水洗式尾氣處理機的制作方法

本實用新型屬于工業生產的尾氣處理技術領域，特別是涉及一種水洗式尾氣處理機。

背景技術：

在半導體工業生產中，需要用到許多的化學氣體，如氯氣、氨氣、硅烷及硼烷等有毒有害氣體，根據環保相關法律法規，這些氣體在未經處理前是不允許直接排放到大氣中，所以在工藝設備后必須添加殘余尾氣處理的裝置。針對如氯氣、三氟甲烷等干蝕刻設備所排尾氣，通常采用的是水洗式尾氣處理機，制程廢氣通過管道連接到水洗式尾氣處理機的進氣口，通過由水泵加壓噴嘴形成的水簾后再通過濕潤的拉西環，最后通過出氣口排放到廠務端進行最終處理。

傳統的水洗式尾氣處理機只有1個進氣口和1個出氣口，需要多臺水洗式尾氣處理機來搭配使用，造成費用的提高以及占用廠區面積。另外設備需要24小時運轉，導致水泵容易損壞，損壞后需要重新購買水泵更換，用時較長，同時影響設備運行，對工廠生產產生影響。

技術實現要素：

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有的水洗式尾氣處理機只有1個進氣口和1個出氣口，需要多臺水洗式尾氣處理機來搭配使用，造成費用的提高以及占用廠區面積的缺陷，提供一種水洗式尾氣處理機。

本實用新型解決上述技術問題所采用的技術方案為：

提供一種水洗式尾氣處理機，包括過濾箱、循環水箱及第一泵，所述過濾箱包括一干燥腔室、多個制程腔室及設置在每一所述制程腔室上部的噴嘴，所述干燥腔室和多個制程腔室底部相通，所述制程腔室的頂部設置有進氣口，所述干燥腔室的頂部設置有出氣口，所述循環水箱具有入水口與第一出水口，所述第一泵的進水口通過第一進水管路與循環水箱的第一出水口連接，所述第一泵的出水口通過出水管路與所述噴嘴連接。

進一步地，所述制程腔室的底部設置拉西環。

進一步地，所述過濾箱包括一個所述干燥腔室和三個所述制程腔室，一個所述干燥腔室和三個所述制程腔室組合成方形的過濾箱。

進一步地，所述水洗式尾氣處理機還包括箱體，所述箱體具有上腔室及下腔室，所述循環水箱及第一泵設置在所述下腔室內。

進一步地，所述下腔室的頂部水平突出于上腔室的部分形成一平臺，所述過濾箱設置在所述平臺上，所述循環水箱位于所述過濾箱的下方，所述循環水箱的頂部設置有與所述制程腔室的底部連通的回流通道。

進一步地，所述循環水箱的入水口上連接有一補水管，所述補水管的上端穿出所述箱體的頂部，所述補水管上設置有補水電磁閥。

進一步地，所述出水管路上設置有噴淋電磁閥及第一手動閥，所述第一手動閥位于所述第一泵的出水口與噴淋電磁閥之間。

進一步地，所述水洗式尾氣處理機還包括排廢管路，所述循環水箱的底部設置有排水口，所述排廢管路的一端通過排水手動閥與所述排水口連接，另一端穿出所述箱體外側，所述排廢管路與出水管路通過排水支管連接，所述排水支管的一端連接在所述噴淋電磁閥及第一手動閥之間，另一端連接在所述排廢管路上，所述排水支管上設置有排水電磁閥。

進一步地，所述箱體的上腔室內設置有電氣箱，所述電氣箱的外側設置有控制面板。

進一步地，所述水洗式尾氣處理機還包括第二泵，所述循環水箱還具有第二出水口，所述第二泵的進水口通過第二進水管路與循環水箱的第二出水口連接，所述第二泵的出水口通過出水管路與所述噴嘴連接。

進一步地，所述出水管路上設置有第二手動閥，所述第二手動閥位于所述第二泵的出水口與噴淋電磁閥之間。

根據本實用新型的水洗式尾氣處理機，過濾箱包括了一個干燥腔室及多個制程腔室，多個制程腔室中分別設置噴嘴，制程廢氣通過多個制程腔室頂部的進氣口分別進入多個制程腔室內，第一泵從循環水箱中取水，并經由出水管路到達制程腔室上部的噴嘴，水通過噴嘴形成水簾，對進入制程腔室中的尾氣進行水洗處理，水洗處理后的尾氣由制程腔室的底部向上進入干燥腔室，經干燥腔室干燥處理后，由干燥腔室的頂部的出氣口排出后，經由外部管道排放到廠務端進行最終處理。可見，該水洗式尾氣處理機，多個制程腔室的進氣口可接多個尾氣排放設備，利用一臺該水洗式尾氣處理機可以實現多個尾氣源的處理，增加了尾氣處理能力，可以降低處理費用以及占用的廠區面積。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例提供的水洗式尾氣處理機的立體圖；

圖2是本實用新型一實施例提供的水洗式尾氣處理機的內部結構圖；

圖3是本實用新型一實施例提供的水洗式尾氣處理機的管路、電氣連接示意圖。

說明書中的附圖標記如下：

1、過濾箱；11、干燥腔室；111、出氣口；12、制程腔室；121、進氣口；13、噴嘴；2、循環水箱；21、入水口；22、第一出水口；23、第二出水口；24、回流通道；25、補水管；26、排水口；3、第一泵；4、第二泵；5、箱體；51、上腔室；52、下腔室；53、平臺；6、第一進水管路；7、出水管路；8、拉西環；9、第二進水管路；10、排廢管路；20、排水支管；30、電氣箱；30、控制面板；300、控制面板；301、可編程控制器；302、顯示器；303、靜壓表；304、指示燈；305、第一泵手動/自動切換按鈕；306、第二泵手動/自動切換按鈕。

具體實施方式

為了使本實用新型所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步的詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1至圖3所示，本實用新型一實施例提供的水洗式尾氣處理機，包括過濾箱1、循環水箱2、第一泵3及第二泵4。

本實施例中，第一泵3及第二泵4可以是磁力泵。例如，第一泵3及第二泵4為兩臺同型號的0.5KW的耐腐蝕磁力泵。以便于1臺磁力泵損害后能立即切換到另1臺磁力泵，達到不停止運行的目的。

如圖1及圖2所示，所述過濾箱1包括一干燥腔室11、多個制程腔室12及設置在每一所述制程腔室12上部的噴嘴13，所述干燥腔室11和多個制程腔室12底部相通，所述制程腔室12的頂部設置有進氣口121，所述干燥腔室11的頂部設置有出氣口111。

如圖1及圖2所示，本實施例中，所述過濾箱1包括一個所述干燥腔室11和三個所述制程腔室12，一個所述干燥腔室11和三個所述制程腔室12組合成方形的過濾箱1。

當然，在其它實施例中，制程腔室12的數量也可以根據實際需要設定，例如兩個或四個等。

如圖1及圖2所示，本實施例中，所述水洗式尾氣處理機還包括箱體5，所述箱體5具有上腔室51及下腔室52，所述循環水箱2、第一泵3及第二泵4設置在所述下腔室51內。所述下腔室52的頂部水平突出于上腔室51的部分形成一平臺53，所述過濾箱1設置在所述平臺53上，所述循環水箱2位于所述過濾箱1的下方。如圖1所示，所述循環水箱2的頂部設置有與所述制程腔室12的底部連通的回流通道24。通過該回流通道24，使得循環水箱2能夠接收從制程腔室12流下的水，形成水循環，以減少用水量。

本實施例中，如圖1所示，所述制程腔室的底部設置拉西環8，用于增大水氣接觸面積，增強尾氣處理能力。

如圖1至圖3所示，所述循環水箱2具有入水口21、第一出水口22及第二出水口23，所述第一泵2的進水口通過第一進水管路6與循環水箱2的第一出水口22連接，所述第一泵3的出水口通過出水管路7與所述噴嘴13連接。所述第二泵4的進水口通過第二進水管路9與循環水箱的第二出水口23連接，所述第二泵4的出水口通過出水管路7與所述噴嘴13連接。

本實施例中，如圖1至圖3所示，所述循環水箱2的入水口21上連接有一補水管25，所述補水管25的上端穿出所述箱體5的頂部，所述補水管25上設置有補水電磁閥AV1。

本實施例中，如圖1至圖3所示，所述出水管路7上設置有噴淋電磁閥AV2、第一手動閥MV1及第二手動閥MV2，所述第一手動閥MV1位于所述第一泵3的出水口與噴淋電磁閥AV2之間，所述第二手動閥MV2位于所述第二泵4的出水口與噴淋電磁閥AV2之間。

本實施例中，如圖1至圖3所示，所述水洗式尾氣處理機還包括排廢管路10，所述循環水箱2的底部設置有排水口26，所述排廢管路10的一端通過排水手動閥MV3與所述排水口26連接，另一端穿出所述箱體5外側，所述排廢管路10與出水管路7通過排水支管20連接，所述排水支管20的一端連接在所述噴淋電磁閥AV2及第一手動閥MV1之間，另一端連接在所述排廢管路10上，所述排水支管20上設置有排水電磁閥AV3。

如圖2及圖3所示，所述箱體5的上腔室51內設置有電氣箱30，所述電氣箱30的外側設置有控制面板300。控制面板300用于監視和控制該水洗式尾氣處理機的運行。

本實施例中，電氣箱30內設置有PLC(可編程控制器)301，控制面板30上可集成有GP(觸摸屏)302、靜壓表303、指示燈304、第一泵手動/自動切換按鈕305及第二泵手動/自動切換按鈕306等。另外，所述水洗式尾氣處理機的底部還設置有用于檢測水洗式尾氣處理機漏液情況的底盤漏液傳感器及設備漏液傳感器(圖中未示出)。PLC301接收和輸出信號，與觸摸屏302連接，顯示運行狀態，同時配合第一泵手動/自動切換按鈕305及第二泵手動/自動切換按鈕306來控制PLC輸出信號給繼電器、接觸器和電磁閥等器件，來控制指示燈304、蜂鳴器、第一泵3、第二泵4、補水電磁閥AV1、噴淋電磁閥AV2及排水電磁閥AV3等配件的運行，實現使用過程中自動補水、噴淋及排廢等工作。實現了所有功能自動運行，增加了操作的便利性。

本實施例中，第一泵3與第二泵4獨立工作，1臺運行，1臺備用，減少了因某一個泵損壞導致的維護時間，增加了設備的穩定性。

參見圖3，該水洗式尾氣處理機的工作原理如下：

以第一泵3工作，第二泵不工作4為例，補水時，PLC控制補水電磁閥AV1打開，使制程自來水(PCT)通過補水管25進入到循環水箱2，等循環水箱2內的液面達到第一高度時，PLC控制補水電磁閥AV1關閉，補水完成。補水流程可通過手動補水和自動補水兩種方式，通過控制面板30控制。手動補水時，將第一泵手動/自動切換按鈕305打開，PLC檢測循環水箱2中的液面是否低于第一高度，如低于第一高度，則開啟補水電磁閥AV1，開始補水；如高于第一高度，則關閉補水電磁閥AV1。自動補水時，PLC檢測循環水箱2內的液面是否低于第一高度，如低于第一高度，再檢測是否處于排水狀態中，如不在排水狀態時，再檢測底盤和設備漏液傳感器，沒有漏液則打開補水電磁閥AV1，以上狀態不符合時，則關閉補水電磁閥AV1。第二泵4工作，第一泵3不工作時，補水流程與上述流程相同。

以第一泵3工作，第二泵不工作4為例，排水時，PLC控制噴淋電磁閥AV2關閉，打開排水電磁閥AV3，使用第一泵3將循環水箱2中的水排出。等循環水箱2的液面到達第二高度時，PLC控制噴淋電磁閥AV2打開，關閉排水電磁閥AV3，并停止泵(PUMP)運轉。排水流程可通過手動排水和自動排水兩種方式，通過控制面板30控制。手動排水時，將第一泵手動/自動切換按鈕305打開，PLC檢測循環水箱2中的液面是否高于第二高度或者第三高度，如高于第二高度或者第三高度，則開啟排水電磁閥AV3，開始排水；排水一段時間后，當循環水箱2中的液面低于第二高度或者第三高度，則關閉排水電磁閥AV3。自動排水時，PLC檢測是否到達排水時間，如果已經到達排水時間再檢測循環水箱中液面是否高于第二高度或者第三高度，如高于第二高度或者第三高度時，則打開排水電磁閥AV3，以上狀態不符合要求時，則關閉排水電磁閥AV3。在排水過程中，如果檢測到底盤漏液傳感器、設備漏液傳感器報警、泵過流、泵低電流及泵異常等，則關閉排水電磁閥AV3。第二泵4工作，第一泵3不工作時，排水流程與上述流程相同。

上述的第一高度大于第二高度，第二高度大于第三高度，第一高度、第二高度及第三高度根據需要設計。

制程過程中，當使用第一泵3時，開啟第一手動閥MV1，關閉第二手動閥MV2，停止第二泵4的運轉；當使用第二泵4時，開啟第二手動閥MV2，關閉第一手動閥MV1，停止第一泵3的運轉。循環水箱2中的水通過第一泵3或第二泵4的運轉進入到出水管路7中，然后到達過濾箱1中的3個噴嘴13，噴嘴13向下噴出形成水幕，吸收處理制程腔室12中的尾氣，并通過回流通道24流入到循環水箱2中。

以第一泵3工作，第二泵不工作4為例，第一泵3的水循環流程可通過手動循環和自動循環兩種方式，通過控制面板30控制。手動循環時，打開第一泵手動/自動切換按鈕305，PLC檢測設備和底盤漏液傳感器，沒有報警則開啟第一泵3開始循環。如以上狀態不符合要求時，則關閉第一泵3。自動循環時，PLC檢測循環水箱中液面是否高于L或者LL，如果高于L或者LL時，再檢測設備和底盤漏液傳感器，沒有報警則開啟第一泵3，以上條件不符合要求時則關閉第一泵3。在水循環過程中，如果檢測到泵過流、泵低電流及泵異常，則關閉第一泵3。第二泵4的水循環流程與第一泵3相同。

根據本實用新型上述實施例的水洗式尾氣處理機，過濾箱包括了一個干燥腔室及多個制程腔室，多個制程腔室中分別設置噴嘴，制程廢氣通過多個制程腔室頂部的進氣口分別進入多個制程腔室內，第一泵從循環水箱中取水，并經由出水管路到達制程腔室上部的噴嘴，水通過噴嘴形成水簾，對進入制程腔室中的尾氣進行水洗處理，水洗處理后的尾氣由制程腔室的底部向上進入干燥腔室，經干燥腔室干燥處理后，由干燥腔室的頂部的出氣口排出后，經由外部管道排放到廠務端進行最終處理。可見，該水洗式尾氣處理機，多個制程腔室的進氣口可接多個尾氣排放設備，利用一臺該水洗式尾氣處理機可以實現多個尾氣源的處理，增加了尾氣處理能力，可以降低處理費用以及占用的廠區面積。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。