技術總結
本發明公開了一種插板閥控制真空度系統及其控制方法，包括真空腔室、PLC、真空規管和計算機，真空腔室的進氣口和出氣口分別設置有流量計和真空抽氣機組，真空抽氣機組與真空腔室之間的管路中設置有采用步進電機驅動的電動插板閥，真空規管與真空腔室內部連通，真空規管的檢測信號輸出端與PLC的真空度檢測信號輸入端連接，PLC與計算機通信連接，PLC的控制信號輸出端與電動插板閥的電機控制信號輸入端連接，通過真空規管循環檢測真空腔室內的真空度，如果實際真空度與設定真空度差值不等于0，則采用電動插板閥控制出氣量，如果實際真空度與設定真空度差值等于0，則說明真空度已經調節到了預設值。本發明控制精度高，可節約氣體和減少廢氣排放。
技術研發人員：蔣冰霜;馬寧;王小軍;何吉剛;魏瓊林;雷梁;冉從軍
受保護的技術使用者：成都中科唯實儀器有限責任公司
文檔號碼：201610556740
技術研發日：2016.07.15
技術公布日：2016.12.07