本發明涉及一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，屬于藍寶石襯底研磨后的清洗加工技術領域。
背景技術：
藍寶石（Sapphire）晶體具有優良的光學性能、物理性能和穩定的化學性能，廣泛應用于高亮度LED襯底材料。藍寶石襯底片為了獲得優良的平坦度，需要以碳化硼為主要研磨材料對藍寶石襯底片進行雙面研磨加工，研磨后的藍寶石襯底片表面殘留有碳化硼微粉，在高溫退火前需要進行清洗。由于碳化硼穩定的化學性能，研磨后的清洗非常困難，碳化硼微粉殘留在藍寶石襯底片表面，高溫退火后在藍寶石襯底片表面形成油亮斑，導致藍寶石襯底片需要返工處理甚至報廢。
技術實現要素：
本發明的目的是針對現有清洗技術的缺陷，提供一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，具有操作方便，一次成品合格率高，清洗進程無二次化學污染，清洗廢液無污染易處理等特點。
為解決以上技術問題，本發明提供的技術方案是:
一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：
（1）將雙面研磨后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；
（2）將晾干后的藍寶石襯底片放入超聲清洗槽內，隨后向超聲清洗槽內放置氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍寶石襯底片上表面3～5mm；
（3）啟動超聲清洗槽，使用頻率40～60KHZ的超聲，設置超聲強度為60W/cm2～80W/cm2，超聲震洗15min；
（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（5）將步驟（4）中，清洗后的藍寶石襯底片放入清洗堿液內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍寶石襯底片放入16M純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍寶石襯底片用甩干機在1800rpm轉速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍寶石襯底片。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述氧化鋁（AL2O3）的粒徑在W80～W120之間。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。
本發明的有益效果為：
本發明公開的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，克服了現有雙面研磨后藍寶石襯底片清洗過程中需要用到多種化學試劑對藍寶石襯底片表面殘留的碳化硼微粉進行去除，清洗廢液難處理，對環境污染大的缺點，使用本發明的清洗工藝，可有效減少表面碳化硼微粉殘留，降低高溫退火后藍寶石襯底片表面的油亮斑比例，減少藍寶石襯底片的返工成本，杜絕藍寶石襯底片的報廢情況，從而達到提高藍寶石襯底片質量，降低藍寶石襯底片生產成本的目的。
具體實施方式
實施例一
一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：
（1）將雙面研磨后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；
（2）將晾干后的藍寶石襯底片放入超聲清洗槽內，隨后向超聲清洗槽內放置粒徑W120的氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍寶石襯底片上表面4mm；
（3）啟動超聲清洗槽，使用頻率40KHZ的超聲，設置超聲強度為60W/cm2，超聲震洗15min；
（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（5）將步驟（4）中，清洗后的藍寶石襯底片放入清洗堿液內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍寶石襯底片放入16M純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍寶石襯底片用甩干機在1800rpm轉速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍寶石襯底片。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述藍寶石襯底片的直徑為2英寸。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。
實施例二
一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：
（1）將雙面研磨后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；
（2）將晾干后的藍寶石襯底片放入超聲清洗槽內，隨后向超聲清洗槽內放置粒徑W80的氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍寶石襯底片上表面5mm；
（3）啟動超聲清洗槽，使用頻率60KHZ的超聲，設置超聲強度為80W/cm2，超聲震洗15min；
（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍寶石襯底片放入RO純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（5）將步驟（4）中，清洗后的藍寶石襯底片放入清洗堿液內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍寶石襯底片放入16M純水內，用強度為50W/cm2的超聲波清洗15min；
（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍寶石襯底片用甩干機在1800rpm轉速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍寶石襯底片。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述藍寶石襯底片的直徑為4英寸。
上述的一種藍寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。
以上所述，僅為本發明較佳的具體實施方式，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍內。因此，本發明的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。