二氧化碳機能水制備系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及水處理領域，尤其涉及一種可循環利用的二氧化碳機能水制備系統。
【背景技術】
[0002]二氧化碳機能水由二氧化碳氣體溶于超純水中而得到。在工業制造中尤其是顯示屏、觸摸屏等電子消費品領域，經常需要清洗玻璃基板，而玻璃基板上通常帶有靜電，二氧化碳機能水中具有碳酸，碳酸可發生電離產生離子，用二氧化碳機能水清洗所述玻璃板，可以中和所述玻璃基板上的靜電。現有技術中，制備二氧化碳機能水，通常是采用獨立的純水拋光系統制得超純水后存儲于超純水存儲罐中，再經過獨立的二氧化碳機能水制備系統制得二氧化碳機能水。
[0003]請參閱圖la，獨立的純水拋光系統通常由純水存儲罐、熱交換器、殺菌裝置、拋光裝置及超濾過濾裝置依次連接而成，制得超純水，存儲于超純水存儲罐中，其中，用作超純水的制備原水的是純水，所述純水由純水制備系統提供，并儲存于所述純水存儲罐中。超純水的電阻率大于18M Ω *cm。請參閱圖1b，獨立的二氧化碳機能水制備系統由超純水存儲罐、溶解裝置及超濾過濾裝置依次連接而成，最終為玻璃基板提供二氧化碳機能水。
[0004]二氧化碳機能水在洗滌了玻璃基板之后還可以作為純水循環利用，由玻璃基板洗滌工序流回純水存儲罐，重新經過獨立的純水拋光系統及獨立的二氧化碳機能水制備系統，然后再次用于玻璃基板的洗滌。然而，當二氧化碳機能水循環的次數和/或水量多時，二氧化碳及其它雜質越來越多，容易致使二氧化碳含量不合格，雜質超標，從而導致水質下降，水質下降后不能再作為純水直接流回純水拋光系統的純水存儲罐中，而是要排放掉或者流回到純水制備系統中重新處理，若排放掉，則會浪費大量的水資源，并導致成本大幅提高;若流回到純水制備系統重新處理，則使純水制備系統的處理量大大增加，而純水制備系統包括一系列儀器設備，這會大幅增加設備成本。
【發明內容】
[0005]本發明所要解決的技術問題在于，提供一種二氧化碳機能水制備系統，所述二氧化碳機能水制備系統可避免水資源浪費，并降低成本。
[0006]為了解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案:
[0007]本發明提供一種二氧化碳機能水制備系統，所述二氧化碳機能水應用于工業制造系統，所述二氧化碳機能水制備系統包括純水拋光系統、溶解裝置、超濾過濾裝置及脫氣裝置，所述溶解裝置連接于所述純水拋光系統與所述超濾過濾裝置之間，所述超濾過濾裝置通過管道與所述工業制造系統連接，所述脫氣裝置連接于所述純水拋光系統與所述工業制造系統之間，所述工業制造系統用過的水經所述脫氣裝置進行脫氣處理后流回所述純水拋光系統。
[0008]其中，所述純水拋光系統包括依次連接的純水存儲罐、殺菌裝置及拋光裝置，所述脫氣裝置連接于所述純水存儲罐與所述工業制造系統之間。
[0009]其中，所述純水拋光系統還包括控溫裝置，所述控溫裝置連接于所述純水存儲罐及所述殺菌裝置之間。
[0010]其中，所述純水拋光系統還包括輔助超濾過濾裝置，所述輔助超濾過濾裝置連接于所述溶解裝置與所述拋光裝置之間。
[0011]其中，所述純水拋光系統還包括預處理裝置，所述預處理裝置連接于所述純水存儲罐與所述控溫裝置之間。
[0012]其中，所述預處理裝置是多介質過濾器或活性炭吸附裝置。
[0013]其中，所述二氧化碳機能水制備系統還包括預處理裝置，所述預處理裝置連接于所述脫氣裝置與所述純水拋光系統之間。
[0014]其中，所述二氧化碳機能水制備系統還包括預處理裝置，所述預處理裝置連接于所述脫氣裝置與所述工業制造系統之間。
[0015]與現有技術相比，本發明的技術方案至少具有以下有益效果:
[0016]本發明的技術方案中，由于所述二氧化碳機能水制備系統包括純水拋光系統、溶解裝置、超濾過濾裝置及脫氣裝置，所述溶解裝置連接于所述純水拋光系統與所述超濾過濾裝置之間，所述超濾過濾裝置通過管道與所述工業制造系統連接，所述脫氣裝置連接于所述純水拋光系統與工業制造系統之間，從而將純水拋光過程及二氧化碳機能水的制備過程整合起來，使所述脫氣裝置連接于所述純水拋光系統與工業制造系統之間，如此，可以使工業制造系統流出來的水經過所述脫氣裝置后再流回所述純水拋光系統，從而防止流回所述純水拋光系統的水的水質下降，進而避免將水排放掉或讓水流回純水制備系統中，杜絕了水資源的浪費，且避免純水制備系統的設備成本增加，從而降低水資源成本及設備成本。
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的變形形式。
[0018]圖1a是現有技術中獨立的純水拋光系統的結構框圖；
[0019]圖1b是現有技術中獨立的二氧化碳機能水制備系統與工業制造系統的框圖；
[0020]圖2是本發明第一實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；
[0021]圖3是本發明第一實施例中一個實施方式的二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；
[0022]圖4是本發明第二實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；
[0023]圖5是本發明第三實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；
[0024]圖6是本發明第四實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；
[0025]圖7是本發明第五實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖；及
[0026]圖8是本發明第六實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖。
【具體實施方式】
[0027]下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。
[0028]請參閱圖2，圖2是本發明第一實施例中二氧化碳機能水制備系統的結構框圖。所述二氧化碳機能水應用于工業制造系統500，例如，顯示屏、觸摸屏等電子消費品領域的制造系統。本實施例(第一實施例)中，二氧化碳機能水制備系統包括純水拋光系統100、溶解裝置200、超濾過濾裝置300及脫氣裝置400。所述溶解裝置200連接于所述純水拋光系統100與所述超濾過濾裝置300之間，所述超濾過濾裝置300通過管道與所述工業制造系統500連接，所述脫氣裝置400連接于所述純水拋光系統100與所述工業制造系統500之間，所述工業制造系統500用過的水經所述脫氣裝置400進行脫氣處理后流回所述純水拋光系統100。
[0029]所述純水拋光系統100用于為所述二氧化碳機能水制備系統提供超純水，所述超純水的電阻率大于18ΜΩ *cmo
[0030]溶解裝置200用于將二氧化碳氣體溶解于純水拋光系統100所提供的超純水，形成二氧化碳機能水。溶解裝置200可以是溶解膜或其它溶解裝置，所述溶解裝置200可以呈中空纖維狀圓柱體，有氣體分子能夠通過所述溶解裝置200，而水不能通過所述溶解裝置200，圓柱體內裝有高壓二氧化碳氣體，水流經所述圓柱體時，由于二氧化碳氣體處于高壓狀態，故而往外流動并溶解于水中，從而形成二氧化碳機能水。
[0031]然后，所形成的二氧化碳機能水再經過超濾過濾裝置300，將所述二氧化碳機能水中的微小顆粒濾除，得到更純凈的二氧化碳機能水，再將所述二氧化碳機能水輸送至所述工業制造系統，清洗例如玻璃基板這類帶靜電的基板。所述超濾過濾裝置300可以是超濾膜或其它超濾過濾器件，所述超濾膜為非對稱性超濾膜，具有較致密的表層和以指狀結構為主的底層，表層厚度小于或等于0.1微米，并具有排列有序的微孔，底層厚度為200?250微米。工業使用的超濾膜一般為非對稱膜。超濾膜的膜材料可以是纖維素及其衍生物、聚碳酸酯、聚氯乙烯、聚偏氟乙烯、聚砜、聚丙烯腈、聚酰胺、聚砜酰胺、磺化聚砜、交鏈的聚乙烯醇或改性丙烯酸聚合物。
[0032]所述脫氣裝置400用于對工業制造系統500用過的二氧化碳機能水進行脫氣處理，將二氧化碳機能水中的二氧化碳氣體及其它氣體(例如，氧氣、氨氣等)脫除，然后再輸送回到所述純水拋光系統100中，再次利用。這樣，每次的二氧化碳都脫除再流回純水拋光系統100，水質不容易下降，避免將水資源排放掉或重新流回純水制備系統(圖中未示出)重新制備，從而降低成本。所述脫氣裝置400可以是脫氣膜或其它脫氣器件。脫氣膜是利用擴散的原理將水中的氣體，如二氧化碳、氧氣、氨氮去除的膜分離產品。脫氣膜內裝有大量的中空纖維，纖維的壁上有微小的孔，水分子不能通過這種小孔，而氣體分子卻能夠穿過。工作時，水流在一定的壓力下從中空纖維的里面通過，而中空纖維的外面在真空栗的作用下