148]2.壓力傳感器
[0149]接下來，對具備本發明的物理量傳感器的壓力傳感器(本發明的壓力傳感器)進行說明。圖8為表示本發明的壓力傳感器的一個示例的剖視圖。
[0150]如圖8所示，本發明的壓力傳感器100具備物理量傳感器1、對物理量傳感器I進行收納的框體101和將從物理量傳感器I得到的信號運算為壓力數據的運算部102。物理量傳感器I經由配線103而與運算部102電連接。
[0151]物理量傳感器I通過未圖示的固定單元而被固定于框體101的內側。此外，在框體101上具有用于使物理量傳感器I的隔膜部20與例如大氣(框體101的外側)連通的貫穿孔104。
[0152]根據這樣的壓力傳感器100，隔膜部20經由貫穿孔104而受到壓力。將該受壓的信號經由配線103而向運算部發送，并運算為壓力數據。該運算出的壓力數據能夠通過未圖示的顯示部(例如，個人計算機的顯示器等)而進行顯示。
[0153]3.高度計
[0154]接下來，對具備本發明的物理量傳感器的高度計(本發明的高度計)的一個示例進行說明。圖9為表示本發明的高度計的一個示例的立體圖。
[0155]高度計200如手表那樣可佩戴于手腕上。此外，在高度計200的內部搭載有物理量傳感器1(壓力傳感器100)，在顯示部201上能夠顯示當前位置的海拔高度或者當前位置的氣壓等。
[0156]另外，在該顯示部201上能夠顯示當前時刻、使用者的心搏數、天氣等各種信息。
[0157]4.電子設備
[0158]接下來，對應用了具備本發明的物理量傳感器的電子設備的導航系統進行說明。圖10為表示本發明的電子設備的一個示例的主視圖。
[0159]在導航系統300中具有:未圖示的地圖信息；從GPS(全球定位系統:GlobalPosit1ning System)取得位置信息的位置信息取得單元;利用陀螺儀傳感器以及加速度傳感器與車速數據的自主導航單元;物理量傳感器I;以及顯示預定的位置信息和行進道路信息的顯示部301。
[0160]根據該導航系統，不僅能夠取得位置信息，還能夠取得高度信息。例如當行駛于與一般道路在位置信息上表示大致相同的位置的高架道路時，在不具有高度信息的情況下，無法通過導航系統而判斷出是在一般道路上行駛還是在高架道路上行駛，從而作為優先信息而將一般道路的信息提供給使用者。因此，在本實施方式所涉及的導航系統300中，能夠通過物理量傳感器I取得高度信息，從而能夠對由于從一般道路進入高架道路而產生的高度變化進行檢測，并向使用者提供高架道路的行駛狀態下的導航信息。
[0161]另外，顯示部301成為例如液晶面板顯示器、有機EL(0rganicElectro-Luminescence，有機電致發光)顯示器等能夠實現小型且輕薄化的結構。
[0162]另外，具備本發明的物理量傳感器的電子設備并不局限于上述設備，例如，可以應用于個人計算機、移動電話、醫療器械(例如電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內窺鏡)、各種測量設備、計量儀器類(例如，車輛、飛機、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等中。
[0163]5.移動體
[0164]接下來，對應用了本發明的物理量傳感器的移動體(本發明的移動體)進行說明。圖11為表示本發明的移動體的一個示例的立體圖。
[0165]如圖11所示，移動體400具有車身401和四個車輪402，并被構成為利用被設置在車身401中的未圖示的動力源(發動機)而使車輪402旋轉。在這樣的移動體400中內置有導航系統300 (物理量傳感器I)。
[0166]以上，雖然基于圖示的各實施方式而對本發明的電子裝置、物理量傳感器、壓力傳感器、高度計、電子設備以及移動體進行了說明，但本發明并不局限于此，各部分的結構能夠更換為具有相同的功能的任意的結構。此外，還可以附加其他任意的結構物。
[0167]另外，關于被設置在一個隔膜部上的壓敏電阻元件(功能元件)的數目，雖然在前述的實施方式中以四個的情況為例進行了說明，但并不局限于此，例如，可以是一個以上三個以下，或者五個以上。另外，壓敏電阻元件的配置與形狀等也不局限于前述的實施方式，例如，在前述的實施方式中，也可以在隔膜部的中央部配置壓敏電阻元件。
[0168]此外，雖然在前述的實施方式中，以使用壓敏電阻元件以作為對隔膜部的撓曲進行檢測的傳感器元件的情況為例進行了說明，但作為所涉及的元件而并不局限于此，例如也可以是諧振子。
[0169]此外，雖然在前述的實施方式中，以將本發明的電子裝置應用在物理量傳感器中的情況為例進行了說明，但并不局限于此，也能夠在如下的各種電子裝置中應用本發明，即，如上文所述那樣使用半導體制造工藝而在基板上形成壁部以及頂部，并通過基板、壁部以及頂部而形成內部空間的各種電子裝置，在該情況下，可以省略隔膜部。
[0170]此外，雖然在前文所述的實施方式中，以壁部的耐蝕層的數目為兩個的情況為例而進行了說明，但耐蝕層的數目并不限定于此，也可以為三個以上。在該情況下，既可以通過三個以上的耐蝕層中的任意的彼此相鄰的兩個耐蝕層來包圍絕緣層，此外，也可以通過三個以上的耐蝕層來包圍絕緣層，但從減小壁部的與基板相反的一側的高低差的觀點出發，優選為，通過包括最靠頂部側的耐蝕層在內的多個耐蝕層來包圍絕緣層。
[0171]符號說明
[0172]1:物理量傳感器;2:基板;3:中間層;5:壓敏電阻元件;5a:壓敏電阻元件;5b:壓敏電阻元件；5c:壓敏電阻元件；5d:壓敏電阻元件;6:層疊結構體;20:隔膜部；21:半導體基板;22:絕緣膜;23:絕緣膜;24:凹部；25:受壓面;41:犧牲層;42:犧牲層;61:層間絕緣膜；62:配線層;63:層間絕緣膜;64:配線層;65:表面保護膜;66:密封層；100:壓力傳感器；101:框體；102:運算部；103:配線；104:貫穿孔;200:高度計;201:顯示部;211:硅層;212:氧化硅層；213:硅層；214:配線；214a:配線；214b:配線；214c:配線；214d:配線；300:導航系統；301:顯示部;400:移動體;401:車身;402:車輪;411:貫穿孔;421:貫穿孔;621:固定部;622:第一凸緣部;623:第二凸緣部;631:絕緣層;641:覆蓋層;642:細孔;643:第一連接部;644:第二連接部;645:連結部；651: S12層；652: SiN層;P:壓力;S:空洞部。
【主權項】
1.一種電子裝置，其特征在于，具備: 基板； 功能元件，其被配置在所述基板的一面側； 壁部，其以在俯視觀察所述基板時包圍所述功能元件的方式而被配置在所述基板的所述一面側； 頂部，其相對于所述壁部而被配置在與所述基板相反的一側，并同所述壁部一起構成內部空間， 所述壁部具有絕緣層和多個耐蝕層，多個所述耐蝕層與所述絕緣層相比相對于能夠對所述絕緣層進行蝕刻的蝕刻液的耐性較高， 在進行與所述基板交叉的方向的剖視觀察時，多個所述耐蝕層相互連接并被配置在所述絕緣層的周圍。2.如權利要求1所述的電子裝置，其中， 多個所述耐蝕層在所述剖視觀察時具有第一耐蝕層和第二耐蝕層，所述第二耐蝕層相對于所述第一耐蝕層在兩處被連接并同所述第一耐蝕層一起包圍所述絕緣層。3.如權利要求2所述的電子裝置，其中， 所述第一耐蝕層具有: 固定部，其被固定在所述基板上； 第一凸緣部，其從所述固定部向所述內部空間側延伸，并與所述基板分離； 第二凸緣部，其從所述固定部向與所述內部空間相反的一側延伸，并與所述基板分離， 所述第二耐蝕層具有: 第一連接部，其與所述第一凸緣部連接； 第二連接部，其與所述第二凸緣部連接。4.如權利要求1至3中任一項所述的電子裝置，其中， 所述耐蝕層包含金屬。5.如權利要求4所述的電子裝置，其中， 所述金屬包括鋁。6.如權利要求1至5中任一項所述的電子裝置，其中， 所述絕緣層包含氧化硅。7.如權利要求1至6中任一項所述的電子裝置，其中， 所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被設置于在俯視觀察時與所述頂部重疊的位置處，并通過受壓而發生撓曲變形。8.如權利要求7所述的電子裝置，其中， 所述功能元件為通過變形而輸出電信號的傳感器元件。9.一種物理量傳感器，其特征在于， 具備權利要求7所述的電子裝置，其中，所述功能元件為被配置于所述隔膜部的一面側的傳感器元件。10.一種壓力傳感器，其特征在于， 具備權利要求1至8中任一項所述的電子裝置。11.一種高度計，其特征在于，具備權利要求1至8中任一項所述的電子裝置。12.一種電子設備，其特征在于，具備權利要求1至8中任一項所述的電子裝置。13.—種移動體，其特征在于，具備權利要求1至8中任一項所述的電子裝置。
【專利摘要】本發明提供電子裝置、物理量傳感器、壓力傳感器以及高度計。電子裝置以及物理量傳感器具有優異的可靠性，此外，壓力傳感器、高度計、電子設備以及移動體具備所涉及的電子裝置。本發明的物理量傳感器(1)具備：基板(2)；壓敏電阻元件(5)，其被配置于基板(2)的一面側；壁部，其以在俯視觀察基板(2)時包圍壓敏電阻元件(5)的方式而被配置在基板(2)的一面側；頂部，其相對于壁部而被配置于與基板相反的一側，并同壁部一起構成空洞部(S)，在以橫切壁部的剖面進行觀察時，所述壁部具有絕緣層(631)和配線層(62、64)，配線層(62、64)以相互協同的方式包圍絕緣層(631)，并且與絕緣層(631)相比，相對于能夠對絕緣層(631)進行蝕刻的蝕刻液的耐性較高。
【IPC分類】G01L1/18, B81B3/00
【公開號】CN105600735
【申請號】CN201510784746
【發明人】田中信幸
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年11月16日
【公告號】US20160137494