風(fēng)機化學(xué)過濾單元的制作方法

本實用新型涉及到風(fēng)機過濾單元，尤其是風(fēng)機化學(xué)過濾單元。

背景技術(shù)：
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隨著半導(dǎo)體、液晶面板、硬盤等電子設(shè)備行業(yè)產(chǎn)品加工尺寸的細微化，對生產(chǎn)環(huán)境清潔度的要求進一步嚴(yán)格。除了一直以來已被關(guān)注的塵埃微粒污染之外，AMC（即分子狀物質(zhì)污染）最近已被 IC 生產(chǎn)廠商高度關(guān)注，更被認(rèn)為是某些加工工序或工序間晶片傳送及存放過程中影響成品率的重要因素?；瘜W(xué)污染AMC劃分成：分子酸（MA）、分子堿（MB）、分子凝縮劑（MC）、分子添加劑（MD）、分子金屬（MM）等種類。

當(dāng)今的過濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降低到近乎為零，在芯片上的線寬小到0.5μm時，人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染成了影響成品率的主要危害，于是化學(xué)過濾器被芯片廠家普遍應(yīng)用。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
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針對以上技術(shù)問題，本實用新型設(shè)計了風(fēng)機化學(xué)過濾單元，包括箱體，箱體的上端面設(shè)置有進風(fēng)口，下端面設(shè)置有出風(fēng)口，在箱體上端面上位于進風(fēng)口的一側(cè)設(shè)置有控制盒，所述進風(fēng)口處設(shè)置有葉輪，所述葉輪由軸向連接在葉輪下方的電機驅(qū)動，所述進風(fēng)口上方設(shè)有安裝在箱體上的引流板，所述引流板上層疊式安裝第一初效過濾器、第二初效過濾器和化學(xué)過濾器，所述化學(xué)過濾器設(shè)置在第一初效過濾器和第二初效過濾器之間；所述出風(fēng)口的下端安裝有連接在箱體底部的高效過濾器。

進一步地，所述化學(xué)過濾器為活性炭過濾器，且第一初效過濾器、第二初效過濾器和化學(xué)過濾器的尺寸相等。通過對活性碳進行有針對性的化學(xué)處理，能夠增強對有特定污染物的吸附能力；第一初效過濾器和第二初效過濾器分別設(shè)置在化學(xué)過濾器的上方和下方，能夠防止空氣中大顆粒塵埃粒子堵住化學(xué)過濾器的進風(fēng)端和化學(xué)過濾器的出風(fēng)端產(chǎn)生顆粒。

進一步地，所述葉輪為葉片后傾式的三維立體形狀，符合物體在離心力作用下的運動方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，能量損失小。

進一步地，所述風(fēng)機為直流電機，由于直流電機效率很高有助于葉輪克服由第一初效過濾器、第二初效過濾器和化學(xué)過濾器形成的高阻力。

更進一步地，所述引流板具有弧形開口。

再進一步的，所述箱體上表面安裝有兩個對稱設(shè)置的把手，便于安裝和搬運整個風(fēng)機過濾單元。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益之處是：能夠有效的過濾空氣中化學(xué)污染物；通過葉片為后傾式的三維立體狀葉輪進行工作時，大曲率半徑的葉片能夠符合物體在離心力作用下的運動方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，具有高效率、高靜壓、低能耗等特點，確保了本風(fēng)機過濾單元在使用壽命內(nèi)所產(chǎn)生的風(fēng)速和風(fēng)壓。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型左視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實用新型俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、箱體；2、進風(fēng)口；3、出風(fēng)口；4、控制盒；5、葉輪；6、電機；7、引流板；8、第一初效過濾器；9、第二初效過濾器；10、化學(xué)過濾器；11、高效過濾器；12、把手。

具體實施方式：

如圖1、圖2和圖3所示的風(fēng)機化學(xué)過濾單元，包括箱體1，箱體1的上端面設(shè)置有進風(fēng)口2，下端面設(shè)置有出風(fēng)口3，在箱體1上端面上位于進風(fēng)口2的一側(cè)設(shè)置有控制盒4，而且在箱體1上表面安裝有兩個對稱設(shè)置的把手12，便于安裝和搬運該風(fēng)機化學(xué)過濾單元；所述進風(fēng)口2處設(shè)置有葉輪5，所述葉輪5由軸向連接在葉輪5下方的電機（6）驅(qū)動，所述進風(fēng)口2上方設(shè)有安裝在箱體1上的引流板7，所述引流板7具有弧形開口，可以充分的將空氣引入風(fēng)機化學(xué)過濾單元中進行過濾；所述引流板7上層疊式安裝第一初效過濾器8、第二初效過濾器9和化學(xué)過濾器10，所述化學(xué)過濾器10設(shè)置在第一初效過濾器8和第二初效過濾器9之間；所述出風(fēng)口3的下端安裝有連接在箱體1底部的高效過濾器11，所述化學(xué)過濾器10為活性炭過濾器且第一初效過濾器8、第二初效過濾器9和化學(xué)過濾器10的尺寸相等。顆?；钚蕴季哂袕V譜吸附性，通過對活性碳進行有針對性的化學(xué)處理，能夠增強對有特定污染物的吸附能力；第一初效過濾器8和第二初效過濾器9分別設(shè)置在化學(xué)過濾器10的上方和下方，能夠防止空氣中大顆粒塵埃粒子堵住化學(xué)過濾器10的進風(fēng)端和化學(xué)過濾器10的出風(fēng)端產(chǎn)生顆粒而影響過濾效果。

另外，所述葉輪5為葉片后傾式的三維立體形狀，所述電機6為直流電機。由于第一初效過濾器8、第二初效過濾器9和化學(xué)過濾器10為層疊式所以在過濾空氣過程中阻力較大，而直流電機效率高有助于葉輪5克服阻力；該葉輪5葉片曲率半徑大，呈立體三維形狀，符合物體在離心力作用下的運動方向，空氣在葉片間的流道中逐漸擴大，可比較平穩(wěn)的增壓和加速，能量損失小，因此具有高效率、高靜壓、低能耗等特點。

需要強調(diào)的是：以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。