顆粒收集系統及集塵方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及將在半導體或液晶顯示器的制造過程中成為問題的顆粒(異物)進行吸附藉以集塵的顆粒收集系統(particle collector system)及集塵方法。
【背景技術】
[0002]于半導體或顯示器制造過程中，為了盡量降低成為不良模式的原因的顆粒，需要加以細心的注意其集塵及防塵設計。
[0003]作為集塵及防塵方法，以往采取如下的手法(例如，參考專利文獻1及專利文獻2
等)Ο
[0004]第一種方法是對驅動部的配置設計下功夫的方法。
[0005]具體而言，從工件(work)的正上方，排除成為顆粒的產生來源的驅動部或滑動部，盡量抑制落下到工件的顆粒的產生。
[0006]第二種方法是對材料是的選擇方面下功夫的方法。
[0007]具體而言，是著眼于因為驅動部或滑動部所使用的材料摩耗而造成產生顆粒的情形，因此，在材料方面，選擇具有耐摩耗性者或非脆化性者，藉以抑制顆粒的產生。
[0008]第三種方法是將所產生的顆粒的飛散路徑加以遮斷或變更的方法。
[0009]具體而言，是對必然會產生顆粒的部分架設蓋子(cover)或門檻，藉以作成所產生的顆粒不會直接附著于工件的構造。或者，在腔室(chamber)內反復實施真空/大氣開放，藉以將顆粒頻繁地排出外部。
[0010]第四種方法是將構造作成不致于使顆粒飛揚的方法。
[0011 ]具體而言，由于在進行腔室內的抽真空或導入氣體等時，因導入空氣所引起的顆粒的飛揚將成為問題，所以使用過濾機(filter)使導入空氣成為清凈的空氣，或在空氣導入路徑中設置捕阱(trap)部，以使空氣清凈化。
[0012][現有技術文獻]
[0013][專利文獻]
[0014]專利文獻1:日本專利特開2009-023020號公報
[0015]專利文獻2:日本專利特開2010-264341號公報
【發明內容】
[0016](發明所欲解決的課題)
[0017]然而，在上述的以往技術中，則有如下述般的問題。
[0018]在上述的集塵及防塵方法而言，雖然可降低與工件一起從外部所帶進的顆粒、以及在裝置內腔室的驅動部所產生的顆粒，但是并不能完全消滅。尤其是，積于裝置內腔室的側墻部或地板部的顆粒，會在來自外部的空氣導入時，被所吹進的空氣的風壓卷起，以致飛散到腔室內的所有地方。
[0019]雖然采取如所述般的集塵及防塵方法，但是由于如此原因，仍然會發生顆粒積存在腔室內的情況。因此，以往需要定期性進行去除所積存的顆粒的作業，為此的維護(maintenance)需要龐大費用。又，在維護中不得不長時間中斷制造作業，因而招致生產效率的低落。
[0020]本發明，乃是為解決上述的課題所開發者，其目的在于提供一種不需要定期性實施顆粒的去除作就能夠幾乎完全去除顆粒的顆粒收集系統及集塵方法。
[0021](用以解決課題的方法)
[0022]為了解決上述課題，本發明第一態樣為一種顆粒收集系統，構成為:
[0023]具備:為用以利用靜電力吸附顆粒的薄片(sheet)狀且柔軟(flexible)的集塵部、用以對該集塵部供給電源以使其產生靜電力的電源部、以及用以計測對應于被吸附在集塵部的顆粒的吸附量而變化的集塵部的靜電容量的靜電容量計測部，其中，集塵部具有第一電極、配設于第一電極近旁的第二電極、以及至少覆蓋第一電極全體的介電質，電源部為對第一及第二電極供給規定的電源電壓者，靜電容量計測部為計測第一及第二電極之間的靜電容量者。
[0024]通過此種構成，從電源部對第一及第二電極供給規定的電源電壓時，會在第一及第二電極產生靜電力，使顆粒被吸附于介電質的表面。此時，顆粒的吸附力可通過調整電源電壓加以控制。
[0025]如調整電源電壓而維持顆粒的吸附力為期望值時，則顆粒隨著時間被吸附在集塵部并逐漸堆積。于是，第一及第二電極之間的靜電容量，會對應于被吸附在集塵部的顆粒的堆積量而變化。此時，由于可利用靜電容量計測部計測并監控(monitoring)第一及第二電極之間的靜電容量，所以當堆積量高于基準值時，則可停止來自電源部的電源電壓的供給，并將被吸附在集塵部的顆粒廢棄于規定的場所。
[0026]本發明的第二態樣構成為:在第一態樣所述的顆粒收集系統中，通過使第一及第二電極水平地橫向排列配置，并以介電質覆蓋此等第一及第二電極全體，而形成集塵部。
[0027]通過此種構成，使顆粒被吸附在覆蓋第一及第二電極全體的介電質的表面。
[0028]本發明的第三態樣構成為:在第一態樣所述的顆粒收集系統中，以介電質覆蓋第一電極全體，并將篩網(mesh)狀的第二電極貼附于該介電質的表面，而形成集塵部。
[0029]通過此種構成，則顆粒通過由第一及第二電極所產生的靜電力所吸附，并且被捕捉到篩網狀的第二電極的網目內。換言之，本發明的顆粒收集系統，由于是按照電性且機械性的方式捕捉顆粒，所以顆粒的捕捉能力甚高。
[0030]本發明的第四態樣構成為:在第二態樣所述的顆粒收集系統中，通過以介電質覆蓋橫向排列的長條狀的第一及第二電極，使集塵部形成為帶狀，并將此集塵部折彎形成為蜂巢(honey comb)狀。
[0031]通過此種構成，則集塵部將成為立體性的形狀，且顆粒的吸附面積擴大。
[0032]本發明的第五態樣構成為:在第一態樣到是在第四態樣的任一項所述的顆粒收集系統中，將集塵部貼附在具有彎曲成波狀的表面的基材的表面全面。
[0033]通過此種構成，則集塵部的表面彎曲成波浪狀，且顆粒的吸附面積擴大。
[0034]本發明的第六態樣構成為:在第二態樣所述的顆粒收集系統中，通過以上述介電質覆蓋橫向排列的長條狀的上述第一及第二電極，使上述集塵部形成為帶狀，并將此集塵部加以折彎為蛇行狀，豎起設置于基材上。
[0035]本發明第七態樣的集塵方法構成為:將第一態樣到第六態樣的任一項所述的顆粒收集系統中所適用的集塵部，鋪滿腔室內的地板部、墻壁部以及天花板部的部分中的未安裝其他構件的部分的全部，并且將電源部及靜電容量計測部配設于腔室外，以進行腔室內的顆粒的集塵。
[0036]通過此種構成，則積存在腔室內的墻壁部或地板部等的顆粒，會被吸附集塵于此等部分上所鋪滿的集塵部。因此，可在空氣從外部導入腔室內時，防止顆粒被吹進的空氣的風壓卷起，以致飛散到腔室內所有地方的情況。然后，監視(monitor)靜電容量計測部，當判斷顆粒超過基準值時，則可關閉(off)電源，并去除在集塵部所附著的顆粒。換言之，由于僅在需要時實施顆粒的去除作業即可，不需要定期性實施維護作業。結果，可謀求維護費用的削減及生產效率的提升。
[0037][發明的效果]
[0038]如上述所詳細說明，根據本發明，可幾乎完全吸附集塵部近旁的顆粒。并且，由于在一邊利用靜電容量計測部監視顆粒的集塵狀態之下，僅在需要時從集塵部去除顆粒即可，所以具有:不需要定期性實施顆粒去除作業，而能相應地謀求維護費用的削減及生產效率的提升的優異的效果。
【附圖說明】
[0039]圖1為涉及本發明的第一實施例的顆粒收集系統的構成圖。
[0040]圖2為以剖面表示集塵部的顆粒收集系統的構成圖。
[0041]圖3為說明顆粒收集系統的功能的剖面圖。
[0042]圖4為表示使用顆粒收集系統的腔室的概略圖。
[0043]圖5為表示集塵部與電源部及與靜電容量計測部之間的連接狀態的概略平面圖。
[0044]圖6為表示涉及本發明的第二實施例的顆粒收集系統的構成圖。
[0045]圖7為說明顆粒