一種緊湊型容器清洗裝置的制作方法

本實用新型涉及一種緊湊型容器清洗裝置。

背景技術：

隨著半導體制程精度的提升，對化學品潔凈度的要求也越來越高，對于盛放化學品的容器同樣也要求極高的潔凈度。使用大量純水清洗容器是最常用的方法，但這種方法會導致少量水殘留在容器內，引起目標產品濃度的偏差，對于溶劑型產品，由于對水份含量有嚴格要求，這種用純水清洗的方法尤其不適用。另一種常見的容器清洗方法是使用目標產品沖洗，但這樣會消耗大量的產品，帶來制造成本的增加。而且，絕大部分的半導體化學品都具有毒性、易燃、易爆等特點，大量沖洗廢液會產生安全、環境處理成本的增加。

技術實現要素：

本實用新型的目的在于提供一種具有結構緊湊，節約清洗體積，清洗效果優異等特點的緊湊型容器清洗裝置。

本實用新型的技術方案是，一種緊湊型容器清洗裝置，用于容器內部清洗，包括可更換儲槽、增壓泵、多級過濾器、壓力表、自吸泵、送液管道、回液管道以及氮氣管道，所述回液管道、自吸泵、可更換儲槽、增壓泵、多級過濾器、壓力表以及送液管道依次對應連接，所述送液管道的端部設置有360°清洗噴球，所述氮氣管道同樣與所述360°清洗噴球對應連接，所述回液管道的端部設置有硬質吸管。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述360°清洗噴球置于容器內頂部，所述硬質吸管末端置于容器內底部。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述多級過濾器包括相互連接的一級過濾器和二級過濾器，所述一級過濾器還與增壓泵連接，所述二級過濾器還與壓力表連接。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述自吸泵與可更換儲槽之間的管路上設置有取樣口。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述氮氣管道與360°清洗噴球之間還依次設置有氣壓表、氮氣閥和氣體過濾器。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述可更換儲槽與自吸泵和增壓泵的連接管路上分別設置有截止閥。

在本實用新型一個較佳實施例中，所述取樣口處設置有截止閥。

本實用新型所述為一種緊湊型容器清洗裝置，本實用新型具有結構緊湊，節約清洗體積，清洗效果優異等特點。

附圖說明

圖1為本實用新型緊湊型容器清洗裝置一較佳實施例中的結構示意圖。

具體實施方式

下面對本實用新型的較佳實施例進行詳細闡述，以使本實用新型的優點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本實用新型的保護范圍做出更為清楚明確的界定。

本實用新型所述為一種緊湊型容器清洗裝置，用于容器內部清洗，包括可更換儲槽1、增壓泵2、多級過濾器、壓力表3、自吸泵4、送液管道5、回液管道6以及氮氣管道7，所述回液管道6、自吸泵4、可更換儲槽1、增壓泵2、多級過濾器、壓力表3以及送液管道5依次對應連接，所述送液管道5的端部設置有360°清洗噴球8，所述氮氣管道7同樣與所述360°清洗噴球8對應連接，所述回液管道6的端部設置有硬質吸管9。

所述360°清洗噴球8置于容器內頂部，所述硬質吸管9末端置于容器內底部。

所述多級過濾器包括相互連接的一級過濾器10和二級過濾器11，所述一級過濾器10還與增壓泵2連接，所述二級過濾器11還與壓力表3連接。

所述自吸泵4與可更換儲槽1之間的管路上設置有取樣口12。

所述氮氣管道7與360°清洗噴球8之間還依次設置有氣壓表13、氮氣閥14和氣體過濾器15。

所述可更換儲槽1與自吸泵4和增壓泵2的連接管路上分別設置有截止閥16。

所述取樣口12處設置有截止閥16。

根據目標容器的用途，更換盛有專用液體的儲槽。

連接管線，將360°清洗噴球和硬質吸管插入目標容器入口，360°清洗噴球置于容器內頂部，硬質吸管末端置于容器內底部。

開啟氮氣閥，調整氮氣壓力至0.4～0.6MPa，吹掃容器內部5分鐘，對容器內空氣進行置換；開啟增壓泵，監測液體壓力不超過0.2～0.3MPa，液體將通過360°清洗噴球噴射到容器內部，同時液體還會在高壓氮氣作用下發生霧化，形成非常細小的液滴對容器內部進行噴洗，根據容器內部的尺寸,可以調整氮氣壓力,使微細液滴的噴射范圍覆蓋全部待清洗部位。液滴在自重作用下匯集在容器底部；開啟自吸泵，將容器底部匯集的液體吸出，返回至儲槽。

開啟自吸泵出口處的截止閥進行取樣檢測，當檢測結果合格時，關閉增壓泵，待容器底部液體全部吸出后，關閉自吸泵，最后關閉氮氣閥，將360°清洗噴球和硬質吸管移出容器，并立即將容器入口密封，得到清洗干凈的空容器。

重復以上步驟，可以對多個容器進行清洗操作。

本實用新型所述為一種緊湊型容器清洗裝置，本實用新型具有結構緊湊，節約清洗體積，清洗效果優異等特點。

以上所述僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域的技術人員在本實用新型所揭露的技術范圍內，可不經過創造性勞動想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。因此，本實用新型的保護范圍應該以權利要求書所限定的保護范圍為準。