一種抽氣泵的抽氣系統及抽氣泵的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及集成電路制造領域，尤其是一種抽氣泵的抽氣系統及抽氣泵。
【背景技術】
[0002]在干法蝕刻技術中，通常采用抽氣泵抽氣的方式解決真空問題。具體的，抽氣泵與真空管的一端連接，所述真空管的另一端與刻蝕反應腔連接，且所述真空管豎直放置。也就是說，所述抽氣泵與所述真空管是直通式連接，所述抽氣泵通過豎直抽氣方式對所述刻蝕反應腔進行抽氣。
[0003]在生產產品的過程中，所述刻蝕反應腔內將會產生副產品，也就是廢氣，生產過程中產生的廢氣在所述抽氣泵的抽氣過程中會進入所述真空管，在經過所述真空管時，由于所述真空管較長，就會有一部分廢氣會冷凝成固體附著在所述真空管的管壁上。隨著這些固體副產品在所述真空管上的沉積，所述真空管管壁上的固體副產品會越來越多，進而附著在所述真空管管壁上的固體副產品會從所述真空管的管壁上脫落，掉入到所述抽氣泵中，堵塞所述真空管和所述抽氣泵，從而導致所述抽氣泵的壓力過高。這時，工程師就必須將所述刻蝕反應腔連接的機臺斷電，使得所述刻蝕反應腔獨立，并使所述抽氣泵停止工作來清理所述抽氣泵。頻繁的起停所述抽氣泵，會損傷所述抽氣泵，進而會導致所述抽氣泵無法開起來。
[0004]而且，在每次定期維護后，工程師還需要清理所述真空管，以便將所述真空管管壁上的固體副產品清理干凈。在清理所述真空管的過程中，需要將所述真空管拆卸下來，也就是需要將所述真空管與所述抽氣泵拆卸開來，然后再對所述真空管和所述抽氣泵進行清理。但是頻繁的拆卸和安裝會導致所述真空管和所述抽氣泵的連接處的磨損，進而會進一步的減短所述抽氣泵的使用壽命，增加了成本。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在于提供一種抽氣泵的抽氣系統及抽氣泵，以解決在生產過程中固體副產品掉落至抽氣泵中而縮短所述抽氣泵壽命的問題。
[0006]為了達到上述目的，本發明提供了一種抽氣泵的抽氣系統及抽氣泵，其中，一種抽氣泵的抽氣系統包括:
[0007]第一真空管，所述第一真空管的一端與反應腔連接，另一端設置有一泄壓閥，所述第一真空管上設置有一第一開關閥；
[0008]第二真空管，所述第二真空管的一端連接于所述第一真空管，所述第二真空管與所述第一真空管的連接處與所述反應腔之間的距離，大于所述第一開關閥與所述反應腔之間的距離；以及
[0009]第三真空管，所述第三真空管的一端連接于所述第二真空管的另一端，所述第三真空管的另一端連接于抽氣泵的進氣口，所述第三真空管上設置有一第二開關閥。
[0010]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第一開關閥與所述反應腔之間的距離，小于所述第一開關閥與所述泄壓閥之間的距離。
[0011]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第一真空管和所述通氣管豎直設置。
[0012]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第二真空管與所述第一真空管靠近所述第一開關閥的一側形成一第一夾角。
[0013]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第一夾角大于90°。
[0014]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第一夾角為135°。
[0015]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述第三真空管豎直設置。
[0016]優選的，在上述的抽氣泵的抽氣系統中，所述泄壓閥位于所述抽氣泵的上方。
[0017]本發明還提供了一種抽氣泵，包括:抽氣泵主體，所述抽氣泵主體上分別設置有進氣口和出氣口，所述進氣口連接有如上所述的抽氣泵的抽氣系統。
[0018]優選的，在上述的抽氣泵中，所述抽氣泵主體為螺桿抽氣泵主體。
[0019]在本發明提供的一種抽氣泵的抽氣系統及抽氣泵中，正常工作時，所述第一開關閥和所述第二開關閥打開，所述泄壓閥關閉，生產過程中產生的廢氣冷凝而成的固體副產品附著在所述第一真空管管壁上，這些固體副產品會掉落到所述第一真空管設置有所述泄壓閥的一端，當需要清理時，將所述第一開關閥和所述第二開關閥關閉，打開所述泄壓閥，讓空氣進入所述第一真空管中，清理所述第一真空管即可，無需停止抽氣泵，也無需打開反應腔，減少了對所述抽氣泵的損傷以及所述第三真空管和所述抽氣泵連接處的磨損，提高了所述抽氣泵的使用壽命。
【附圖說明】
[0020]圖1本發明實施例中抽氣泵的抽氣系統的結構示意圖；
[0021]圖中:101-反應腔；102_第一真空管；103-第二真空管；104-第三真空管；105-第一開關閥；106-泄壓閥；107-第二開關閥；108-抽氣泵。
【具體實施方式】
[0022]下面將結合示意圖對本發明的【具體實施方式】進行更詳細的描述。根據下列描述和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
[0023]本實施例提供了一種抽氣泵，包括，抽氣泵主體，所述抽氣泵主體上設置有進氣口和出氣口，所述進氣口與一種抽氣泵的抽氣系統連接。
[0024]優選的，本實施例中的抽氣泵主體為螺桿抽氣泵主體。
[0025]其中，如圖1所示，所述抽氣泵的抽氣系統包括:第一真空管102，第二真空管103和第三真空管104。
[0026]具體的，所述第一真空管102的一端與反應腔101連接，另一端設置有一泄壓閥106，且在所述第一真空管102上設置有一第一開關閥105。所述第一開關閥105與所述反應腔101之間的距離，小于所述第一開關閥105與所述泄壓閥106之間的距離。所述泄壓閥106位于所述抽氣泵108的上方，以減少所述抽氣泵的抽氣系統所占用的空間。
[0027]具體的，生產過程中產生的廢氣被抽氣泵108抽入到所述第一真空管102中，由于所述廢氣一般為高溫，而所述第一真空管102的溫度低于所述廢氣的溫度，當所述廢氣進入到所述第一真空管102后會迅速冷凝成固體，形成固體副產品，并附著在所述第一真空管102的內壁上，并且，大部分的固體副產品都附著在所述第一真空管102靠近所述反應腔101的部分。
[0028]在本實施例中，所述第一真空管102為豎直設置。也就是說，針對豎直設置的所述第一真空管102來說，大部分固體副產品附著在所述所述第一真空管102內壁的上部，因此，需要將所述第一開關閥105設置在所述第一真空管102的上部，當需要對所述第一真空管102清理時，關閉所述第一開關閥105和第二開關閥107，就可以把所述附著在所述第一真空管102上半部內壁上的固體副產品清理出所述第一真空管102。也就是說，所述第一開關閥105更加靠近所述反應腔101而遠離所述泄壓閥106，即，所述第一開關閥105與所述反應腔101之間的距離，小于所述第一開關閥105與所述泄壓閥106之間的距離。
[0029]更優的，所述第一開關閥105設置在離所述反應腔101較近的位置，這樣，當需要對所述第一真空管102進行清理時，就可以將所述