立式徑流真空泵的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于真空獲得技術領域，尤其涉及一種立式徑流真空栗。
【背景技術】
[0002]傳統徑流真空栗均采用臥式結構，其栗筒采用T型結構，栗筒中部為球體，進氣口位于球體上方，氣體由進氣口進入栗筒球體，然后改變氣流方向，沿徑向進入抽氣單元，然后由徑流真空栗的抽氣單元抽走。上述臥式徑流栗具有運行可靠的優點，受到了用戶的歡迎。然而，臥式徑流栗的結構存在氣體阻力大、抽氣效率低、結構復雜和制造成本高的缺點，影響了徑流真空栗的大規模推廣應用。
[0003]傳統軸流真空栗均采用立式結構，栗筒采用柱狀結構，氣體由栗筒上方的進氣口直接沿軸向進入軸流抽氣單元，然后由軸流抽氣單元抽走。立式結構的軸流真空栗具有氣流通道暢順、阻力小、抽氣效率高、結構簡單和制造成本低的優點，但運行可靠性較低。
【發明內容】
[0004]本發明的目的在于克服上述現有技術的不足，提供一種立式徑流真空栗，消除傳統徑流真空栗和軸流真空栗的缺點，實現兼有傳統徑流真空栗和軸流真空栗優點的目的。
[0005]本發明是這樣實現的，一種立式徑流真空栗，包括栗殼，所述栗殼上設有進氣口和排氣口，所述栗殼內設有徑流抽氣單元，所述徑流抽氣單元包括轉子、靜輪和動密封，所述轉子上固設有兩平圓盤動輪，所述靜輪設于兩相鄰的所述動輪之間，當所述徑流抽氣單元的抽氣方向由外向內抽氣時，所述動密封位于所述動輪的下方，或者當所述徑流抽氣單元的抽氣方向由內向外抽氣時，所述動密封位于所述動輪的上方，所述栗殼為柱狀結構，所述進氣口設于所述栗殼的側壁上，所述靜輪外側設有徑向氣體流動通道，所述徑向氣體流動通道與所述進氣口相對。
[0006]進一步地，所述徑流抽氣單元成對組裝，其中，上側所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道設在下方，下側所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道設在上方，上側所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道正對著所述下側所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道。
[0007 ]進一步地，所述徑流抽氣單元的靜輪的徑向氣體流動通道內設有一組由外向內抽氣的徑流渦輪分子栗的靜輪葉片。
[0008]本發明還提供了一種立式串聯徑流真空栗，包括栗殼，所述栗殼上設有進氣口和排氣口，所述栗殼為柱狀結構，所述進氣口設于所述栗殼的側壁上，所述栗殼內設有若干串聯的抽氣級，位于所述進氣口處的第一抽氣級采用較多的并聯且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元;靠近所述排氣口的最后抽氣級采用較少的并聯且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元，或者采用單個如前所述的徑流抽氣單元;位于所述第一抽氣級和最后抽氣級之間的抽氣級，其采用的并聯且同軸安裝的如前所述的徑流抽氣單元的數量依次遞減。
[0009]本發明提供的立式徑流真空栗具有如下優點: I.氣流阻力小，抽氣效率高，有效抽速高出傳統臥式分子栗30%以上。
[0010]2.體積小，重量輕，適合用于結構緊湊的應用場合。
[0011 ] 3.結構簡單，制造成本低，與傳統臥式徑流真空栗相比，成本降低約30%。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本發明的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1-1是本發明實施例一提供的立式徑流真空栗中的栗殼的示意圖。
[0014]圖1-2是沿圖1-1中的A-A方向的剖視圖。
[0015]圖1-3是本發明實施例一提供的立式徑流真空栗的剖視圖。
[0016]圖1-4是本發明實施例一提供的立式徑流真空栗中的靜輪結構的示意圖。
[0017]圖1-5是本發明實施例一提供的立式徑流真空栗中的另一種靜輪結構的示意圖。
[0018]圖2-1是本發明實施例二提供的立式徑流真空栗的剖視圖。
[0019]圖2-2是本發明實施例二提供的立式徑流真空栗中的靜輪的示意圖。
[0020]圖3是本發明實施例三提供的一種立式串聯徑流真空栗的示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0022]實施例一:立式徑流真空栗
如圖1-1至圖1-4所示，本發明實施例一提供的一種立式徑流真空栗，包括栗殼11，栗殼11為柱狀結構，栗殼11上設有進氣口 12和排氣口(未示出)，進氣口 12設于栗殼11的側壁上，栗殼11內設有徑流抽氣單元，該徑流抽氣單元包括轉子13、靜輪14和動密封15，轉子13上固設有兩平圓盤動輪16，靜輪14設于兩動輪16之間，靜輪14外側設有徑向氣體流動通道141，徑向氣體流動通道141與進氣口12相對，當徑流抽氣單元的抽氣方向由外向內抽氣時，動密封15位于動輪16的下方，或者當徑流抽氣單元的抽氣方向由內向外抽氣時，動密封15位于動輪16的上方。
[0023]如圖1-5所示，所述徑流抽氣單元的靜輪14的徑向氣體流動通道141內設
有一組由外向內抽氣的徑流渦輪分子栗的靜輪葉片17，通過設置靜輪葉片17，可以進一步降低氣流阻力，提尚抽氣效率。
[0024]本實施例一的進氣口12設在栗殼11的側壁，當轉子13順時鐘方向高速旋轉時，待抽氣體由進氣口 12直接進入徑向氣體流動通道141，然后，由徑流抽氣單元抽至徑流抽氣單元的排氣口，最后，由設于外部的前級栗抽走。
[0025]本實施例一大幅度縮短進氣通道的長度，增大進氣通道的面積，從而，降低進氣阻力，提高立式徑流真空栗的抽氣效率，有效抽速高出傳統臥式徑流真空栗30%以上。
[0026]除此之外，本實施例一的立式徑流真空栗，結構簡單，制造成本低，與傳統臥式徑流真空栗相比，制造成本降低約30%。
[0027]實施例二:徑流抽氣單元成對組裝的立式徑流真空栗如圖2-1和圖2-2所示，本發明實施例二提供的一種立式徑流真空栗，包括栗殼21，栗殼21為柱狀結構，栗殼21上設有進氣口 22和排氣口(未示出)，進氣口 22設于栗殼21的側壁上，栗殼21內設有成對組裝的徑流抽氣單元，該徑流抽氣單元包括轉子23、靜輪24和動密封25，轉子23上固設有兩平圓盤動輪26，靜輪24設于兩動輪26之間，靜輪24外側設有徑向氣體流動通道241，徑向氣體流動通道241與進氣口 22相對，動密封25位于動輪26下方。
[0028]所述成對組裝的徑流抽氣單元中，上側徑流抽氣單元的靜輪24的徑向氣體流動通道241設在下方，下側徑流抽