流體控制器的制作方法

本發明涉及一種流體控制器，尤其涉及一種適于在連續性地重復開閉的用途中使用的流體控制器。

背景技術：

作為一種在連續性地重復開閉的用途中使用的流體控制器，已知一種被稱為直接接觸式隔膜閥(專利文獻1)。

這樣的流體控制器采取氣動式，常用于半導體制造裝置，要求能夠應對高溫且具有高耐久性。另外，其一般會在多條管線中使用，這種情況下，還要求消除每條氣體管線的流量(Cv值)之間的差。

在專利文獻1的流體控制器中，為了確保其耐久性(連續開閉動作次數)，還提出了將伴隨著開閉的閥桿上下移動量(隔膜的變形量)設定為所需值。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利公開2007-64333號公報

技術實現要素：

(一)要解決的技術問題

根據各氣體管線中的閥的位置和閥的個體差異，其各自的流量(Cv值)都稍微有所不同。尤其在半導體制造裝置的情況下，靠近腔室使用的閥根據其Cv值，會直接影響所制造的半導體。然而，若配合氣體管線等相應地逐個調整閥的Cv值，則可能會出現調整至比能夠確保閥的耐久性的閥桿上下移動量更大的移動量的個體。由此，隔膜(和閥)的耐久性可能會降低。即，在確保耐久性的基礎上，存在能夠進行流量調整的情況。對于Cv值的調整量，在用一個調整結構進行調整的情況下，無法進行如下確認：調整時的閥桿的上下移動量變更了何種程度、調整的結果是否比能夠確保耐久性的閥桿的上下移動量更大。

本發明的目的在于，提供一種在確保耐久性的基礎上，能夠進行高精度的流量調整的流體控制器。

(二)技術方案

本發明的流體控制器的特征在于，具備：設置有流體通路的主體、設置于主體上方的閥蓋、設置于閥蓋上方的殼體、開閉流體通路的閥體、通過上升或下降使閥體向打開或關閉方向移動的閥桿、以及使閥桿上下移動的致動器，在所述流體控制器中，具備：用于設定伴隨著開閉的閥桿的上下移動量的上限值的閥桿上下移動量上限值設定單元、以及能夠對伴隨著開閉的閥桿的上下移動量在上限值以下的范圍內進行調整的閥桿上下移動量微調整單元。

由于能夠通過閥桿上下移動量上限值設定單元來設定閥桿上下移動量的上限值，因此閥桿上下移動量通過微調整，能夠使得無法將移動量設定為能確保耐久性的上限以上。這里，通過調整閥桿上下移動量來決定Cv值。這里，關于Cv值，需要進行微調整，該微調整是通過由閥桿上下移動量微調整單元使其在預先設定的閥桿上下移動量的上限值以下的范圍內變化來進行的。通過該微調整，能夠將Cv值高精度地設定為目標值。Cv值隨著使用而變化，在需要調整Cv值時，也通過閥桿上下移動量微調整單元來對閥桿上下移動量進行微調整。因此，在調整Cv值時，閥桿上下移動量不會設定得超過用于確保耐久性的閥桿上下移動量上限值。由此，能夠在確保耐久性的基礎上，進行高精度的流量調整。

通過閥桿上下移動量上限值設定單元所設定的閥桿上下移動量的上限值，在流體控制器出廠時被設定，在使用狀態下，維持在出廠時的設定值。通過閥桿上下移動量微調整單元所調整的閥桿上下移動量在流體控制器出廠時被臨時設定，在使用狀態下，由使用者來將其設定為合理值。

流體控制器采用例如金屬隔膜閥，但并不限定于此。另外，流體控制器可以是正常時處于關閉狀態，也可以是正常時處于打開狀態。

優選地，閥桿上下移動量微調整單元具有移動體，通過使手柄旋轉而使所述移動體上下移動，閥桿上下移動量的上限值通過變更閥桿與殼體的距離而獲得，閥桿上下移動量的微調整通過和閥桿成為一體的致動器驅動軸與移動體的距離的變化而獲得。

通過這樣設置，能夠容易地進行基于閥桿上下移動量微調整單元的調整。

優選地，與閥桿成為一體的致動器驅動軸的上端部插入設置于移動體的軸插入孔，在位于軸插入孔下方的致動器驅動軸部分設置有凸緣部，致動器驅動軸的凸緣部的上面與移動體的下面的距離設為閥桿上下移動量，閥桿上下移動量上限值設定單元具備：形成有外螺紋的殼體的下方突出部、設置于閥蓋頂壁的內螺紋、以及鎖定螺母。

若這樣設置，則能夠以簡單的結構來獲得閥桿上下移動量上限值設定單元及閥桿上下移動量微調整單元這兩者。

優選地，閥桿上下移動量微調整單元具備：在內周設置有內螺紋并以能夠旋轉的方式支承于殼體的手柄、在外周設置有外螺紋并與手柄的內周螺合的移動體，以及防止移動體相對于殼體旋轉且能夠向上下方向移動的導向單元。

另外，更優選地，具備移動體固定單元，該移動體固定單元阻止移動體在閥桿上下移動量設定之后移動。

導向單元例如由設置于移動體上沿上下方向延伸的導向槽、和從徑向外方面對導向槽的導向銷組成，但并不限定于此。另外，移動體固定單元可通過例如使用一個或多個止動螺釘，并將止動螺釘螺合于設置在移動體上的螺紋孔中，使止動螺釘的下端與殼體的上面抵接來獲得，但并不限定于此。

閥桿上下移動量微調整單元也可以通過使手柄旋轉而使移動體一邊與手柄一體旋轉一邊上下移動，但通過將手柄的旋轉轉換為移動體的上下移動，能夠消除螺紋部松動的可能性、在波紋管等發生扭轉應力的可能性，防止因螺紋部松動引起的精度降低以及因扭轉應力引起的耐久性降低。

有時也為，手柄由成為手持部分的外筒體、嵌入外筒體內的內筒體、以及嵌入內筒體內的軸體組成，在殼體的內周形成有內螺紋，在內筒體形成與殼體的內螺紋螺合的外螺紋，在軸體的外周形成有螺距比殼體的內螺紋的螺距小的外螺紋，在移動體的內周形成有與軸體的外螺紋螺合的內螺紋。

若這樣設置，則能夠進一步高精度地進行微調整。

(三)有益效果

根據本發明的流體控制器，通過用閥桿上下移動量上限值設定單元將閥桿上下移動量設置為上限值，可確保耐久性，Cv值的微調整是通過由閥桿上下移動量微調整單元使閥桿上下移動量在上限值以下的范圍內變化來進行的，因此，在確保耐久性的基礎上，能夠進行高精度的流量調整。

附圖說明

圖1是表示本發明的流體控制器的第一實施方式的縱截面圖。

圖2是圖1中的主要部分即閥桿上下移動量微調整單元的放大縱截面圖。

圖3是表示通過閥桿上下移動量微調整單元使閥桿上下移動量從圖2的狀態發生變化后的狀態的放大縱截面圖。

圖4是本發明的流體控制器的第二實施方式的主要部分即閥桿上下移動量微調整單元的放大縱截面圖。

附圖標記說明

(1)：流體控制器；(2)：主體；(2a)：流體流入通路；(2b)：流體流出通路；(2c)：凹處；(3)：閥蓋；(4)：殼體；(6)：隔膜(閥體)；(8)：閥桿；(9)：致動器；(10)：上下移動量上限值設定單元；(11)：閥桿上下移動量微調整單元；(31)：驅動軸(致動器驅動軸)；(31d)：上端部；(41)：手柄；(41b)：內螺紋；(42)：移動體；(43)：導向單元；(46b)：外螺紋；(61)：閥桿上下移動量微調整單元；(62)：殼體；(62a)：內螺紋；(64)：手柄；(65)：移動體；(66)：導向單元；(71)：外筒體；(72)：內筒體；(72a)：內螺紋；(73)：軸體；(73a)：外螺紋；(77a)：內螺紋。

具體實施方式

參照以下附圖對本發明的實施方式進行說明。在以下的說明中，上下是指圖的上下。

圖1至圖3示出了本發明的流體控制器的第一實施方式。

流體控制器(1)是所謂的直接接觸式金屬隔膜閥，如圖1所示，其具備：具有流體流入通路(2a)、流體流出通路(2b)及向上方開口的凹處(2c)的塊狀主體(2)；下端部與主體(2)的凹處(2c)上部螺合并向上方延伸的圓筒狀閥蓋(3)；設置于閥蓋(3)上方的殼體(4)；設置于流體流入通路(2a)周緣的環狀的合成樹脂制片材(5)；按壓或離開片材(5)以開閉流體流入通路(2a)的金屬制隔膜(閥體)(6)；經由隔膜壓塞(7)使隔膜(6)按壓/離開片材(5)的閥桿(8)；收納在殼體(4)內且使閥桿(8)上下移動的致動器(9)；對閥桿上下移動量的上限值進行設定的閥桿上下移動量上限值設定單元(10)；以及使閥桿上下移動量在上限值以下的范圍內變化的閥桿上下移動量微調整單元(11)。

閥蓋(3)具有頂壁(21)，該頂壁(21)在其中央部設置有使閥桿(8)以可以上下移動的方式插通的貫通孔(21a)。在貫通孔(21a)的周緣部設置有向下方突出的圓筒狀的下方突出緣部(21b)。在貫通孔(21a)及下方突出緣部(21b)的內周設置有內螺紋(21c)。

殼體(4)由下殼體部(22)和上殼體部(23)組成，其中，所述上殼體部(23)的下端部與下殼體部(22)螺合。

下殼體部(22)具有底壁(24)和圓筒狀的周壁(25)，其中，所述底壁(24)在其中央部設置有使閥桿(8)以可以上下移動的方式插通的貫通孔(24a)。在貫通孔(24a)的周緣部設置有向下方突出的圓筒狀的下方突出部(26)。在下方突出部(26)的下部的外周形成有外螺紋(26a)，在外螺紋(26a)的上部螺合有鎖定螺母(27)。外螺紋(26a)的下部與形成于閥蓋(3)的頂壁(21)的內螺紋(21c)螺合。

上殼體部(23)具有圓筒狀的周壁(28)和頂壁(29)。在頂壁(29)的中央部設置有貫通孔(29a)。在貫通孔(29a)的周緣部設置有向上方突出的圓筒狀的上方突出部(30)。

在閥蓋(3)下端面與主體(2)的凹處(2c)底面之間配置有按壓接合件(12)，隔膜(6)的外周緣部被保持在按壓接合件(12)與主體(2)的凹處(2c)底面之間。

隔膜(6)呈球殼狀，向上凸的圓弧狀為其自然狀態。隔膜(6)是例如由鎳合金薄板制成的，沖切為圓形，并形成使中央部向上方膨出的球殼狀。隔膜(6)有時由不銹鋼薄板制成，或由不銹鋼薄板和鎳鈷合金薄板的層疊體制成。

閥桿(8)的下端附近設置有凸緣(8a)，在凸緣(8a)與閥蓋(3)的頂壁(21)的外周緣部之間，配置有對閥桿(8)向下方施力的壓縮螺旋彈簧(施力部件)(13)。通過壓縮螺旋彈簧(13)，使流體控制器(1)在正常時(致動器(9)不工作時)保持為關閉狀態。

致動器(9)具有：下端部與閥桿(8)的上端部螺合從而固定于閥桿(8)上的驅動軸(31)；外周面緊貼殼體(4)的內周面，內周面緊貼驅動軸(31)的外周面并可以滑動的上下活塞(32)(33)；以及配置于其中間的平衡板(カウンタプレート)(34)。上下活塞(32)(33)的下側為操作氣導入室(35)(36)，在驅動軸(31)上，設置有用于向操作氣導入室(35)(36)輸送操作氣的軸向通路(31a)及徑向通路(31b)(31c)。

閥桿(8)的外徑大于驅動軸(31)的外徑，閥桿(8)的上端面(8b)比驅動軸(31)的外徑更向徑向外側伸出。閥桿(8)的尺寸(上下方向的長度等)，是以閥桿(8)的上端面(8b)與下殼體部(22)的下方突出部(26)的下面之間留有閥桿上下移動量A的方式來設定的。

當閥桿(8)向上方移動時，閥桿(8)的上端面(8b)與下殼體部(22)的下方突出部(26)的下面抵接，從而阻止閥桿(8)繼續向上方移動。通過在松緩鎖定螺母(27)的狀態下使下殼體部(22)旋轉，能夠將閥桿上下移動量A、即閥桿(8)向上方的移動量的上限值設定為所需的值。通過形成有外螺紋(26a)的殼體的下方突出部(26)、設置于閥蓋(3)的頂壁(21)上的內螺紋(21c)以及鎖定螺母(27)，來構成對閥桿上下移動量A的上限值進行設定的閥桿上下移動量上限值設定單元(10)。

作為閥桿上下移動量A的上限值，設定為能夠確保所需耐久性的值。這里，閥桿上下移動量A與流量(Cv值)之間存在相關關系，因此，為了獲得所需的Cv值，需要變更閥桿上下移動量A。通過變更由閥桿上下移動量上限值設定單元(10)所得到的閥桿上下移動量A，能夠調整Cv值，但在該情況下，耐久性也會相應地變化。于是，為了在不變更由閥桿上下移動量上限值設定單元(10)所得到的閥桿上下移動量A的前提下能夠變更用于獲得所需的Cv值的閥桿上下移動量，可使用閥桿上下移動量微調整單元(11)。

閥桿上下移動量微調整單元(11)如圖2及圖3所示，其具備：圓筒狀的手柄(41)、伴隨手柄(41)的旋轉而上下移動的圓筒狀的移動體(42)、防止移動體(42)相對于殼體(4)旋轉且能夠向上下方向移動的導向單元(43)、使手柄(41)以可以旋轉的方式支承于殼體(4)上的手柄壓環(44)、以及阻止移動體(42)在閥桿上下移動量設定之后移動的兩個止動螺釘(45)(移動體固定單元)。

手柄(41)在下端部具有凸緣部(41a)，在手柄(41)的上部的內周形成有內螺紋(41b)。手柄(41)的下部以留有若干間隙的方式嵌在上殼體部(23)的上方突出部(30)的外周上，手柄(41)的下端被上殼體部(23)的頂壁(29)的上面所承擋。

移動體(42)由上側的大徑部(46)及內徑與大徑部(46)相同而外徑更小的下側的小徑部(47)組成，大徑部(46)的下面被上殼體部(23)的上方突出部(30)的上面所承擋。

在大徑部(46)的內周設置有用于導入操作氣的配管連接部(46a)。在大徑部(46)的外周形成有與手柄(41)的內螺紋(41b)螺合的外螺紋(46b)。在大徑部(46)設置有在上下方向上貫通的兩個螺紋孔，作為移動體固定單元的止動螺釘(45)螺合于各螺紋孔中。

在小徑部(47)的內周，以與配管連接部(46a)連接的方式設置有貫通孔(47a)，該貫通孔(47a)可使驅動軸(31)的上端部(31d)插入。在小徑部(47)的外周設置有在上下方向上延伸的導向槽(48)。

在上殼體部(23)的上方突出部(30)，以從徑向外方面對導向槽(48)的方式，設置有導向銷(49)，該導向銷(49)具有在與上下方向垂直的方向上延伸的軸。在導向銷(49)除去前端部的外周上設置有外螺紋，并通過與設置于上殼體部(23)的上方突出部(30)的螺紋孔螺合，使導向銷(49)固定于上殼體部(23)。導向銷(49)的前端部嵌入導向槽(48)內，從而使移動體(42)不能相對上殼體部(23)旋轉且能夠向上下方向移動。這樣一來，通過導向槽(48)和導向銷(49)就構成了防止移動體(42)相對于殼體(4)旋轉且可以向上下方向移動的導向單元(43)。

手柄壓環(44)由下側的薄壁部(50)及外徑與薄壁部(50)相同而內徑更小的上側的厚壁部(51)組成。在薄壁部(50)的內周設置有內螺紋(50a)。在厚壁部(51)的上端部設置有向徑向內方突出的環狀突出緣部(51a)。手柄壓環(44)與上殼體部(23)的周壁(28)螺合，厚壁部(51)的下面被上殼體部(23)的頂壁(29)的上面所承擋。

厚壁部(51)的環狀突出緣部(51a)介由涂布有氟樹脂(例如Teflon(注冊商標))的墊圈(減摩部件)(52)而承擋于手柄(41)的凸緣部(41a)的上面。氟樹脂鍍膜墊圈(52)的摩擦系數小，因此易于使手柄(41)旋轉。

在流體控制器(1)為打開狀態(通過操作氣加壓的狀態)下，手柄(41)操作會變沉重，但通過設置氟樹脂鍍膜墊圈(52)，其在打開狀態下的操作性變得良好。此外，進行氟樹脂鍍膜的素材，可以是PPS等樹脂，也可以是金屬(SUS、鋁、鐵等)制的墊圈，另外，也可以使用推力軸承等減摩部件來代替墊圈(52)。還可是通過使用滾珠軸承等來降低摩擦系數的結構。

在圖1及圖2所示的狀態下，止動螺釘(45)螺合于移動體(42)的大徑部(46)的各螺紋孔中，各止動螺釘(45)的下端與上殼體部(23)的上方突出部(30)的上面抵接。因此，移動體(42)的上下移動被阻止。通過松緩各止動螺釘(45)，能夠使移動體(42)上下移動。

在驅動軸(31)的上端部(31d)插入在設置于移動體(42)的小徑部(47)的內周的貫通孔(47a)中的狀態下，在驅動軸(31)的上端部(31d)附近，即在位于貫通孔(47a)下方的驅動軸(31)部分，設置有凸緣部(53)。由此，驅動軸(31)的凸緣部(53)的上面與移動體(42)的小徑部(47)的下面之間，設定有圖2中用B表示的閥桿上下移動量(與圖1中用A表示的閥桿上下移動量是在不同位置以不同的值設定的閥桿上下移動量)。

當閥桿(8)向上方移動時，驅動軸(31)的凸緣部(53)的上面與移動體(42)的小徑部(47)的下面抵接，從而阻止閥桿(8)繼續向上方移動。在松緩兩個止動螺釘(45)的狀態下，通過使手柄(41)旋轉，如圖3所示，能夠將閥桿上下移動量(閥桿(8)向上方移動量的上限值)設定為所需的值B’(例如比圖2更小的值)。

這里，閥桿上下移動量B和B’的大小設定為閥桿上下移動量A的大小以下。在設定時，首先在流體控制器(1)出廠時或使用流體控制器(1)時，閥桿上下移動量A設定為，與使用條件及所需流量無關，而是能夠確認作為高耐久閥的耐久性的最大值，接著，考慮使用條件及所需流量來設定閥桿上下移動量B或B’。

流體控制器(1)的使用者出于匹配每個使用氣體管線的Cv值等的目的，需要調整閥桿上下移動量，這時，不變更閥桿上下移動量A，而是微調整閥桿上下移動量B或B’。由此，能夠在耐久性不低于設定值的狀態下，高精度地調整Cv值。為了易于微調整，移動體(42)的外螺紋(46b)及手柄(41)的內螺紋(41b)的螺紋的螺距設為例如0.5～0.75。

如上所述，用閥桿上下移動量微調整單元(11)對閥桿上下移動量B或B’的微調整，是將手柄(41)的旋轉轉換為移動體(42)的上下移動來進行的，因此，與通過移動體旋轉來對閥桿上下移動量進行的調整的方式相比，消除了螺紋部松動的可能性、以及在波紋管等發生扭轉應力的可能性，能夠防止因螺紋部松動引起的精度降低以及因扭轉應力引起的耐久性降低。

閥桿上下移動量上限值設定單元(10)及閥桿上下移動量微調整單元(11)并不限定于上述方式。在圖4中，作為其一例，示出了閥桿上下移動量微調整單元的第二實施方式。

該閥桿上下移動量微調整單元(61)具備：固定于致動器收納用殼體(4)頂部的筒狀的調整單元收納用殼體(以下簡稱為“殼體”)(62)、可旋轉地支承于殼體(62)的筒狀的手柄(64)、隨著手柄(64)的旋轉而上下移動的移動體(65)、以及防止移動體(65)相對于殼體(62)旋轉且能夠向上下方向移動的導向單元(66)。

殼體(62)具有與致動器收納用殼體(4)的頂部抵接的凸緣(62c)，該凸緣(62c)的部分通過多個(例如三個)螺絲(63)，固定于致動器收納用殼體(4)上。

手柄(64)由成為手持部分的外筒體(71)、從下側嵌入外筒體(71)內的內筒體(72)以及從下側嵌入內筒體(72)內的軸體(73)組成。

軸體(73)以其上端部向上方突出的方式插通于內筒體(72)，通過緊固與軸體(73)的上端部螺合的螺母(74)，將軸體(71)與內筒體(72)結合。另外，外筒體(71)與內筒體(72)是通過將止動螺釘(75)旋入設置于外筒體(71)的在徑向上貫通的螺紋孔(71a)中來結合的。這樣一來，通過轉動手柄(64)的外筒體(71)，內筒體(72)及軸體(73)也會一體旋轉。

殼體(62)的上部與外筒體(71)的下部之間設置有空間，在該空間部分中，在殼體(62)的上部外周面嵌合筒狀的指示器(67)，通過螺合于殼體(62)上部的蓋形螺母(68)防止其脫落。

另外，在空間部分的外筒體(71)內比蓋形螺母(68)更靠上的部分中，設置有環狀的止動件(69)。止動件(69)以可上下移動的方式與內筒體(72)的外周嵌合，定位在上下方向上規定的位置上，通過止動螺釘(70)固定在內筒體(72)上。止動件(69)在手柄(64)下降時與蓋形螺母(68)的上面抵接，由此，流體控制器(1)完全關閉時手柄(64)的下降被限制。

在內筒體(72)的下部外周形成有外螺紋(72a)，在軸體(73)的下部外周也形成有外螺紋(73a)。在殼體(62)的上部內周形成有與內筒體(72)的外螺紋(72a)相對應的內螺紋(62a)，殼體(62)與內筒體(72)以可相對旋轉的方式螺合。

移動體(65)由形成有內螺紋(77a)的螺絲部件(77)、及承受壓縮螺旋彈簧(施力部件)(76)的彈簧承受部件(78)組成。螺絲部件(77)和彈簧承受部件(78)為單獨的部件。

移動體(65)的螺絲部件(77)為有底圓筒狀，在其內周形成有與手柄(64)的軸體(73)的外螺紋(73a)螺合的內螺紋(77a)。螺絲部件(77)在其上端部插入內筒體(72)的下端部的狀態下，與軸體(73)的外螺紋(73a)螺合。

手柄(64)的軸體(73)的外螺紋(73a)與移動體(65)的螺絲部件(77)的內螺紋(77a)(第一螺合)的螺距設定為比殼體(62)的內螺紋(62a)與內筒體(72)的外螺紋(72a)(第二螺合)的螺距要小。第一螺合及第二螺合的螺合朝向以在旋轉手柄(64)使其下降時會使移動體(65)下降的方式來設定。

彈簧承受部件(78)以可上下移動的方式插入設置于殼體(62)下端部的向下開口的凹處(62b)中。彈簧承受部件(78)的下部在比殼體(62)的凸緣(62c)的下面更靠下方的位置，插入設置于致動器收納用殼體(4)的頂壁上的貫通孔(4a)內。壓縮螺旋彈簧(76)配置于設置在彈簧承受部件(78)的上端部的凸緣部(78a)與致動器收納用殼體(4)的頂壁的上面之間，向上對彈簧承受部件(78)施力。若螺絲部件(77)下降，則彈簧承受部件(78)被其按壓而與螺絲部件(77)一體下降，若螺絲部件(77)上升，則通過壓縮螺旋彈簧(76)的彈力，彈簧承受部件(78)與螺絲部件(77)一體上升。

在彈簧承受部件(78)中，設置有使驅動軸(31)的上端部(31d)插入其中的軸插入孔(78b)。驅動軸(31)設置成與第一實施方式相同的形狀，在驅動軸(31)的凸緣部(53)的上面與移動體(65)的彈簧承受部件(78)的下面之間，設定了與圖2中B所表示的閥桿上下移動量對應的閥桿上下移動量C。通過螺絲部件(77)及彈簧承受部件(78)(即移動體(65))的下降，使閥桿上下移動量C變小，通過螺絲部件(77)及彈簧承受部件(78)(即移動體(65))的上升，使上下移動量C變大。

在致動器收納用殼體(4)設置有配管連接部(4b)，使驅動軸(31)的軸向通路(31a)與配管連接部(4b)連通。

在螺絲部件(77)的外周，設置有在上下方向上延伸的導向槽(77b)，在殼體(62)，以從徑向外方面對導向槽(77b)的方式，設置有導向銷(79)，該導向銷(79)具有在與上下方向垂直的方向上延伸的軸。在導向銷(79)除去前端部的外周上設置有外螺紋，并通過與設置于殼體(62)上的螺紋孔螺合，使導向銷(79)固定于殼體(62)。導向銷(79)的前端部嵌入導向槽(77b)內，從而使移動體(65)的螺絲部件(77)不能相對殼體(62)旋轉且能夠在上下方向上移動。這樣一來，通過導向槽(77b)和導向銷(79)就構成了防止移動體(65)的螺絲部件(77)相對于殼體(62)旋轉且能夠向上下方向移動的導向單元(66)。

根據第二實施方式的閥桿上下移動量微調整單元(61)，通過使手柄(64)的外筒體(71)向下降方向旋轉，內筒體(72)及軸體(73)會一邊與外筒體(71)一體旋轉一邊下降。與軸體(73)螺合的移動體(65)的螺絲部件(77)，在由導向單元(66)阻止旋轉的狀態下下降。這時，通過將第一螺合(手柄(64)的軸體(73)的外螺紋(73a)與移動體(65)的螺絲部件(77)的內螺紋(77a)的螺合)的螺距設置得比第二螺合(殼體(62)的內螺紋(62a)與內筒體(72)的外螺紋(72a)的螺合)的螺距小，從而移動體(65)的螺絲部件(77)只會以螺距之差下降。因此，比起第一實施方式，能夠以進一步的高精度進行微調整。

此外，在上述內容中，作為流體控制器(1)，例示了氣動式的直接接觸式金屬隔膜閥，但上述閥桿上下移動量上限值設定單元(10)及閥桿上下移動量微調整單元(11)的適用對象并不限于此，其能夠適用于需要調整閥桿上下移動量的各種閥等。

另外，在上述內容中，以閥桿(8)與下殼體部(22)的下方突出部(26)之間的長度來設定閥桿上下移動量上限值設定單元(10)，閥桿上下移動量微調整單元(11)是通過手柄(41)來進行調整的，但也可以反過來進行。

工業實用性

根據本發明，在適于在連續重復開閉的用途中使用的流體控制器中，由于能夠進行高精度的流量調整，因此能夠有助于流體控制器的性能提高。