液體輸送方法和液體輸送系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本公開涉及液體輸送方法、液體輸送系統和計算機可讀記錄介質。
【背景技術】
[0002]專利文獻I公開了栗。該栗包括:筒體、同軸狀地配置在筒體內的管、與筒體和管之間的內部空間連通的缸、配置在缸內的活塞、驅動活塞的電動機和測定填充在該內部空間內的工作液體的壓力的壓力傳感器。
[0003]該栗移送管內的移送液體時,電動機驅動活塞對內部空間內的工作液體施加壓力。這樣,壓力經由工作液體施加在管上。由此,管內的移送液體輸出到管外。
[0004]液體為非壓縮流體,所以工作液體的壓力和從管輸出移送液體的流量大致呈正比。因此,根據由壓力傳感器測定出的工作液體的壓力控制活塞的驅動量,來控制從管輸出移送液體的輸出流量。
[0005]現有技術文獻
[0006]專利文獻
[0007]專利文獻1:日本特開2007-154767號公報
【發明內容】
[0008]發明想要解決的技術問題
[0009]在專利文獻I中記載的栗中,作為用于使管工作的工作流體使用液體(工作液體)。因此,需要用于防止工作液體的泄漏的結構。為了對工作液體施加壓力,還需要活塞、電動機等比較復雜的驅動機構。
[0010]于是,本公開說明利用簡單的結構能夠實現液體的移送的液體輸送方法、液體輸送系統和計算機可讀記錄介質。
[0011]用于解決技術問題的技術方案
[0012]根據本公開的一方面的液體輸送方法,包括:響應填充在覆蓋具有彈性的管的外側的管用殼體與所述管的外表面之間的內部空間中的氣體的壓力使液體在所述管內流通的步驟;取得在管內流通的液體的壓力的大小作為第一值的步驟;取得填充在內部空間中的氣體的壓力的大小作為第二值的步驟;計算第一值與第二值之差作為第三值的步驟;和基于第三值檢測管的狀態的步驟。
[0013]根據本公開的一方面的液體輸送方法,在覆蓋管的外側的管用殼體和管的外表面之間的內部空間填充有氣體。即,作為用于使管工作的工作流體使用氣體。因此,有向內部空間供給氣體并從內部空間排出氣體的機構即可,可以不用活塞、電動機等比較復雜的驅動機構。因此,能夠利用簡單的結構實現利用本公開的一方面的液體輸送方法的液體的移送。
[0014]但是,例如在內部空間內的工作氣體成為高壓由工作氣體對管施加壓力的情況下,管以擠壓的方式發生變形,并且相對于管徑向向外地產生要恢復到初始的形狀的反作用力。這樣,因為氣體是壓縮性流體,管上一產生徑向向外的反作用力,實質上經由管作用于移送液體的壓力變小。而且,管的變形量越大,管上產生的徑向向外的壓力也趨于變大。因此,難以像以工作液體的壓力和來自管的移送液體的流量大致呈正比這一點為前提根據工作液體的壓力來控制活塞的驅動量的專利文獻I那樣,基于工作氣體的壓力來把握管的狀態。內部空間內的工作氣體變成低壓,擠壓的狀態下的管要恢復到初始的形狀而擴張的情況下也一樣。
[0015]此處,從外方對管施加的工作氣體的壓力與從內方對管施加的移送液體的壓力之差相當于實質上作用于管上的壓力。因此,該差越大,管的變形量越大,并且管上產生的反作用力的大小越大。著眼于該現象,本公開的一方面的液體輸送方法中,基于移送液體的壓力的大小(第一值)和工作氣體的壓力的大小(第二值)之差(第三值),檢測管的狀態。因此,能夠利用第三值適當地檢測難以直接由傳感器等設備檢測的管的狀態。
[0016]還可以包括:向內部空間內供給氣體或從內部空間排出氣體以使得第一值成為規定值的步驟。此時,從管輸出液體的輸出流量或向管填充液體的填充流量為規定流量。當輸出流量為規定流量時,更容易使液體均勻地供給到液體的供給對象物。當填充流量為規定流量時,體難以過剩地填充到管中,所以能夠抑制管的破損。
[0017]也可以在伴隨氣體從內部空間的排出而在管內填充有液體的狀態下,在檢測管的狀態的步驟中,當第三值達到規定的第一閾值時檢測出液體向管內的填充已經完成。此時,預先求取在管內填充有液體的期望的狀態下的移送液體的壓力的大小和工作氣體的壓力的大小之差,由此能夠檢測出液體向管內的填充已經完成。但是,管周圍的壓力越小,管越要從擠壓的狀態恢復至初始的狀態,所以能夠促進液體向管內的填充。另外,管要從擠壓的狀態恢復至初始的狀態時,管上產生的徑向向外的反作用力變小,該反作用力能夠基于移送液體的壓力的大小和工作氣體的壓力的大小之差(第三值)來把握,所以能夠基于該差間接地把握液體向管內的填充狀態。從而,通過預先設定液體填充在管內并且管大致為初始的形狀時的移送液體的壓力的大小與工作氣體的壓力的大小之差作為第一閾值,能夠將充足量的液體填充到管中,并且能夠抑制液體過剩地填充到管內。
[0018]還可以包括:當第三值達到第一閾值時,停止從內部空間排出氣體的步驟。
[0019]可以在伴隨氣體向內部空間的供給而從管內輸出液體的狀態下,在檢測管的狀態的步驟中,當第三值達到規定的第二閾值時檢測出液體從管內的輸出已經完成。此時,預先求取從管輸出液體的期望的狀態下的移送液體的壓力的大小和工作氣體的壓力的大小之差,由此能夠檢測出液體從管的輸出已經完成。但是,管周圍的壓力越大,管越從初始的狀態成為擠壓的狀態,所以能促進液體從管內的輸出。另外,管從初始的狀態成為擠壓的狀態時,管上產生的徑向向外的反作用力變大,該反作用力能夠基于移送液體的壓力的大小和工作氣體的壓力的大小之差(第三值)來把握,所以能夠基于該差間接地把握液體從管內的輸出狀態。從而,通過預先設定液體被完全擠壓時的移送液體的壓力的大小與工作氣體的壓力的大小之差作為第二閾值,能夠將大致全量管內的液體輸出,并且能夠抑制工作氣體的壓力過剩地施加于管上。
[0020]還可以包括:當第三值達到第二閾值時,停止向內部空間供給氣體的步驟。
[0021]當第三值不足第二閾值時,可以根據第三值推定液體從管的輸出量。第三值間接地表示隨著管的變形在管上產生的反作用力,液體從管的輸出量根據該反作用力而變化。因此,通過計算第三值,能夠得到輸出量的推定值。
[0022]根據本公開的另一方面的液體輸送系統,包括:栗;第一和第二壓力測定部;和控制部,栗包括:具有彈性的供作為移送對象的液體流通的管;管用殼體,覆蓋管的外側,在該管用殼體與管的外表面之間的內部空間保持氣體;和向內部空間供給氣體和從內部空間排出氣體的供給排出部,第一壓力測定部測定在管內流通的液體的壓力的大小,第二壓力測定部測定內部空間的氣體的壓力的大小,控制部執行如下處理:計算第一值和第二值之差作為第三值的處理,其中,上述第一值是由第一壓力測定部測定出的壓力的大小,上述第二值是由第二壓力測定部測定出的壓力的大小;和基于第三值檢測所述管的狀態的處理。
[0023]根據本公開的另一方面的液體輸送系統,與上述方法一樣,能夠利用簡單的結構實現液體的移送。
[0024]根據本公開的另一方面的計算機可讀記錄介質,記錄有用于使液體輸送系統執行上述方法的程序。根據本公開的另一方面的計算機可讀記錄介質,與上述方法一樣,能夠利用簡單的結構實現液體的移送。在本說明書中,計算機可讀記錄介質包括非暫時性的有形介質(非暫時性計算機記錄介質)(例如,各種主存儲裝置或輔助存儲裝置)和傳播信號(暫時性計算機記錄介質)(例如,可經由網絡提供的數據信號)。
[0025]發明效果
[0026]根據本公開的液體輸送方法、液體輸送系統和計算機可讀記錄介質,能夠利用簡單的結構實現液體的移送。
【附圖說明】
[0027]圖1是表示基板處理系統的立體圖。
[0028]圖2是圖1的I1-1I線截面圖。
[0029]圖3是圖2的II1-1II線截面圖。
[0030]圖4是表示涂敷單元的示意圖。
[0031 ]圖5是表示液體供給系統的圖。
[0032]圖6是概略表示栗的截面的圖。
[0033]圖7的(a)是表示管的側視圖,圖7的(b)是圖7的(a)的B-B線截面圖。
[0034]圖8是表示栗裝置的立體圖。
[0035]圖9是用于說明液體輸送時的液體供給系統的動作的圖。
[0036]圖10是表示管被擠壓的狀態的截面圖。
[0037]圖11是經時表示輸出動作時的液壓的大小和管周圍的氣壓的大小的關系的圖。
[0038]圖12的(a)是用于說明輸出動作時的動作的流程圖,圖12的(b)是用于說明補充動作時的動作的流程圖。
[0039]圖13是用于說明補充動作時的液體供給系統的動作的圖。
[0040]圖14是經時表示補充動作時的液壓大小和管周圍的氣壓的大小的關系的圖。
[0041 ]圖15是用于說明排液時的液體供給系統的動作的圖。
[0042]圖16是表示一組栗裝置的立體圖。
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