一種含超細硅粉廢水的處理方法及裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明設及一種含超細娃粉廢水的處理方法及裝置，屬于多晶娃產業含娃粉廢水 的處理領域。
【背景技術】
[0002] 含娃粉廢水來源；在娃巧制備工序中，用娃巧銀切割娃椿產生的娃粉，同時用超純 水作為娃椿切割過程的直接冷卻和對娃巧銀、娃椿表面進行洗漆所形成的含有超細娃粉的 含娃粉廢水。
[0003] 含娃粉廢水中的娃粉非常細，大部分顆粒粒徑在0. 1~1 ym范圍，大部分細小顆粒 懸浮于水中，靜置半年W上也只有部分大顆粒沉積于底部，大部分細小的娃粉仍懸浮于水 中，使得含娃粉廢水一直處于混濁的狀態。
[0004] 由于含娃粉廢水中的娃粉非常細，其表面反應活性高，可W與水發生反應，產生 &，所W含娃粉廢水不能長期儲存，有著火的危險，化學式；Si + 3&0 - t。本 發明人認為含娃粉廢水中的娃粉表面已經發生了變化(水化生成娃酸)，若將其含娃粉廢水 中的娃粉回收，十分困難，并且得到物質可能已經不是高純多晶娃。
[0005] 由于含娃粉廢水中娃粉顆粒粒徑較小，一般的過濾處理效果不好，而且處理后的 水濁度仍然較高，無法直接回用也難W達標排放，另外水化娃粉堵塞濾布嚴重，使得過濾阻 力大，過濾效率低，更換濾布周期縮短，成本高。
[0006] 從含娃粉廢水的成分來看，基本上是由超細娃粉和超純水組成。如果水中所含娃 粉不能去除，水就難W回收利用，也不符合清潔生產的標準。
[0007] 現階段報道的含娃粉廢水處理方法主要按含一般懸浮物的廢水處理方法進行處 理，即是加入聚合氯化侶（PAC)、聚丙締酷胺（PAM)、聚丙締酸等絮凝劑使含娃粉廢水絮凝 沉淀，該種方法處理含娃粉廢水，效果差，而且引入了很多其他元素，對處理后水的資源化 利用造成影響。
[000引專利CN103272433A公開了一種含娃粉廢水過濾凈化處理方法，該含娃粉廢水成 分與本發明的含娃粉廢水相同，該方法是W珍珠巖或者娃藻±作為助濾劑，先將珍珠巖或 者娃藻±和清水混合，然后用廂式壓濾機壓濾，珍珠巖或者娃藻±在廂式壓濾機的濾布上 形成一層濾膜，再切換含娃粉廢水連續通過廂式壓濾機過濾。該發明的優點是處理后的水 為中性，可W直接排放或者回用，該發明存在的不足之處是前期的濾液不合格，需要不斷的 更換濾膜，成本高，另外由于含娃粉廢水中娃粉粒徑較小，濾膜堵塞嚴重，難清洗，清洗濾布 又產生大量廢水，增加廢水量，使得處理效率低。
[0009] 專利CN102653433A公開了制備娃晶片的工藝廢水之處理方法，該含娃粉廢水成 分與本發明的含娃粉廢水成分不同，該發明中工藝廢水的主要成分除了娃粉還有SiC和有 機物，該發明的第一步就是去除工藝廢水中微粒，該方法提到用化學絮凝的方法使微粒凝 聚成膠體，再經過沉淀單元實現固液分離，得到上清液無明顯顆粒存在。該發明并沒有講到 用何種絮凝劑，專利中提到該方法可W去除90%~95%的微粒。
[0010] 專利CN101683981A公開了一種廢娃液回收再生方法，該專利第一步提到切割娃 椿產生的廢娃廢水進行離屯、分離，濾布孔徑為800~1500目，獲得娃粉料，在經過一系列的 物理化學方法回收得到太陽能級娃片。該方法的優點是實現了含娃粉廢水中娃粉的資源 化，并且處理了水，但是對于本發明中的含娃粉廢水，其娃粉粒徑非常細，直接將含娃粉廢 水進行離屯、分離并不適用，其處理效果不好。
[ocm] 專利CN103028329A公開了一種帶有管式微濾膜組件的研磨廢水回用、娃粉回收 裝置，該專利主要是用可反沖洗的管式微濾膜組件為主體的含娃粉廢水處理設備，該發明 的優點是處理效果好，處理效率高，但是該方法成本較高。
[0012] 專利CN101683981A公開娃切割廢水中娃粉和廢水回收利用裝置及其方法，該發 明利用電解系統，離屯、分離系統，干燥系統，過濾系統，該發明含娃粉廢水成分與本發明不 同，除娃粉之外還含有SiC，聚己二醇，表面活性劑。
【發明內容】
[0013] 含娃粉廢水中娃粉的粒徑較小，長時間靜置不沉淀，傳統的處理方法效果不好，現 有的方法成本較高，本發明要解決的技術問題是提供一種娃巧切割過程產生的含娃粉廢水 處理方法，實現含娃廢水中沉淀劑和含娃廢水處理后堿性水的資源化利用，并減輕后續廢 水處理設備的處理壓力。
[0014] 本發明所述含超細娃粉廢水的處理方法，包括W下步驟： (1) 將含超細娃粉的廢水(娃粉的粒度為0. 1~1 y m)通入廢水收集池1中，然后將含超 細娃粉的廢水通入絮凝沉淀池2中； (2) 將沉淀劑化0H溶液(質量百分比為20~32%)由堿液池3累入到絮凝沉淀池2中， 控制攬拌機轉速為10~2化/min ;控制絮凝沉淀池2液體的抑值為12~13. 5和反應時間為 30~90min形成上清液層和沉淀層； (3) 絮凝沉淀池2上部上清液層進入堿性水收集池6 ;堿性水收集池6中的堿性水一部 分作為循環堿性水返回到堿液池3,用于配制沉淀劑溶液，剩余的部分輸送到工業水收集池 5中，然后送入氯硅烷廢氣淋洗設備7中作為氯硅烷廢氣淋洗過程中的吸收劑； (4) 絮凝沉淀池2底部沉淀物輸送到壓濾機4中進行壓濾，濾渣直接運往渣庫，濾液進 入堿性水收集池6。
[0015] 本發明所述的含超細娃粉廢水的處理方法所用的裝置包括含娃廢水收集池1、絮 凝沉淀池2、堿液池3、壓濾機4、工業水收集池5、堿性水收集池6、氯硅烷廢氣淋洗設備7、 攬拌器I 8、攬拌器II 9,廢水收集池1、堿液池3分別通過累與絮凝沉淀池2相連通，絮凝沉 淀池2的下端通過累與壓濾機4連通、上端與堿性水收集池6連通；堿性水收集池6與工業 水收集池5連通，并通過累與堿液池3相連，工業水收集池5通過累與氯硅烷廢氣淋洗設備 7相連；絮凝沉淀池2、堿液池3內部分別設有攬拌器I 8和攬拌器II 9,各個相連通的部件 之間均設有閥口。
[0016] 本發明所述氯硅烷廢氣淋洗工序是指來自=氯氨娃合成工序、=氯氨娃精饋提純 工序和S氯氨娃還原工序所產生的含Si&Cls.Si肥I3和SiCl 4等廢氣用堿液進行噴淋吸收