一種復合分子泵的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及獲得真空技術領域，特別涉及一種復合分子泵。
【背景技術】
[0002]隨著科技的發展，要求分子泵具有大抽速、高壓縮比和較強的前級抗壓能力。
[0003]現有技術中的分子泵主要有兩種類型:一種為渦輪分子泵，一種為盤型渦輪復合分子泵。
[0004]渦輪分子泵(專利號:85101627)具有較大的抽速，但是只能在氣體為分子流狀態下工作，在氣體壓強高于IPa時，抽速非常低，而一些半導體工業在該壓強范圍要求大的抽氣量，禍輪分子泵難以適合。
[0005]盤型渦輪復合分子泵主要由渦輪葉片級與盤式牽引級組成(專利號:CN87103994)。該種泵集合了渦輪泵與盤式牽引泵的優點，較渦輪分子泵在抽速和比上有所改觀。但該種類泵存在以下缺點:(I)氣體在渦輪級葉片之間流動為軸向流動，到盤式牽引級變為徑向流動，增加了流阻，造成大量氣體反流；(2)盤型牽引級抽氣效率較低，與渦輪級葉片匹配性較差，易造成氣體反流；(3)多級牽引級定片與動片交替組合，由于盤型制造誤差及裝配誤差造成氣體流導不均勻性，影響抽氣性能。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型的目的是克服現有技術缺陷，提供一種結構較簡單，成本低，操作方便，實用安全的復合分子泵，為解決上述技術問題，本實用新型提出的技術方案是:
[0007]一種復合分子泵，該復合分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部串聯而成，其特征在于，包括:
[0008]殼體；
[0009]多個一級導流片，其螺旋設置在筒式牽引部靠近所述渦輪葉片部的外側壁上，相鄰兩個所述一級導流片、筒式牽引部外側壁和殼體內側壁之間形成一個流體通道，且所述一級導流片的橫切面為弧形；
[0010]以及多個二級導流片，其與所述一級導流片同向螺旋設置在筒式牽引部靠近排氣口的外側壁上，且所述二級導流片與所述一級導流片首尾部分相互交叉設置，所述二級導流片的橫切面為弧形。
[0011]所述二級導流片與所述一級導流片首尾部分相互交叉設置，可以實現在交叉部位對氣流進行急速壓縮分流，增大氣流壓強，提高壓縮比。
[0012]所述一級導流片和所述二級導流片的橫切面為弧形，可以保證氣流在壓縮過程中，氣體分子與所述一級導流片或所述二級導流片表面的接觸面積，增大碰撞產生的動能，提高氣體分子的活躍度，促進氣體流動速度；并且減少氣體分子的流失；縮短抽真空時間。
[0013]優選的是，所述的復合分子泵還包括:
[0014]多個缺刻，其設置在所述多個二級導流片上，且一個所述二級導流片上設置至少一個所述缺刻，以使得每個所述二級導流片上的至少一個所述缺刻的中心線所在平面與所述筒式牽引部的橫切面平行；
[0015]多個輔助壓縮片，其均勻間隔開設置在所述殼體內側壁上，并且使得多個輔助壓縮片的中心線與所述多個缺刻的中心線處于同一平面，所述輔助壓縮片相對于所述殼體的軸線傾斜設置；
[0016]其中，所述多個缺刻的開口寬度大于所述輔助壓縮片在所述殼體軸向方向的高度。
[0017]筒式牽引部帶動第一導流片和第二導流片旋轉的過程中，輔助壓縮片會經過缺刻的開口處，并且在筒式牽引部高速旋轉的過程中配合輔助壓縮片和缺刻形成至少兩個氣體流動的小腔室，使氣體流動過程中不會由于進氣口處的氣壓降低發生氣體回流的情況，提高抽真空效率和真空度。
[0018]兩個相鄰的輔助壓縮片之間間隔開一定距離，可以保證氣流流動暢通。
[0019]優選的是，所述一級導流片和所述二級導流片的弧形圓心靠近排氣口方向設置。
[0020]優選的是，所述一級導流片和所述二級導流片的弧形的弧度為30-60度。
[0021]優選的是，所述一級導流片與所述二級導流片的長度比例為1-3: 5。
[0022]優選的是，所述一級導流片與所述二級導流片的交叉的長度小于所述一級導流片長度的1/3。
[0023]優選的是，所述缺刻為矩形。
[0024]優選的是，所述輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度。
[0025]這樣設置，可以保證輔助壓縮片給空氣分子提供一個氣體流動的推力，保證氣流的方向不會發生改變，提高氣體抽真空的速率。
[0026]優選的是，渦輪葉片部還包括:
[0027]轉子體；
[0028]渦輪動葉片，其設置在轉子體上；
[0029]渦輪靜葉片，其設置在所述殼體內側壁上；
[0030]以及電機，其驅動轉子體。
[0031]本實用新型的有益效果是:
[0032]所述二級導流片與所述一級導流片首尾部分相互交叉設置，可以實現在交叉部位對氣流進行急速壓縮分流，增大氣流壓強，提高壓縮比；
[0033]所述一級導流片和所述二級導流片的橫切面為弧形，可以保證氣流在壓縮過程中，氣體分子與所述一級導流片或所述二級導流片表面的接觸面積，增大碰撞產生的動能，提高氣體分子的活躍度，促進氣體流動速度；并且減少氣體分子的流失；縮短抽真空時間；
[0034]筒式牽引部帶動第一導流片和第二導流片旋轉的過程中，輔助壓縮片會經過缺刻的開口處，并且在筒式牽引部高速旋轉的過程中配合輔助壓縮片和缺刻形成至少兩個氣體流動的小腔室，使氣體流動過程中不會由于進氣口處的氣壓降低發生氣體回流的情況，提高抽真空效率和真空度；
[0035]兩個相鄰的輔助壓縮片之間間隔開一定距離，可以保證氣流流動暢通；
[0036]輔助壓縮片與所述殼體的軸線的夾角大于10度設置為，可以保證輔助壓縮片給空氣分子提供一個氣體流動的推力，保證氣流的方向不會發生改變，提高氣體抽真空的速率;
[0037]綜上所述，本實用新型結構較簡單，操作方便，能夠實現大抽速、高壓縮比以及高真空度，并且具有較強的前級抗壓能力的優點。
【附圖說明】
[0038]圖1為本實用新型所述的復合分子泵的主視結構示意圖。
[0039]圖2為本實用新型所述的復合分子泵的一級導流片和二級導流片的結構示意圖。
[0040]圖3為本實用新型所述的復合分子泵的的輔助壓縮片的部分殼體展開的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0041]下面結合附圖對本實用新型做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。
[0042]如圖1所示，一種復合分子泵，該復合分子泵自進氣口至排氣口由渦輪葉片部和筒式牽引部5串聯而成，其特征在于，包括:
[0043]殼體I ;
[0044]如圖2所示，多個一級導流片6，其螺旋設置在筒式牽引