉動第二閥組，關閉源瓶的順序如下，先轉動第二閥組，再轉動第一閥組，最后轉動第三閥組，以上每一步時間間隔2秒至20秒之間；

6、在開啟之前狀態：第一閥組和第三閥組中的導氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設置，而第二閥組中的導氣孔與橫槽平行設置；

7、開啟狀態：先旋轉第三閥組，由于短管與液體沒有接觸，即使源瓶內外有壓強不一致，只要旋轉第三閥組并延時一段時間，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部壓強都一致，此時再旋轉第一閥組，mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去，這就避免了mo源瓶開啟時的液體逆流和倒灌；

8、關閉前狀態：第一閥組、第三閥組中的導氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設置，而第二閥組中的導氣孔與橫槽垂直設置；

9、關閉狀態：先旋轉第二閥組，這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部壓強都一致了，然后先旋轉第一閥組，最后在旋轉第三閥組，也同樣不會造成液體逆流和倒灌。

10、進一步的，所述導氣槽組包括開設于第一安裝塊外壁的第一豎槽、第二豎槽和橫槽，所述第三閥組安裝于第一豎槽的中間位置，所述第二閥組安裝于橫槽的中間位置，所述第一閥組安裝于第二豎槽的中間位置，所述第二安裝塊的外壁開設的導氣槽組與第一安裝塊外壁的外壁的導氣槽組相同，所述連接氣槽組分別由開設于安裝殼上端一側與進氣管和第二豎槽連接的第一連接孔、開設于安裝殼上端另一側與出氣管和第一豎槽連接的第二連接孔、開設于安裝殼下端一側與長管和第二豎槽連接的第三連接孔以及開設于安裝殼下端另一側與短管和第一豎槽連接的第四連接孔組成；

11、所述第三閥組包括與第一安裝塊和第二安裝塊轉動連接的密封盤，所述密封盤的中間位置開設有第一導氣孔，所述密封盤的一端中間位置固定連接有連接桿，所述連接桿貫穿第二安裝塊并與之轉動連接，所述連接桿的末端固定安裝有第一齒輪，所述第一閥組和第二閥組的結構相同第三閥組，其中第二閥組中的第二導氣孔與第三閥組中的第一導氣孔相垂直；

12、在實際應用中，通過可以相互可以連通的第一豎槽、第二豎槽和橫槽與第一閥組、第二閥組和第三閥組之間的相互配合使用，從而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽的通斷，從而避免第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部氣壓不平衡，而導致液體從長管中流出，具體為，旋鈕組件旋轉帶動旋轉盤旋轉，旋轉盤中的一段齒牙組帶動第一齒輪旋轉，第一齒輪帶動，第一齒輪帶動密封盤旋轉90度，從而使第一導氣孔與第一豎槽連通或者關閉，同理第一閥組和第二閥組控制第二豎槽和橫槽的連通或者關閉，進而在打開時，保障第一豎槽、第二豎槽和橫槽之間的壓力平衡，避免液體從長管中流出而損壞流量控制器或者壓強控制器。

13、進一步的，所述旋鈕組件包括與旋轉盤固定連接的旋轉體，所述旋轉體的內部為空心設置，所述旋轉體的內部滑動安裝有滑塊，所述滑塊的一端設置有復位彈簧，所述滑塊的一端固定設置有固定桿，所述固定桿貫穿旋轉體并與之滑動連接，所述安裝殼的外壁開設有配合固定桿使用的弧形槽，所述弧形槽的內部粘貼有橡膠片；

14、在實際應用中，本旋鈕組件設置有固定桿和與之配合使用的弧形槽，當工作人員在旋轉旋鈕組件的時候，當第一閥組、第二閥組和第三閥組發生旋轉的時候，固定桿就會進入弧形槽內部，固定桿與橡膠片之間會增加摩擦力，從而為工作人員提供一種輕微的阻力，進而提醒工作人員旋轉速90度，避免旋轉速90度過快，導致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部氣壓還未完成平衡就打開，進而導致液體從長管中流出。

15、進一步的，旋轉盤的內壁固定設置有多組配合第一閥組、第二閥組和第三閥組使用的齒牙組，每組所述齒牙能帶動第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉90度，所述第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯位設置；

16、在實際應用中，齒牙組可以根據實際使用做出相對應的改變，由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯位設置，因此當工作人員在旋轉旋鈕組件的時候，旋鈕組件帶動旋轉盤旋轉，旋轉盤內部的不同齒牙組分別帶動相對應的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉90度，進而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部連通，從而有效的避免新人在操作中，因為旋鈕打開順序出錯，導致mo源瓶內部的液體從長管內部進入控制組件、進氣管和出氣管中，進而避免液體進入流量控制器或者壓強控制器內部，導致流量控制器或者壓強控制器損壞。

17、與現有技術相比，本發明具有如下有益效果：

18、1、在開啟之前狀態：第一閥組和第三閥組中的導氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽垂直設置，而第二閥組中的導氣孔與橫槽平行設置；

19、開啟狀態：先旋轉第三閥組，由于短管與液體沒有接觸，即使源瓶內外有壓強不一致，只要旋轉第三閥組并延時一段時間，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部壓強都一致，此時再旋轉第一閥組，mo源瓶中的液體就不可能在壓力下逆流到上面去，這就避免了mo源瓶開啟時的液體逆流和倒灌；

20、關閉前狀態：第一閥組、第三閥組中的導氣孔分別與第二豎槽和第一豎槽平行設置，而第二閥組中的導氣孔與橫槽垂直設置；

21、關閉狀態：先旋轉第二閥組，這樣第一豎槽、第二豎槽和橫槽相互連通，第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部壓強都一致了，然后先旋轉第一閥組，最后在旋轉第三閥組，也同樣不會造成液體逆流和倒灌。

22、2、本旋鈕組件設置有固定桿和與之配合使用的弧形槽，當工作人員在旋轉旋鈕組件的時候，當第一閥組、第二閥組和第三閥組發生旋轉的時候，固定桿就會進入弧形槽內部，固定桿與橡膠片之間會增加摩擦力，從而為工作人員提供一種輕微的阻力，進而提醒工作人員旋轉速90度，避免旋轉速度過快，導致第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部氣壓還未完成平衡就打開，進而導致液體從長管中流出。

23、3、齒牙組可以根據實際使用做出相對應的改變，由于第一閥組、第二閥組和第三閥組中的齒輪錯位設置，因此當工作人員在旋轉旋鈕組件的時候，旋鈕組件帶動旋轉盤旋轉，旋轉盤內部的不同齒牙組分別帶動相對應的第一閥組、第二閥組和第三閥組旋轉90度，進而控制第一豎槽、第二豎槽和橫槽內部連通，從而有效的避免新人在操作中，因為旋鈕打開順序出錯，導致mo源瓶內部的液體從長管內部進入控制組件、進氣管和出氣管中，進而避免液體進入流量控制器或者壓強控制器內部，導致流量控制器或者壓強控制器損壞。

24、本發明的其它優點、目標和特征將部分通過下面的說明體現，部分還將通過對本發明的研究和實踐而為本領域的技術人員所理解。