涂布液泵單元以及涂布裝置的制造方法
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及用于供給藥液等涂布液的涂布液栗單元以及在基板上涂布涂布液的涂布裝置。
【背景技術】
[0002]在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用在玻璃基板上涂布了抗蝕劑液(以下稱之為涂布液)而成的基板(稱之為涂布基板)。該涂布基板通過均勻地涂布涂布液的涂布裝置而形成。也就是說，該涂布裝置中設置有涂布單元，該涂布單元具有噴出涂布液的接口部，該涂布裝置一邊將涂布液從形成于接口部的單向延伸的狹縫噴嘴噴出，一邊使接口部在基板上按照規定的方向移動，從而形成涂布基板，在該涂布基板上形成了具有均勻厚度的抗蝕劑液膜。
[0003]在這樣的涂布裝置中，為了向接口部供給一定量的涂布液，例如，如下述專利文獻I所述那樣，具有涂布液栗單元100 (活塞栗)。如圖6所示，該涂布液栗單元100具有栗主體10a以及產生栗主體10a的驅動力的電動機部101，栗主體10a和電動機部101經由滾珠絲杠驅動部102而連結。并且，通過對電動機部101進行驅動控制，從栗主體10a向涂布單元供給一定量的涂布液。具體而言，使電動機部101進行工作而降低栗主體10a的柱塞103，由此，將形成涂布膜所需要的量的涂布液從流入口 106取入到栗主體10a內。接著，使電動機部101進行工作從而推起柱塞103，由此，使蓄留在栗主體10a內的涂布液從流出口 104排出并供給到涂布單元的接口部，通過一邊以規定的速度使接口部移動一邊使涂布液從接口部噴出從而在基板上形成涂布膜。也就是說，通過對來自栗主體10a的涂布液的供給量進行控制，而在基板上高精度地形成具有規定的膜厚的涂布膜。
[0004]近年來，對涂布膜的薄膜化的需求不斷高漲。要想形成較薄的涂布膜必須使栗主體10a以低速進行工作，為此需要使電動機部101以低轉速進行工作。然而，當電動機部101的轉速變慢時旋轉會變得不穩定，在齒槽效應(Cogging)等的影響下涂布液的供給無法穩定。其結果是，在所形成的涂布膜中會產生橫向不勻，該橫向不勻是較厚部分和較薄部分重復形成而產生的。因此，通過對電動機部101安裝減速器105，能夠使電動機部101以穩定的轉速進行工作并使栗主體10a的柱塞103以低速移動，因此，能夠穩定地形成薄膜狀的涂布膜。
[0005]專利文獻1:日本特開2011-159819號公報
[0006]然而，伴隨涂布膜的薄膜化需求逐漸高漲以及液晶顯示器的高分辨率和高色彩化，以往可被忽視的橫向不勻也被視為問題。也就是說，僅憑如上述涂布裝置那樣、通過安裝減速器來進行電動機部101的轉速調整，很難形成完全不存在橫向不勻的薄膜。
【發明內容】
[0007]本發明是鑒于上述問題點而完成的，其目的在于提供一種涂布液栗單元以及涂布裝置，即使是在基板上形成薄膜的情況下也能夠抑制橫向不勻的產生。
[0008]為了解決上述課題，在本發明的涂布液栗單元以及涂布裝置中，涂布液栗單元對涂布裝置的涂布單元供給涂布液，所述涂布裝置使基板和所述涂布單元相對移動而在基板上形成涂布膜，所述涂布液栗單元的特征在于，在所述涂布液栗單元中，供給涂布液的栗主體、對該栗主體傳遞驅動力的滾珠絲杠驅動部以及產生驅動力的電動機部按順序配置在同一軸上，在所述電動機部與所述滾珠絲杠驅動部之間設置有行星輥減速器。
[0009]根據上述涂布液栗單元以及涂布裝置，由于使用了行星輥減速器作為減速器，因此能夠抑制形成于涂布膜上的橫向不勻的產生。這里的行星輥減速器是在行星齒輪類型的減速器中，使用輥取代太陽齒輪(太陽輪)、行星齒輪(行星輪)以及內齒輪(內輪)，并且經由各輥之間的油膜來傳遞動力的牽引式的減速器。也就是說，在現有的涂布液栗單元中，安裝有用于形成薄膜的減速器，減速器經由多個齒輪向滾珠絲杠驅動部傳遞電動機部的動力，因此該齒輪的齒隙游移和嚙合的影響較大從而形成微小的橫向不勻的可能性較高，但通過使用行星輥減速器，能夠不經由齒輪而將來自電動機部的動力傳遞到涂布液栗單元，因此能夠抑制以齒輪的齒隙游移和齒輪的嚙合等振動為主要原因而產生的橫向不勻。因此，即使是在基板上形成薄膜的情況下也能夠抑制橫向不勻的產生。
[0010]另外，優選所述電動機部和所述行星輥減速器經由聯軸器而連結。
[0011]根據該結構，能夠進一步抑制輕微的橫向不勻。也就是說，在通常的減速器中，由于電動機部和減速器直接連結，因此組裝時的偏心、偏角的影響可能會導致橫向不勻。因此，通過經由聯軸器而連結電動機部和行星輥減速器，能夠抑制組裝時的偏心、偏角的影響，從而能夠抑制橫向不勻的產生。
[0012]另外，所述行星輥減速器也可以構成為:設置有供油口和排油口，當所述行星輥減速器的潤滑油余量小于規定的值時，從供油口供給潤滑油。
[0013]根據該結構，能夠使各輥之間的油膜始終保持穩定的狀態，能夠經由油膜穩定地傳遞動力。
[0014]另外，也可以是如下結構:所述行星輥減速器的太陽輥和行星輥在相互接觸的外周面上具有多孔質部，在該多孔質部中浸漬有潤滑油。
[0015]根據該結構，由于能夠減少對行星輥減速器進行供油的頻率，因此，即使不進行潤滑油的補充也能夠長期運轉。
[0016]根據本發明的涂布液栗單元以及涂布裝置，即使是在基板上形成薄膜的情況下，也能夠抑制橫向不勻的產生。
【附圖說明】
[0017]圖1是示出本發明的涂布裝置(涂布裝置主體)的外觀的概略立體圖。
[0018]圖2是上述涂布裝置的概略結構圖。
[0019]圖3是示出本發明的涂布液栗單元的概略圖。
[0020]圖4是行星輥減速器的概略剖視圖。
[0021]圖5是示出行星輥減速器的供油系統的圖。
[0022]圖6是示出現有的涂布液栗單元的概略圖。
[0023]標號說明
[0024]1:涂布裝置主體；2:基板；5:涂布單元；8:涂布液栗單元；9:行星輥減速器；10:供油系統；10a:預備容器；81:栗主體；82:滾珠絲杠驅動部；83:電動機部；92:太陽輥；93:彳丁星車昆；94:內車昆;C1、C2:聯軸器。
【具體實施方式】
[0025]下面，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。
[0026]圖1是示出本發明的一個實施方式的涂布裝置(涂布裝置主體I)的立體圖。圖2是概略性地示出涂布裝置的涂布液路徑的圖。
[0027]如圖1和圖2所示，涂布裝置在所供給的薄板狀的基板2上涂布藥液或抗蝕劑液等涂布液。該涂布裝置具有涂布裝置主體I和涂布液栗單元8 (參考圖2)，所述涂布裝置主體I具有基座3、用于載置基板2的工作臺4、以及構成為能夠相對于該工作臺4按照一定方向移動的涂布單元5，所述涂布液栗單元8向涂布裝置主體I的涂布單元5供給涂布液。
[0028]另外，在以下說明中，將涂布單元5移動的方向設為X軸方向、將與上述X軸方向在水平面上正交的方向設為Y軸方向、將與X軸和Y軸方向這兩個方向正交的方向設為Z軸方向從而進行說明。
[0029]基座3由石材等形成，該基座3對各結構部件例如工作臺4和涂布單元5等進行支承。
[0030]工作臺4將所搬入的基板2載置在其表面上而進行保持。具體而言，在工作臺4上形成有在其表面開口的多個抽吸孔(未圖示)，這些抽吸孔與真空栗(未圖示)連通并連接。并且，在基板2載置于工作臺4的表面上的狀態下使真空栗進行工作，從而在抽吸孔中產生抽吸力，基板2被抽吸到工作臺4的表面側而被吸附保持。另外，在工作臺4上設置有使基板2進行升降動作的基板升降機構。也就是說，在工作臺4的表面上形成有多個銷孔(未圖示)，在該銷孔中埋設有能夠在Z軸方向上進行升降動作的頂升銷。由此，通過在將基板2載置于工作臺4的表面上的狀態下使頂升銷上升，從而能夠以頂升銷的前端部分與基板2抵接的狀態將基板2保持在規定的高度位置。
[0031]涂布單元5用于對載置在工作臺4上的基板2涂布涂布液，并且該涂布單元5具有用于涂布涂布液的接口部51以及設置于該接口部51的兩端部分的單元支承部52。
[0032]所述單元支承部52用于將接口部51支承為能夠進行升降動作并且使該接口部51在X軸方向上移動，所述單元支承部52具有行進裝置53以及支承在該行進裝置53上的升降裝置54。
[0033]升降裝置54使接口部51進行升降動作，并且該升降裝置54具有沿Z軸方向延伸的軌道54a