測試分選機及利用此的電子部件測試方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種測試分選機及利用該測試分選機的電子部件測試方法。
【背景技術】
[0002]制造完畢的電子部件(例如，半導體元件)被一種稱為測試分選機(testhandler)的檢查設備所測試。測試分選機在對電子部件執行測試之后，可根據測試結果而將電子部件按等級進行分類。
[0003]圖1為表示普通的測試分選機10的圖。如圖所示，測試分選機10可包括:裝載部11，用于使曾裝載于客戶托盤(customer tray)的電子部件在裝載位置被裝載到測試托盤(test tray);均熱室12，將電子部件預熱或預冷而使其適應多樣的環境條件；測試支持部13，支持電子部件被測試機20所測試；退均熱室14，對測試完畢的電子部件進行去熱或去冷而使其還原到常溫；卸載部15，用于使測試完畢的電子部件在卸載位置處從測試托盤被卸載到客戶托盤。在這樣的卸載過程中電子部件可按等級得到分類。
[0004]測試支持部13的兩側分別配備有測試等待部13a和測試輸出部13c，且這些測試等待部13a與測試輸出部13c之間可配備測試站13b。測試站13b中測試托盤緊貼向對接在后方的測試機20側，從而使裝載于測試托盤的電子部件電連接于測試機20的插座而實現測試。
[0005]在此，如圖所示，電子部件可沿路徑a移動，測試托盤可沿路徑b移動。具體而言，裝載有未測試狀態的電子部件的客戶托盤被作業人員投入到測試分選機10的裝載部11，裝載于客戶托盤的電子部件可被裝載于在測試分選機10的內部循環的測試托盤。此后，隨著測試托盤的移動，裝載于所述測試托盤的電子部件可在測試支持部13的測試位置處被測試機20所測試。測試完畢的電子部件可在卸載部15的卸載位置被卸載于客戶托盤之后得到排出。測試托盤可再向裝載部11移動以裝載新的未測試電子部件。這樣的構造是因為在電子部件被裝載于客戶托盤的狀態下不宜進行測試才提出的。即，為了裝載效率，客戶托盤中密集裝載有盡可能多的數量的電子部件，此時電子部件之間的間距將會變得不適于測試條件。因此，另行運用一種可將電子部件裝載為適于測試條件(適宜的電子部件之間的間距)的測試托盤。
[0006]另外，電子部件是按預定的物量(批量；L0T，以下稱為“批量”)得到管理和測試，這是源于生產線的區別、需求者的區別等必要性。例如，如果相應于特定批量的電子部件的不良率高，則易于跟蹤生產出相應于特定批量的電子部件的生產線，并容易將相同種類的電子部件分批而供應給不同的需求者。因此，電子部件按批量得到區分而被供應到測試分選機，如果相應于有關批量的電子部件的測試結束，則將相應于下一批量的電子部件供應給測試分選機。
[0007]另外，在對一個批量進行測試時，可在對相應于有關批量的所有電子部件先進行一次測試之后根據其結果而分類為良品和不良嫌疑品。接著，可對被分類為不良嫌疑品的電子部件再進行一次測試(重測；reteSt)。這是因為，即使有一部分電子部件在最初一次的測試中沒有滿足良品的標準，其原因也可能不是因為電子部件本身的不良。例如，對于并非本身不良的電子產品而言，如果沒有與測試機的插座適當地結合，則不可能獲得良好的測試結果，進而可能無法被分類為良品。通常，將最初一次測試的物量稱為初測(PRME)批量，將需要再進行一次測試的物量被稱為重測(RETEST)批量。
[0008]對于現有技術中的測試分選機而言，在針對相應于初測批量的電子部件的測試全部完畢之后，根據測試結果的良好與否而將電子部件進行分類，然后才執行針對重測批量的測試支持。根據這樣的測試支持方法，如圖2所示，在從裝載有初測批量的末尾電子部件的測試托盤脫離測試支持部的測試位置Tp而在卸載部的卸載位置Up得到卸載之后，直到裝載有重測批量的最初電子部件的測試托盤從裝載部的裝載位置Lp來到測試位置Tp的時間點(a+b)為止，測試機擁有重測等待時間(測試機的空轉時間)。從裝載方面看，即使在相應于初測批量的電子部件全部得到裝載之后，也直到相應于初測批量的電子部件全部測試完畢以及卸載完畢而對相應于重測批量的電子部件進行裝載之時為止，并不存在新近裝載的電子部件，因此將會出現裝載空白時間。這樣的測試機的重測等待時間和裝載空白時間歸根結底使一個批量完成測試所需的時間增加，并可能使測試機的運行效率降低。
[0009]為了解決這樣的技術問題，嘗試過如下的方案:即使在針對初測批量的測試完全結束之前，如果滿足特定起始條件，也預先裝載測試完畢的初測批量中被分類為重測批量的電子部件。然而，在針對初測批量的測試完全結束之前難以預先預測相應于重測批量的電子部件的數量，且即使預先預測重測批量而進行裝載，也難以盡善盡美地消除測試機的重測等待時間和裝載空白時間。
[0010]另外，如圖3所示，豎直復合層結構的測試分選機10被廣泛使用。S卩，使一對測試托盤I相對于對方布置于上部和下部，并使這些一對測試托盤I同時進入到測試站13b而一次性地對眾多數量的電子部件進行測試。
[0011]具體而言，一對測試托盤I分別可通過①和②的過程而依次從均熱室12被移送到測試支持部13的測試等待部13a。然后，一對測試托盤I經過③的過程而被移送到測試站13b，并可實現對電子部件的測試。如果測試完畢，則一對測試托盤I通過④的過程而被移送到測試輸出部13c，然后可分別通過⑤和⑥的過程而依次被移送到退均熱室14。
[0012]其中，可能存在如下問題:同時執行測試的一對測試托盤I從均熱室12被移送到測試支持部13的順序與所述一對測試托盤I從測試支持部13被移送到退均熱室14的順序可能顛倒。具體而言，先行裝載完畢的測試托盤I可通過①的過程而先被移送到測試等待部13a而布置于測試等待部13a的上部，相反，隨后裝載完畢的測試托盤I可通過②的過程而隨后被移送到測試等待部13a而布置于測試等待部13a的下部。然而，在卸載過程中，與位于上部的測試托盤I相比，位于下部的測試托盤I先被移送到退均熱室14(⑤先于⑥而執行)，結果可能使位于下部的測試托盤I中裝載的電子部件先得到卸載。
[0013]如圖4所示，位于互不相同的批量之間的交界而分別裝載有前批量(precedingLOT)和后批量(succeeding LOT)的電子部件的測試托盤la、測試托盤Ib (例如，前行的A批量(前批量)的末尾測試托盤Ia與后續的B批量(后批量)的首個測試托盤Ib)可能會以順序顛倒的狀態被移送到卸載部。
[0014]如上所述，電子部件不僅以批量單位生產，而且需求者也根據批量而不同，如果出現如上所述的批量的順序顛倒的情況，則可能在多樣的方面導致問題。
[0015]在現有技術中，雖然通過將空測試托盤插入到前批量與后批量之間而區分兩個批量，但其存在降低測試效率的問題，而雖然也嘗試過在均熱室或退均熱室中強行變更位于兩個批量的交界的一對測試托盤之間的位置，但由于需要專門的機械構造，因此導致空間限制以及成本增加等問題。
[0016][現有技術文獻]
[0017]專利文獻1:韓國授權專利公報第10-0792488號
[0018]專利文獻2:韓國授權專利公報第10-0894082號
【發明內容】
[0019]以下的實施例的目的在于提供一種在對相應于多個批量的電子部件進行測試時消除測試機的重測等待時間和裝載部的裝載空白時間而提高電子部件的測試效率的測試分選機及電子部件測試方法。
[0020]此外，本發明的目的還在于提供一種采用可提高測試效率的豎直復合層結構的同時又可以避免空間限制以及成本增加的問題并可防止相應于不同批量的電子部件的卸載順序顛倒的測試分選機及電子部件測試方法。
[0021]根據一個實施例的一種測試分選機，用于使電子部件在包含裝載位置、測試位置以及卸載位置的預定路徑上依次循環并得到測試，從而根據測試結果將所述電子部件按等級進行分類，其中，所述測試分選機包括:裝載部，用于裝載所述電子部件；測試支持部，用于使裝載完畢的所述電子部件得到測試；卸載部，用于使測試完畢的所述電子部件按等級得到分類而被卸載；以及控制部，用于控制所述裝載部、所述測試支持部以及所述卸載部，所述控制部可在先行測試的相應于第一批量的電子部件被裝載完畢的情況下，使晚于所述第一批量而得到測試的相應于第二批量的電子部件中的至少一部分得到裝載。
[0022]并且，所述卸載部可包括:良品收容部，用于收容相應于所述第一批量的電子部件中的良品或相應于所述第二批量的電子部件中的良品；第一重測收容部，用于收容相應于所述第一批量的電子部件中的需要重新測試的第一重測對象品；以及第二重測收容部，用于收容相應于所述第二批量的電子部件中的需要重新測試的第二重測對象品。
[0023]此外，所述控制部可在相應于所述第一批量的電子部件的卸載完畢的情況下，使相應于所述第二批量的電子部件的裝載中斷，并使收容于所述第一重測收容部的所述第一重測對象品得到裝載，而在所述第一重測對象品的裝載完畢的情況下，可以使相應于所述第二批量的電子部件中的尚未被裝載的剩余部分得到裝載。
[0024]此外，所述控制部可在相應于所述第一批量的電子部件被卸載完畢的情況下，使收容于所述良品收容部中的相應于所述第一批量的電子部件中的良品得到排出，并使相應于所述第二批量的電子部件中的良品被收容于所述良品收容部。
[0025]此外，所述卸載部還可以包括:重測良品收容部，用于收容已重新測試的所述第一重測對象品中的良品；重測不良品收容部，用于收容所述第一重測對象品中的不良品。
[0026]此外，所述控制部可在所述第一重測對象品的卸載完畢時，使收容于所述重測良品收容部中的所述第一重測對象品中的良品和收容于所述重測不良品收容部中的所述第一重測對象品中的不良品得到排出，并可在所述第二重測對象品的重新測試完畢時，使所述第二重測對象品中的良品被收容于所述重測良品收容部，并使所述第二重測對象品中的不良品被收容于所述重測不良品收容部。
[0027]根據另一實施例的一種電子部件測試方法，利用測試分選機，該測試分選機用于使電子部件在包含裝載位置、測試位置以及卸載位置的預定路徑上依次循環并得到測試，從而根據測試結果將所述電子部件按等級進行分類，其中，所述方法可包括如下步驟:將先行測試的相應于第一批量的電子部件進行裝載；在相應于所述第一批量的電子部件的裝載完畢的情況下，將晚于所述第一批量而得到測試的相應于第二批量的電子部件中的至少一部分進行裝載；將測試完畢的相應于所述第一批量的電子部件分類為良品和重測對象品而完成卸載；將測試完畢的相應于所述第二批量的電子部件中的至少一部分分類為良品和重測對象品而進行卸載；在相應于所述第一批量的電子部件的卸載完畢時，中斷相應于所述第二批量的電子部件的裝載，并將相應于所述第一批量的電子部