一種電鍍裝置及傳感裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種應用于在電鍍對象表面進行電解電鍍或化學鍍的電鍍裝置，以及使用相同裝置的一種傳感裝置。
【背景技術】
[0002]最近這些年，一種電鍍技術已被應用于各種技術領域，例如一種半導體布線技術。進一步的，為了在生產電鍍產品時確定電鍍條件，電度測試可能在生產開始前被執行，例如使用一種小尺寸的電鍍裝置。
[0003]例如，對比文件1公開了一種電鍍測試裝置，包括:至少具有一襯底和一側襯板且注入有電鍍液的一容器；以及一陰極板和一陽極板，在容器內的電鍍液中水平放置以相互對齊，其中，作為電鍍對象的陰極板和陽極板的其中一個被設置在另一個的下面，容器的側襯板內形成有一開口，用于分別將陰極板和陽極板插入容器中，且容器內可拆卸的設置有用于遮蓋開口的一罩板。容器的側襯板包括多個凹槽，用于容納處于平行狀態的陰極板和陽極板中的至少一塊板，以調節陰極板和陽極板之間的溝道。
[0004]現有技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]對比文件1:日本專利申請公開號第2006-299367(權利要求1-3，圖1)
【發明內容】
[0007]發明要解決的問題
[0008]但是，對比文件1中描述的電鍍裝置需要在容器的側襯板內設置有開口和凹槽，以及容納陰極板和陽極板的容器，使得結構尺寸更大且更復雜，且制造成本和材料成本因此而提高了。所以，需要一種更為簡單且更為緊湊的電鍍裝置。
[0009]而且，隨著近年來對電鍍對象的不斷研究和發展，需要一種電鍍裝置，能夠在電鍍過程中觀察電鍍對象的生產過程，例如用高性能顯微鏡(如拉曼顯微鏡)。
[0010]本發明針對上述問題設計，且作為一個主要科目，提供了一種更簡單且可以更容易的制造成比以前尺寸更小的電鍍裝置，以及使用此裝置的傳感裝置。
[0011]進一步的，作為一個次級科目，本發明提供了一種電鍍裝置，能夠觀察電鍍對象的生產過程。
[0012]解決問題的手段
[0013]為了解決上述問題，本發明的一種電鍍裝置包括:一固定部件(2)，用于固定作為陰極的一電鍍對象(W);—墊片(4)，通過第一密封部件(3)堆疊于固定部件(2)上，并以環形形狀環繞電鍍對象(W)，且包含有暴露電鍍對象且儲存電鍍液的一貫穿部件(45);以及一陽極部件(6)，通過一第二密封部件(5)堆疊于墊片(4)上，并以環形形狀環繞貫穿部件(45)，且包含正對被暴露在貫穿部件(45)下的電鍍對象(W)的一陽極溶層(62)。
[0014]根據這個結構，電鍍裝置(1)可容易的通過以下方法簡單地形成:堆疊固定部件(2)以固定電鍍對象(W)，再通過第一密封部件(3)堆疊利用貫穿部件(45)來存儲電鍍液的墊片(4)及通過第二密封部件(5)堆疊包含一陽極的陽極部件(6)。所以，電鍍裝置(1)與對比文件1中描述的電鍍裝置相比更簡單且尺寸更小，比如說，對比文件1中結構復雜的容器是不必要的。進一步的，在本發明中，陽極和陰極之間的距離可以容易的通過更換不同厚度的墊片(4)來調整。
[0015]進一步的，墊片(4)包括一墊片主體(41)，墊片主體由一絕緣層組成，和一陽極側導電層(43)，極側導電層設置于墊片主體(41)的表面，正對陽極部件(6)，陽極部件(6)包括一陽極部件主體(61)，陽極部件主體由絕緣層組成，和一作為陽極的陽極溶層(62)，陽極溶層設置于陽極部件主體(61)的表面上，，正對墊片(4)，陽極側導電層(43)與第二密封部件
(5)內部的陽極溶層(62)連接，且陽極側導電層(43)與第二密封部件(5)外部的電源(PW)連接。
[0016]根據這個結構，陽極側導電層(43)與第二密封部件(5)內部的陽極溶層(62)連接，且陽極側導電層(43)與第二密封部件(5)外部的電源(PW)連接，這能夠在給陽極溶層(62)提供電能時，保持墊片(4)和陽極部件(6)之間的密封。
[0017]進一步的，陽極部件主體(61)優選地包括一光傳輸窗口(64)，用于觀察暴露于貫穿部件(45)的電鍍對象(W)，且陽極溶層(62)優選地環繞窗口(64)周圍形成。
[0018]該結構能夠在電鍍過程中通過窗口(64)觀察產生于電鍍對象(W)上的鍍層本身。
[0019]更進一步的，窗口(64)優選地具有小于陽極部件主體(61)的其它部分的一厚度
(tl)o
[0020]這種結構，舉例來說，能夠設置用來更靠近陰極地觀察的一顯微鏡。因此，在電鍍過程中，電鍍對象(W)可以被合適地觀察。
[0021]而且，優選地，窗口(64)的厚度(tl)的范圍為0.05mm<tl <2mm。
[0022]由于該結構能夠適當地限制穿過窗口(64)的光的折射和散射，電鍍過程中電鍍對象(W)可以在某種狀態下被適當地觀察，該狀態下窗口(64)造成的影響被減少。
[0023]而且，優選地，陽極部件主體(61)在窗口(64)周圍有向窗口(64)方向傾斜的一錐形部分(64a)。
[0024]根據該結構，陽極部件主體(61)有環繞窗口(64)并向窗口(64)傾斜的錐形部分(64a)，這防止顯微鏡(M)與陽極部件(6)接觸，例如在顯微鏡(M)被用來觀察電鍍對象(W)時。
[0025]而且，優選地，墊片⑷的厚度(t2)的范圍為0.05mm 1mm。
[0026]根據該結構，存儲在貫穿部件(45)中的電鍍液的厚度(深度)很小，以保證即使電鍍液被上色也可以觀察電鍍對象(W)。進一步的，通過顯著地縮短電極間的距離，可得到離子濃度的陡峭的擴散梯度。
[0027]而且，優選的，墊片(4)包括設置于墊片主體(41)表面的一陰極側導電層(42)，正對固定部件(2)，陰極側導電層(42)與第一密封部件(3)內部的電鍍對象(W)連接，且陰極側導電層(42)與第一密封部件(3)外部的電源(PW)連接。
[0028]該結構能夠為電鍍對象(W)提供電能，同時保持在墊片(4)和固定部件(2)之間的密封。
[0029]而且，優選地，墊片(4)包括與墊片主體(41)的表面上的陽極側導電層(43)絕緣的一參考電極導電層(44)，正對陽極部件(6)，優選地陽極部件(6)包括與墊片主體(61)的表面上的陽極溶層(62)絕緣的一參考電極層(63)，正對墊片(4)，參考電極導電層(44)與第二密封部件(5)內部的參考電極層(63)連接，且參考電極導電層(44)與第二密封部件(5)外部的檢測設備連接。
[0030]根據該結構，陽極的電勢可以通過參考電極層(63)測得，同時墊片(4)和陽極部件
(6)可保持密封。
[0031]而且，優選地，固定部件(2)或者陽極部件(6)包括一電鍍液供應通道(27)，電鍍液通過該通道被供應至貫穿部件(45)，且優選地，固定部件(2)或者陽極部件(6)包括一電鍍液排放通道(28)，電鍍液通過該通道從貫穿部件(45)泄出。
[0032]該結構使得貫穿部件(45)中的電鍍液被適當地維持著，方法是從電鍍液供應通道
(27)給貫穿部件(45)提供電鍍液，以及將它從貫穿部件(45)排放至電鍍液排放通道(28)。
[0033]而且，在電鍍液是化學鍍液的情況下，優選地是檢測設備而不是電源(PW)被連接，以檢測陽極和陰極之間的電勢。
[0034]該結構使得本發明的電鍍裝置(1)能夠應用化學鍍且能夠檢測陽極和陰極間的電勢。
[0035]而且，本發明提供了使用上述電鍍裝置(1)的一種傳感裝置，其中，陽極側導電層(43)由多個相互絕緣的陽極側導電層(43B)構成，陽極溶層(62)由相同數量的相互絕緣的陽極溶層(62B)構成，作為陽極側導電層(43B)，且被暴露在貫穿部件(45)下的陽極溶層(62B)的各個部分(62Bb)分別由不同的反應基改性。
[0036]該結構使得電鍍裝置(1)能夠被用作一種傳感裝置，舉例來說，通過將不同的反應基更改為多個陽極溶層(62B)。
[0037]發明效果
[0038]本發明提供了一種更簡單且更容易制作成比以前尺寸更小的電鍍裝置，以及使用相同裝置的傳感裝置。進一步的，本發明可以提供一種電鍍裝置，能夠觀察電鍍對象的生產過程。
【附圖說明】
[0039]圖1是根據第一個實施例的電鍍裝置的透視圖；
[0040]圖2是根據第一個實施例的電鍍裝置的分解透視圖；
[0041 ]圖3是圖1中沿m-m線的分解剖視圖；
[0042]圖4是圖1中沿IV-1V線的分解剖視圖；
[0043]圖5是圖1中沿m-m線的裝配剖視圖；
[0044]圖6A是固定部件的平面圖，圖6B是圖6A中沿VIb-VIb線的剖視圖；
[0045]圖7A是墊片的平面圖，圖7B是墊片的底視圖；
[0046]圖8A是陽極部件的平面圖，圖8B是圖8B中沿Vlllb-VIIIb線的剖視圖，圖8C是陽極部件的底視圖。
[0047]圖9是根據