超聲波清洗裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明的實施例涉及一種清洗裝置，特別是一種超聲波清洗裝置。
【背景技術】
[0002]目前在TFT-1XD行業，摩擦工藝所采用超聲波清洗機的原理是通過超聲振蕩使玻璃基板表面的顆粒狀異物振動起來，并脫離玻璃基板表面，同時采用真空吸附器將其吸走，以此達到清潔效果。這種清洗方法只能將玻璃基板表面的顆粒異物去除，而對于黏貼在玻璃基板背面的異物無能為力。這種粘在玻璃基板背面的異物卻是導致出現星形破損不良的一大原因。配向工藝對玻璃基板實行抽檢的方式，因此，一旦在生產過程中出現星形破損不良，將會導致產生批量不合格產品；另外，直徑偏小的星形破損極易出現漏檢。
【發明內容】
[0003]本發明的實施例提供一種超聲波清洗裝置，可有效清洗玻璃基板或其它待清洗件背面的異物粒子。
[0004]本發明的一個方面提供一種超聲波清洗裝置，包括超聲波發生儀和載臺；其中，所述載臺包括第一面和第二面，所述第一面與所述第二面之間設置有多個通孔；所述載臺的第一面用于放置待清洗件，在所述載臺的所述第二面一側設置有超聲波發生儀。
[0005]例如，所述多個通孔在所述載臺上呈均勻分布。
[0006]例如，所述多個通孔中相鄰兩個通孔之間的間隔距離dl滿足20mm彡dl彡25mm。
[0007]例如，所述多個通孔中每一個通孔的內徑D均滿足20mm彡D彡40mm。
[0008]例如，所述載臺的所述第二面上間隔設置有多個針腳。
[0009]例如，所述多個針腳中相鄰兩個針腳的間隔距離d2滿足15mm彡d2彡25mm。
[0010]例如，所述多個針腳中的每一個針腳的長度LI滿足5mm彡LI彡15mm。
[0011]例如，所述多個針腳在所述載臺的整個所述第二面上均勻分布。
[0012]例如，所述多個針腳與所述多個所述通孔交錯設置。
[0013]例如，所述針腳的數量與所述通孔的數量之比a滿足3 < a < 4。
[0014]例如，所述多個針腳中的每一個針腳在所述第二平面上與距離最近的通孔的邊緣的距離 d3 滿足 10mm d3 20mm。
[0015]例如，在所述載臺的所述第二面一側還包括真空吸附器。
[0016]例如，所述載臺的所述第一面一側也設置有超聲波發生儀和真空吸附器。
[0017]例如，所述針腳包括小圓柱部分、圓臺形過渡部分和大圓柱部分；所述大圓柱部分的一端固定于所述載臺的所述第二面，另一短與所述圓臺形過渡部分的大端固定連接，所述圓臺形過渡部分的小端與小圓柱部分的一端固定連接。
[0018]本發明的另一個方面提供了一種采用本發明的超聲波清洗裝置對液晶顯示器中玻璃基板上的異物進行清洗的方法。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發明一個實施例中超聲波清洗裝置的示意圖；
[0020]圖2為本發明的一個實施例中載臺上針腳分布的平面圖；
[0021]圖3為本發明的一個實施例中載臺上通孔與針腳交錯分布平面圖；
[0022]圖4為本發明一個實施例的針腳結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]下面結合附圖的具體實施例對本發明做進一步介紹，應該理解，這些描述都是說明性的，本發明不限于這些具體實施例。本發明的保護范圍由所附權利要求的范圍所限定。
[0024]本發明實施例的一種超聲波清洗裝置包括超聲波發生儀和載臺。所述載臺包括第一面和第二面，所述第一面與所述第二面之間設置有貫穿所述載臺的多個通孔；所述載臺的第一面用于放置待清洗件，所述超聲波發生儀設置在所述載臺的所述第二面一側。
[0025]清洗時，將待清洗件例如玻璃基板放置于載臺的第一面之上，啟動超聲波發生儀，玻璃基板背面黏附的粒子即在超聲波的震蕩下，脫離玻璃基板背面，并穿過在載臺的第一面與第二面之間的多個通孔，實現對玻璃基板背面異物的清除。
[0026]本發明的超聲波清洗裝置可以在載臺的第一面上方或第二面下方同時設置超聲波發生儀，也可以只在其第二面下方設置超聲波發生儀。例如，超聲波發生儀3與載臺I相應面隔開一定距離設置，這樣超聲波能夠以較大面積傳輸到待清洗件的表面。
[0027]圖1給出了本發明一個具體實施例的示意圖。從圖中可以看出載臺I的上下兩側均設置一個超聲波發生儀(P)3和一個真空吸附器(V)4。載臺I的上方用于放置例如玻璃基板等待清洗件(圖中未示出)。玻璃基板背面的異物粒子8在載臺I下方的超聲波發生儀3產生的超聲波3-1的作用下脫離玻璃基板表面，并在穿過載臺I上設置的通孔1-4 (圖中未示出)和各個針腳1-3之間的縫隙后，吸入真空吸附器4中；同樣，玻璃基板正面的粒子8在受到載臺I的第一面1-1上方設置的超聲波發生儀3作用下脫離玻璃基板上表面，并吸入上方的真空吸附器4內。采用該實施例的這種結構可同時實現上下表面異物的清洗，提高了清洗效率。
[0028]以下進一步結合附圖及具體實施例對本發明中通孔1-4、針腳1-3的尺寸選擇及兩者在載臺I上的分布進行詳細說明。
[0029]在一個具體實施例中，這些通孔1-4可以分布在整個載臺的平面，參照圖3。因為一方面待清洗件例如玻璃基板的尺寸不同；另一方面，玻璃基板的背面各個位置均有可能存在雜質；在整個載臺I的平面上設置通孔1-4可保證各個位置脫除的異物粒子8均可快速通過這些通孔1-4，實現整個玻璃基板背面的清洗。另外，例如，第一面1-1的相鄰兩個通孔1-4之間的間隔距離dl可以滿足20mm ^ dl ^ 25mm。在這個間隔距離范圍內，能進一步防止因相鄰通孔太近增加工藝復雜程度以及降低載臺強度，同時進一步防止因相鄰通過太遠導致的超聲脫除的異物粒子8無法及時穿過通孔，有利于使超聲清洗裝置具有更好的清洗效果。
[0030]載臺的第一面1-1和第二面1-2之間所設置的多個通孔1-4的尺寸應能夠確保玻璃基板上脫除的異物粒子8能夠通過。這要求這些通孔1-4的尺寸應該大于玻璃基板背面異物粒子8的最大尺寸，或者說至少有一部分通孔1-4的尺寸大于玻璃基板背面異物粒子8的最大尺寸。但是，這些通孔1-4的尺寸也并非越大越好，一方面，尺寸太大會影響強度；另一方面，這些通孔1-4是僅僅是為了使玻璃基板背面的異物粒子8通過，只要適當大于這些異物粒子8的最大尺寸即可，不需要加工的太大。例如，通孔尺寸可以設計為20mm ^ D ^ 40mm。為了使描述更加清楚，在本發明中將該通孔1_4的尺寸定義為:在通孔1-4軸向方向的任意橫截面上，穿過通孔1-4在該橫截面上的中心并與通孔1-4邊緣連接的任意直線的長度。需要說明的是，如果通孔1-4為圓孔，則該尺寸相當于通孔1-4的內壁直徑；如果通孔1-4為其它形狀，例如如圖3所示的正方形結構，則該尺寸的最小值為正方形的邊長，最大值為正方形對角線的長度。該通孔1-4也可以為其它形狀。根據所述通孔的尺寸定義，可以理解，通孔1-4在其軸向方向上例如也可以為尺寸漸變結構，此時的尺寸仍然需要滿足上述范圍。這些通孔1-4形狀和尺寸的變化均不超出本發明的保護范圍。
[0031]例如，本發明的載臺的所述第二面上還可以設置有多個針腳。圖4中給出了本發明一個實施例中針腳的結構示意圖，參照圖4，針腳1-3的橫截面基本上為圓形，依次分為小圓柱部分1-3-1、圓臺形過渡部分1-3-2和大圓柱部分1-3-3，且圓臺形過渡部分1_3_2分為大端和小端以及中間連接部分，大端是指圓臺直徑較大的一端，小端是指圓臺直徑較小的一端。所述針腳1-3的大圓柱部分1-3-3的一個端面用于與所述載臺的第二面1-2固定連接，其另一個端面與圓臺形過渡部分1-3-2的大端固連，圓臺形過渡部分1-3-2的小端與小圓柱部分1-3-1的一端固定連接，小圓柱部分1-3-1的另一端位于距離載臺第二面1-2的最遠處。這些針腳1-3的作用是引導穿過載臺I的通孔1-4的異物粒子8向遠離載臺I的方向運動，防止被脫除的異物粒子8重新污染例如玻璃基板的背面。參照圖2、圖3所示的針腳1-3之間的距離d2，例如，相鄰兩個針腳1-3的間隔距離d2滿足15mm ^ d2 ^ 25mm。
[0032]針腳1-3的針長度也會影響清洗效果。玻璃基板背面的異物粒子8在超聲波3-1振蕩下會脫離基板，并在例如真空吸附器4的吸力下穿過各針腳1-3之間形成的間隙。如果針腳1-3的長度過大，真空吸附器4因距離粒子的距離增大而導致吸力相應減小，使得這些異物粒子8快速脫除的難度增大；另外，如果這些針腳1-3的長度過小，可能會導致脫除后的異物粒子8重新污染待清洗件背面的情況；但針腳的長短主要影響異物粒子8的脫除效果。為了進一步提高該超聲波清洗裝置的清洗效果，例如，每一個針腳的長度LI可滿足5mm ^ LI ^ 15mm。更具體的，參照圖4，針腳的長度LI為小圓柱的縱向長度與圓臺軸線長以及大圓柱軸向長度之和。如上所述，針腳的橫截面基本上為圓形，從上到下依次分為小圓柱部分1-3-1、圓臺形過渡部分1-3-2和大圓柱部分1-3-2。大圓柱部分1_3_3的直徑大約是小圓柱部分1-3-1直徑的2倍，小圓柱部分1-3-1的縱向長度與圓臺過渡部分1-3-2的軸線長度基本上相等，大圓柱部分1-3-3的縱向長度遠大于小圓柱部分1-3-1縱向長度。
[0033]在一個具體的實施例中，參照圖2和圖3，載臺I的針腳1-3例如可以設置為沿載臺I的整個表面均勻布置。以使異物粒子8穿過通孔1-4后，迅速在針腳1-3的導引下遠離玻璃基板或其它待清洗件的背面，進而避免這些脫除的異物粒子8再次污染玻璃基板或其他待清洗件的背面。如果針腳1