熱處理裝置的制作方法

本發明涉及熱處理裝置。

本申請基于2014年7月7日在日本申請的特愿2014－139629號主張優先權，在此引用其內容。

背景技術：

作為加熱處理被處理物即金屬材料的熱處理裝置，公知有多室型熱處理裝置(例如參照專利文獻1)。在這樣的多室型熱處理裝置中，具備容納被處理物的加熱室，利用加熱室內部設置的加熱器加熱被處理物，由此進行熱處理。

此外，在下述專利文獻2～4中也公開了具備加熱室或加熱器、進行被處理物的加熱處理或燒制的裝置。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本國特開2012－13341號公報

專利文獻2：國際公開第2006/013932號公報

專利文獻3：日本國特開2002－228364號公報

專利文獻4：日本國特表2009－543996號公報

技術實現要素：

發明要解決的技術問題

為了防止加熱器的熱量向外部漏出，在這樣的加熱室的內壁上一般設置有隔熱材料。然而，因為在加熱室的底部設置有用于載置被處理物的熱容量較大的載置臺、或貫通隔熱材料而設置的配管等，所以熱量容易向外部逃逸。因此，在加熱室的內部中，存在產生下方變得比上方溫度低之類的溫度不均勻的情況。若產生這樣的溫度不均勻，則在熱處理狀態下產生偏差，存在成為使處理品質降低的原因的可能性。

本發明鑒于上述問題點而提出，目的在于在進行被處理物的加熱處理的熱處理裝置中，抑制加熱室內部的溫度不均勻的產生，從而均勻地加熱被處理物。

用于解決上述技術問題的手段

作為用于解決上述技術問題的手段，本發明包含以下的構成。

本發明的第1方案為對被處理物進行加熱處理的熱處理裝置，具備：加熱室，在內部容納上述被處理物；下加熱器，對上述加熱室內容納上述被處理物的的區域即容納區域的下部進行加熱；上加熱器，對上述容納區域的上部進行加熱。

本發明的第2方案，上述第1方案的熱處理裝置具備熱傳導分隔壁，配置在上述下加熱器以及上述上加熱器與上述容納區域之間。

本發明的第3方案，上述第1或第2方案的熱處理裝置具備：多個上述上加熱器以及多個上述下加熱器，為電加熱器；上加熱器用電源單元，對所有的上述多個上加熱器供電；下加熱器用電源單元，對所有的上述多個下加熱器供電。

本發明的第4方案，在上述第1方案的熱處理裝置中，上述下加熱器具有：一對下加熱器主體，在垂直方向上延伸；下加熱器連結部，將這些一對下加熱器主體的端部相互地連結。此外，上述上加熱器具有：一對上加熱器主體，在垂直方向上延伸；上加熱器連結部，將這些一對上加熱器主體的端部連結。

本發明的第5方案，在上述第4方案的熱處理裝置中，上述下加熱器以及上述上加熱器為電加熱器。上述下加熱器連結部以及上述上加熱器連結部具有導電性，構成為能夠從一對加熱器主體中的一方向另一方通電。在上述一對下加熱器主體中的一方設置有電力輸入側端子，在上述一對下加熱器主體中的另一方設置有電力輸出側端子。此外，在上述一對上加熱器主體中的一方設置有電力輸入側端子，在上述一對上加熱器主體中的另一方設置有電力輸出側端子。

發明效果

本發明的熱處理裝置具備了加熱容納被處理物的加熱室內部的容納區域的下部的下加熱器與加熱上部的上加熱器。因此，根據本發明，能夠對上述容納區域的下部與上部區別地溫度控制。因此，在容納區域的下部相對上部溫度較低的情況下，通過僅增加下加熱器的輸出功率，能夠使容納區域的內部溫度均勻化。因此，根據本發明，在進行被處理物的加熱處理的熱處理裝置中，能夠抑制加熱室內部(容納區域)的溫度不均勻的產生，從而均勻地加熱被處理物。

附圖說明

圖1是示出本發明的第1實施方式中的熱處理裝置的概略構成的縱剖視圖。

圖2是圖1的A-A線向視圖，是示出下加熱器用電源單元的接線輸入側單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元的接線輸入側單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的圖。

圖3是圖1的A-A線向視圖，是示出下加熱器用電源單元的接線輸出側單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元的接線輸出側單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的圖。

圖4A是示出下加熱器用電源單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖。

圖4B是示出上加熱器用電源單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖。

圖5是示出本發明的第2實施方式中的熱處理裝置的概略構成的縱剖視圖。

圖6是熱處理裝置的加熱室內配置的加熱器的側面展開圖。

圖7是圖5的B-B線向視圖，是示出下加熱器用電源單元的接線輸入側單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元的接線輸入側單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的圖。

圖8是圖5的B-B線向視圖，是示出下加熱器用電源單元的接線輸出側單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元的接線輸出側單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的圖。

圖9是示出下加熱器用電源單元與下加熱器由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元與上加熱器由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明的熱處理裝置進行說明。另外，在以下的附圖中，為了使各部件成為能夠識別的大小，對各部件的比例尺進行了適當變更。

(第1實施方式)

圖1是示出作為本發明的第1實施方式的熱處理裝置1的概略構成的縱剖視圖。另外，圖1的紙面上側示出裝置中的垂直方向上側。如圖1所示，本實施方式的熱處理裝置1是進行被處理物W的加熱處理的裝置，具備：加熱室2、隔熱材料3、載置臺4、加熱器5、電源單元6、隔焰板7(熱傳導分隔壁)、氣體供給部8、第1排氣管9、第2排氣管10、攪拌機11。

加熱室2是形成為大致圓筒狀、并且沿垂直方向配置其中心軸的立式容器。在加熱室2的內部容納有被處理物W。即，在加熱器2的內部形成有容納被處理物W的區域即容納區域R。在該加熱室2中，相對于大致圓筒狀的側壁部2a設置有底部2b以及蓋部2c，由此將加熱室2的內部做成為封閉空間。在該封閉空間即加熱室2的內部容納有隔熱材料3、載置臺4、加熱器5以及隔焰板7等。

底部2b具有圓環狀的底部框體2b1和可拆裝地安裝在該底部框體2b1的中央開口上并將其氣密地封閉的底部主體2b2。底部主體2b2通過螺紋止動件等可拆裝地安裝在底部框體2b1上。該底部主體2b2以與底部框體2b1抵接的方式形成配置。這樣的底部主體2b2作為用于使被處理物W在加熱室2的內部進出的開閉部件(開閉門)起作用。

隔熱材料3具有下部隔熱材料3a、側部隔熱材料3b以及上部隔熱材料3c。

下部隔熱材料3a形成為設置在底部框體2b1上的圓環狀。側部隔熱材料3b貼合在加熱室2的側壁部2a的內壁上。即，側部隔熱材料3b也形成為圓筒狀。上部隔熱材料3c配置在加熱室2的蓋部2c的內側(即下側)，具有可拆裝地設置在其中央部的蓋部3c1、和包圍該蓋部3c1而配置并且被加熱器5插通的貫通孔3c2。另外，如后述的那樣，在本實施方式中，因為設置有12根加熱器5，所以貫通孔3c2包圍蓋部3c1且呈環狀地排列有12個。這樣的隔熱材料3也可以由例如陶瓷纖維板等構成的隔熱材料和陶瓷板層疊形成。

載置臺4配置在底部主體2b2上，并且載置有被處理物W。該載置臺4在從底部框體2b1取下底部主體2b2時，與底部主體2b2一起移動，并被取出至加熱室2的外部。

加熱器5是通過供電而發熱的電加熱器。在本實施方式中，作為該加熱器5，包括：具有在垂直方向上延伸的長條的主體部的下加熱器5a和具有在垂直方向上延伸的短條的主體部的上加熱器5b。下加熱器5a的主體部的下端部側(包含下端的部位)做成為發熱區域，對被處理物W的容納區域R的下部進行加熱。上加熱器5b的主體部的下端部側(包含下端的部位)做成為發熱區域，對被處理物W的容納區域R的上部進行加熱。

在這些加熱器5的上部設置有凸緣5c。相對于側壁部2a固定有在上部隔熱材料3c(更詳細地說，形成有貫通孔3c2的部位)的上方配置的環狀的支承部12，通過該支承部12支承凸緣5c，加熱器5被懸吊支承。支承部12也能夠以可拆裝的方式固定在側壁部2a上。這些加熱器5通過貫通孔3c2，從隔熱材料3的上方插入由隔熱材料3包圍的空間內。即，本實施方式的下加熱器5a以及上加熱器5b都以從支承部12向下方延伸的方式設置。因為下加熱器5a比上加熱器5b長，所以下加熱器5a的下端位于比上加熱器5b的下端更靠下方。另外，在本實施方式的下加熱器5a的上端設置有作為電力輸入端子的正端子和作為電力輸出端子的負端子。在本實施方式的上加熱器5b的上端設置有作為電力輸入端子的正端子和作為電力輸出端子的負端子。

圖2是圖1的A-A線向視圖。如圖2所示，本實施方式的加熱器5以被處理物W的容納區域R為中心，以環狀(俯視環狀)等間隔的方式配置有12個。即，12個加熱器5在加熱室2(側壁部2a)的圓周方向上排列。另外，在本實施方式中，下加熱器5a與上加熱器5b在上述圓周方向上交替地排列，并且各自設置有6根下加熱器5a與上加熱器5b。

電源單元6是對加熱器5進行供電的裝置，經由耐熱電線與各加熱器5連接。在本實施方式中，電源單元6具備下加熱器用電源單元6a和上加熱器用電源單元6b。電源單元6也可以還具備能夠輸出所希望的電力的未圖示的供電控制裝置。下加熱器用電源單元6a構成為對所有的下加熱器5a供電，并由接線輸入側單元6a1和接線輸出側單元6a2構成。此外，上加熱器用電源單元6b構成為對所有的上加熱器5b供電，并由接線輸入側單元6b1和接線輸出側單元6b2構成。

圖2以及圖3都是圖1的A-A線向視圖。但是，圖2示出了下加熱器用電源單元6a的接線輸入側單元6a1與下加熱器5a由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元6b的接線輸入側單元6b1與上加熱器5b由耐熱電線連接的接線狀態；圖3示出了下加熱器用電源單元6a的接線輸出側單元6a2與下加熱器5a由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元6b的接線輸出側單元6b2與上加熱器5b由耐熱電線連接的接線狀態。此外，圖4A是示出下加熱器用電源單元6a與下加熱器5a由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖，圖4B是示出上加熱器用電源單元6b與上加熱器5b由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖。

如圖2以及圖4A所示，接線輸入側單元6a1具備3個電極棒6a3和連接這些電極棒6a3的母線6a4。母線6a4分別連接在3個電極棒6a3上。這些3個電極棒6a3各自經由耐熱電線而與2個下加熱器5a的正端子連接。如圖3以及圖4A所示，接線輸出側單元6a2具備3個電極棒6a5和連接這些電極棒6a5的母線6a6。母線6a6分別連接在3個電極棒6a5上。這些3個電極棒6a5各自經由耐熱電線而與2個下加熱器5a的負端子連接。母線6a4以及6a6上也可以連接能夠輸出所希望的電力的未圖示的供電控制裝置(第1供電控制裝置)，因此，下加熱器用電源單元6a構成為對下加熱器5a供給電力而使下加熱器5a發熱。

如圖2以及圖4B所示，接線輸入側單元6b1具備3個電極棒6b3和連接這些電極棒6b3的母線6b4。母線6b4分別連接在3個電極棒6b3上。這些3個電極棒6b3各自經由耐熱電線而與2個上加熱器5b的正端子連接。如圖3以及圖4B所示，接線輸出側單元6b2具備3個電極棒6b5和連接這些電極棒6b5的母線6b6。母線6b6分別連接在3個電極棒6b5上。這些3個電極棒6b5各自經由耐熱電線而與2個上加熱器5b的負端子連接。母線6b4以及6b6上也可以連接能夠輸出所希望的電力的未圖示的供電控制裝置(第2供電控制裝置)，因此，上加熱器用電源單元6b構成為對上加熱器5b供給電力而使上加熱器5b發熱。

返回圖1，隔焰板7是以其中心軸與側壁部2a的中心軸幾乎一致的方式相對于側壁部2a隔開一定的間隙而成的圓筒狀部件，由導熱性良好的耐火物形成。該隔焰板7設置為比加熱器5更靠近加熱室2的中心，并且在該隔焰板7與側壁部2a之間形成加熱器5的容納空間。此外，在該隔焰板7的上端配置有上部隔熱材料3c。本實施方式的隔焰板7的上端與上部隔熱材料3c的下表面相接，隔焰板7的下端與下部隔熱材料3a的上表面相接。另外，由該隔焰板7包圍的空間是在加熱處理時容納被處理物W的上述容納區域R。即，隔焰板7配置在下加熱器5a以及上加熱器5b與容納區域R之間。

氣體供給部8是貫通蓋部2c地設置、在蓋部2c的外側經由配管(未圖示)連接在氣氛形成氣體(例如烴類氣體)的供給源(未圖示)上的裝置。氣體供給部8的前端側(下端側)貫通上部隔熱材料3c的蓋部3c1，其前端部配置在容納區域R中。

第1排氣管9相對于蓋部2c朝向斜上方配設，配置為連通蓋部2c與上部隔熱材料3c之間的空間，并且前端側(蓋部2c的相反側)連接在未圖示的真空泵上。此外，第2排氣管10的前端側(上部隔熱材料3c的相反側)內插至該第1排氣管9的中間。第2排氣管10設置為以連通容納區域R的方式貫通蓋部2c以及上部隔熱材料3c的蓋部3c1。第2排氣管10的處于第1排氣管9一側的外徑相對于第1排氣管9的內徑充分小地形成，由此構成為不能堵塞第1排氣管9。這些第1排氣管9以及第2排氣管10構成為連接在真空泵上，利用真空泵對加熱室2的內部強制排氣。

攪拌機11相對于蓋部2c固定，構成為具有如下的部分：由電機等構成的驅動部11a、在該驅動部11a的下方經由驅動軸11b安裝的攪拌葉片11c。驅動軸11b配置為貫通上述上部隔熱材料3c的蓋部3c1，攪拌葉片11c通過安裝在驅動軸11b的下端部而配置在容納區域R內的上部。這樣的攪拌機11通過攪拌葉片11c的旋轉驅動來攪拌容納區域R內的氣體，使容納區域R內的溫度或氣體濃度均勻。

此外，在熱處理裝置1中設置有將容納區域R分為上下、并且測量各自的溫度的熱電偶(溫度測量裝置，未圖示)，由此能夠測量容納區域R的上部與下部的溫度。這些熱電偶也可以構成為電氣地連接在電源單元6(或者第1、第2供電控制裝置)上、并且將溫度測量結果輸出至電源單元6等。

在通過這樣的熱處理裝置1進行熱處理時，首先，在載置臺4上設置被處理物W，并將其配置在加熱室2內。其次，從電源單元6向加熱器5通電，將容納區域R內加熱至所希望的溫度。此外，通過使未圖示的真空泵工作，經由第1排氣管9以及第2排氣管10對加熱室2減壓。另外，加熱室2的減壓也可以比加熱器5的通電先進行。

然后，若加熱室2變為所希望的溫度的減壓氣氛，則驅動攪拌機11使攪拌葉片11c旋轉，根據需要從氣體供給部8供給氣氛形成氣體，對被處理物W進行加熱處理。此時，例如在由上述熱電偶的溫度測量結果判斷出容納區域R的下部的溫度與上部相比較低的情況下，使從下加熱器用電源單元6a供給的電力增大，由此使下加熱器5a的發熱量比上加熱器5b高。由此，通過向容納區域R的下部投入更多的熱量，能夠使容納區域R的溫度均勻。另外，這樣的電力值的調整也可以利用上述的供電控制裝置(第1、第2供電控制裝置)進行。

另外，雖然進行這樣的加熱處理后會在容納區域R中產生煤等，但因為容納區域R被隔焰板7包圍，所以煤等幾乎不會附著在加熱器5上。即，能夠使加熱器5長時間保持良好的狀態，從而能夠擴大加熱器5的維護間隔。

進行了預先設定的時間的這樣的熱處理后，停止由加熱器5進行的加熱。

然后，也停止由真空泵進行的減壓，從加熱室2內取出被處理物W。之后，將新的被處理物W設置在加熱室2內，通過重復上述的操作，也能夠對新的被處理物W進行熱處理。

以上那樣的本實施方式的熱處理裝置1具備了對加熱室2的內部的容納區域R的下部進行加熱的下加熱器5a與對上部進行加熱的上加熱器5b。因此，根據本實施方式的熱處理裝置1，能夠單獨地控制容納區域R的下部與上部的溫度。因此，在容納區域R的下部相對上部溫度較低的情況下，通過僅使下加熱器5a的輸出增加，能夠使容納區域R的內部溫度均勻化。因此，根據本實施方式的熱處理裝置1，能夠抑制加熱室2的內部(容納區域R)的溫度不均勻的產生，從而均勻地加熱被處理物W。

此外，本實施方式的熱處理裝置1具備了配置在下加熱器5a以及上加熱器5b與容納區域R之間的隔焰板7。因此，從下加熱器5a以及上加熱器5b輻射的熱量傳遞給隔焰板7后向上下(進而在圓周方向上)分散。因此，能夠更均勻地加熱被處理物W。此外，通過被隔焰板7遮擋，能夠抑制在容納區域R產生的煤等附著在加熱器5上。

此外，在本實施方式的熱處理裝置1中，加熱器5為電加熱器，并且具備對所有的下加熱器5a供電的下加熱器用電源單元6a和對所有的上加熱器5b供電的上加熱器用電源單元6b。因此，利用下加熱器用電源單元6a能夠進行所有的下加熱器5a的溫度調整。此外，利用上加熱器用電源單元6b能夠進行所有的上加熱器5b的溫度調整。

因此，在本實施方式的熱處理裝置1中，能夠容易且正確地進行加熱器5的溫度控制。

(第2實施方式)

以下，參照圖5～9，對本發明的第2實施方式的熱處理裝置進行說明。在本實施方式中，有時對于具有與上述的第1實施方式同樣的構成以及功能的構成元件中，賦予與上述第1實施方式相同的附圖標記并且省略了重復的說明。

圖5是示出本發明的第2實施方式中的熱處理裝置1A的概略構成的縱剖視圖。圖5的紙面上側表示裝置中的垂直方向上側。熱處理裝置1A雖然與上述第1實施方式同樣具備多個加熱器5，但本實施方式的加熱器5具備多個下加熱器5d以及多個上加熱器5e來代替上述第1實施方式的下加熱器5a以及上加熱器5b。

圖6是熱處理裝置1A的加熱室2內配置的多個加熱器5(下加熱器5d以及上加熱器5e)的側面展開圖。下加熱器5d以及上加熱器5e分別形成為大致U字狀，其上部固定于支承部12。下加熱器5d以及上加熱器5e設置為從支承部12向下方延伸。下加熱器5d在垂直方向上的長度設定為比上加熱器5e在垂直方向上的長度大。

下加熱器5d具有：一對下加熱器主體5d1，在垂直方向上延伸；下加熱器連結部5d2，將這些一對下加熱器主體5d1的下端部(端部)相互連結；并且下加熱器5d整體形成為大致U字狀。下加熱器主體5d1形成為在垂直方向上延伸的棒狀；下加熱器連結部5d2形成為在水平方向上延伸的棒狀。下加熱器5d為電加熱器。即，下加熱器主體5d1為電加熱器，構成為能夠通過通電而發熱。包含下加熱器主體5d1的下端的部位(圖5、6中附加了交叉影線的部位)做成發熱區域，加熱容納區域R的下部。一對下加熱器主體5d1的一方的上端部上設置有作為電力輸入側端子的正端子5d3，一對下加熱器主體5d1的另一方的上端部上設置有作為電力輸出側端子的負端子5d4。即，與上述第1實施方式不同，在本實施方式的下加熱器主體5d1上僅設置有正端子5d3以及負端子5d4的一方。下加熱器連結部5d2具有導電性，構成為能夠從一對下加熱器主體5d1的一方向另一方通電。因此，若向下加熱器5d的正端子5d3供給電力，則能夠使一對下加熱器主體5d1都發熱。下加熱器連結部5d2既可以僅由導電材料構成，也可以做成由絕緣材料包覆導電材料(電線)的構成。

上加熱器5e具有：一對上加熱器主體5e1，在垂直方向上延伸；上加熱器連結部5e2，將這些一對上加熱器主體5e1的下端部(端部)相互連結；并且上加熱器5e整體形成為大致U字狀。上加熱器主體5e1形成為在垂直方向上延伸的棒狀；上加熱器連結部5e2形成為在水平方向上延伸的棒狀。上加熱器5e也與下加熱器5d同樣為電加熱器。即，上加熱器主體5e1為電加熱器，構成為能夠通過通電而發熱。包含上加熱器主體5e1的下端的部位(圖5、6中附加了交叉影線的部位)做成發熱區域，加熱容納區域R的上部。一對上加熱器主體5e1的一方的上端部上設置有作為電力輸入側端子的正端子5e3，一對上加熱器主體5e1的另一方的上端部上設置有作為電力輸出側端子的負端子5e4。即，與上述第1實施方式不同，在本實施方式的上加熱器主體5e1上僅設置有正端子5e3以及負端子5e4的一方。上加熱器連結部5e2具有導電性，構成為能夠從一對上加熱器主體5e1的一方向另一方通電。因此，若向上加熱器主體5e的正端子5e3供給電力，則能夠使一對上加熱器主體5e1都發熱。上加熱器連結部5e2既可以僅由導電材料構成，也可以做成由絕緣材料包覆導電材料(電線)的構成。

下加熱器主體5d1以及上加熱器主體5e1的各上端部固定于支承部12，因此，下加熱器主體5d1以及上加熱器主體5e1設置為從支承部12向下方延伸。因為下加熱器主體5d1的垂直方向上的長度設定為比上加熱器主體5e1的垂直方向上的長度大，所以下加熱器主體5d1的下端部位于上加熱器主體5e1的下端的下方。即，下加熱器連結部5d2位于上加熱器連結部5e2下方。

圖7以及圖8都是圖5的B-B線向視圖，圖7示出了下加熱器用電源單元6a的接線輸入側單元6a1與下加熱器5d由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元6b的接線輸入側單元6b1與上加熱器5e由耐熱電線連接的接線狀態。圖8示出了下加熱器用電源單元6a的接線輸出側單元6a2與下加熱器5d由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元6b的接線輸出側單元6b2與上加熱器5e由耐熱電線連接的接線狀態。此外，圖9是示出下加熱器用電源單元6a與下加熱器5d由耐熱電線連接的接線狀態、以及上加熱器用電源單元6b與上加熱器5e由耐熱電線連接的接線狀態的布線圖。

本實施方式的熱處理裝置1A具備3個下加熱器5d和3個上加熱器5e。多個加熱器5(下加熱器5d以及上加熱器5e)排列在加熱室2(側壁部2a)的圓周方向上。此外，一對下加熱器主體5d1也在上述圓周方向上排列配置，一對上加熱器主體5e1也在上述圓周方向上排列配置。

如圖7以及圖9所示，本實施方式的接線輸入側單元6a1具備1個電極棒6a3和電氣地連接在該電極棒6a3上的1根母線6a4。母線6a4分別經由耐熱電線連接在3個下加熱器5d(3對下加熱器主體5d1)上的3個正端子5d3上。即，母線6a4具有用于連接3根耐熱電線的3個端子，并且電氣地連接電極棒6a3與這些耐熱電線。如圖8以及圖9所示，本實施方式的接線輸出側單元6a2具備1個電極棒6a5和電氣地連接在該電極棒6a5上的1根母線6a6。母線6a6分別經由耐熱電線連接在3個下加熱器5d(3對下加熱器主體5d1)上的3個負端子5d4上。即，母線6a6具有用于連接3根耐熱電線的3個端子，并且電氣地連接電極棒6a5與這些耐熱電線。

如圖7以及圖9所示，本實施方式的接線輸入側單元6b1具備1個電極棒6b3和電氣地連接在該電極棒6b3上的1根母線6b4。母線6b4分別經由耐熱電線連接在3個上加熱器5e(3對上加熱器主體5e1)上的3個正端子5e3上。即，母線6b4具有用于連接3根耐熱電線的3個端子，并且電氣地連接電極棒6b3與這些耐熱電線。如圖8以及圖9所示，本實施方式的接線輸出側單元6b2具備1個電極棒6b5和電氣地連接在該電極棒6b5上的1根母線6b6。母線6b6分別經由耐熱電線連接在3個上加熱器5e(3對上加熱器主體5e1)上的3個負端子5e4上。即，母線6b6具有用于連接3根耐熱電線的3個端子，并且電氣地連接電極棒6b5與這些耐熱電線。

電極棒6a3以及6a5上也可以連接能夠輸出所希望的電力的未圖示的供電控制裝置(第1供電控制裝置)，因此，下加熱器用電源單元6a也可以構成為對下加熱器5d供給電力而使下加熱器5d發熱。電極棒6a3以及6a5上也可以連接能夠輸出所希望的電力的未圖示的供電控制裝置(第2供電控制裝置)，因此，上加熱器用電源單元6b也可以構成為對上加熱器5e供給電力而使上加熱器5e發熱。

根據該第2實施方式，能夠同樣獲得上述第1實施方式中示出的所有的效果。此外，在第2實施方式中，因為利用加熱器連結部將一對加熱器主體相互地連結，所以在1個下加熱器主體5d1上僅設置正端子5d3以及負端子5d4中的一方，在1個下加熱器主體5e1上僅設置正端子5e3以及負端子5e4中的一方。因此，與在1個加熱器主體上都設置了正端子和負端子的上述第1實施方式相比，能夠使連接下加熱器以及上加熱器與電極棒的耐熱電線的根數為1/2。因為在布線空間設置的電線的數量變少，所以能夠充分地設置用于確保絕緣的部件，從而能夠容易地確保耐熱電線間的絕緣。此外，因為布線的電線數量減少，所以能夠都削減材料費用以及布線作業費用。進而，因為利用加熱器連結部將一對加熱器主體相互地連結，所以能夠提高由一對加熱器主體構成的單個加熱器的剛性，從而能夠防止在維護等中的加熱器的破損。

此外，在第2實施方式中，電極棒與母線的位置關系與上述第1實施方式相反，母線是用于將在加熱器上連接的多根耐熱電線與1個電極棒相連接。因此，與上述第1實施方式相比，能夠削減電極棒的根數。

以上，雖然參照附圖對優選的實施方式進行了說明，但本發明的內容并不限定于上述實施方式。在上述的實施方式中示出的各構成部件的各種形狀或組合等為一例，在不脫離本發明的主旨的范圍內，基于設計要求等能夠進行構成的負載、省略、置換以及其他的變更。

例如，在上述第1實施方式中，對下加熱器5a與上加熱器5b各自為6根的構成進行了說明。然而，本發明并不限定于此，也可以變更下加熱器5a與上加熱器5b的設置根數。在對下加熱器與上加熱器要求的發熱量不同的情況下，既可以使下加熱器與上加熱器的發熱性能不同，也可以使下加熱器與上加熱器的設置根數不同。在使設置根數不同的情況下，例如，可以考慮使2根下加熱器與1根上加熱器交替地在圓周方向上排列。此外，也可以不使下加熱器5a與上加熱器5b交替地以等間隔排列。在上述第2實施方式中，也可以變更下加熱器5d與上加熱器5e的設置根數或發熱性能。

在上述實施方式中，雖然下加熱器以及上加熱器被固定于設置在加熱室2的上部的支承部12，但從抑制加熱室2的上部與下部的溫度偏差的目的來看，支承部也可以配置在加熱室的下部，下加熱器以及上加熱器也可以設置為從這樣的支承部向上方延伸。在該情況下，下加熱器的長度設定為比上加熱器的長度小。

在第1實施方式與第2實施方式中，雖然電極棒與母線的位置關系相互相反，但也可以將第1實施方式中的電極棒以及母線的構成應用于第2實施方式，此外，也可以將第2實施方式中的電極棒以及母線的構成應用于第1實施方式。

在上述實施方式中，雖然使用了作為電加熱器的下加熱器以及上加熱器，但本發明并不限定于此，也可以將例如使用燃燒氣體的燃燒熱的加熱器(燃燒器)作為本發明的下加熱器以及上加熱器使用。

在上述實施方式中，雖然加熱器2或隔熱材料3形成為圓筒狀，但本發明并不限定于該構成，也可以形成為圓筒狀以外的形狀、例如方筒狀。

此外，在上述實施方式中，對將本申請的權利要求書中記載的特征應用于熱處理裝置1的例子進行了說明。然而，本發明并不限定于上述實施方式，也能夠將上述特征應用于真空滲碳爐等。

工業實用性

本發明能夠在具備加熱器的加熱室內加熱處理被處理物的熱處理裝置中使用。

附圖標記說明

1、1A 熱處理裝置

2 加熱室

2a 側壁部

2b 底部

2b1 底部框體

2b2 底部主體

2c 蓋部

3 隔熱材料

3a 下部隔熱材料

3b 側部隔熱材料

3c 上部隔熱材料

3c1 蓋部

3c2 貫通孔

4 載置臺

5 加熱器

5a 下加熱器

5b 上加熱器

5c 凸緣

5d 下加熱器

5d1 下加熱器主體

5d2 下加熱器連結部

5d3 正端子(輸入側端子)

5d4 負端子(輸出側端子)

5e 上加熱器

5e1 上加熱器主體

5e2 上加熱器連結部

5e3 正端子(輸入側端子)

5e4 負端子(輸出側端子)

6 電源單元

6a 下加熱器用電源單元

6a1 接線輸入側單元

6a2 接線輸出側單元

6a3 電極棒

6a4 母線

6a5 電極棒

6a6 母線

6b 上加熱器用電源單元

6b1 接線輸入側單元

6b2 接線輸出側單元

6b3 電極棒

6b4 母線

6b5 電極棒

6b6 母線

7 隔焰板(熱傳導分隔壁)

8 氣體供給部

9 第1排氣管

10 第2排氣管

11 攪拌機

11a 驅動部

11b 驅動軸

11c 攪拌葉片

12 支承部

R 容納區域

W 被處理物

權利要求書(按照條約第19條的修改)

1.一種熱處理裝置，對被處理物進行加熱處理，

具備：

加熱室，在內部容納所述被處理物；

多個下加熱器，為電加熱器，對所述加熱室內容納所述被處理物的區域即容納區域的下部進行加熱；

多個上加熱器，為電加熱器，對所述容納區域的上部進行加熱；

熱傳導分隔壁，配置在所述多個下加熱器以及所述多個上加熱器與所述容納區域之間；

上加熱器用電源單元，對所有的所述多個上加熱器供電；

下加熱器用電源單元，對所有的所述多個下加熱器供電。

2.一種熱處理裝置，對被處理物進行加熱處理，

具備：

加熱室，在內部容納所述被處理物；

下加熱器，對所述加熱室內容納所述被處理物的區域即容納區域的下部進行加熱；

上加熱器，對所述容納區域的上部進行加熱；

熱傳導分隔壁，配置在所述下加熱器以及所述上加熱器與所述容納區域之間；

所述下加熱器具有：

一對下加熱器主體，在垂直方向上延伸；

下加熱器連結部，將該一對下加熱器主體的端部相互地連結；

所述上加熱器具有：

一對上加熱器主體，在垂直方向上延伸；

上加熱器連結部，將該一對上加熱器主體的端部連結。

3.如權利要求2所述的熱處理裝置，其特征在于，

所述下加熱器以及所述上加熱器為電加熱器；

所述下加熱器連結部以及所述上加熱器連結部具有導電性，構成為能夠從一對加熱器主體中的一方向另一方通電；

在所述一對下加熱器主體中的一方設置有電力輸入側端子，在所述一對下加熱器主體中的另一方設置有電力輸出側端子；

在所述一對上加熱器主體中的一方設置有電力輸入側端子，在所述一對上加熱器主體中的另一方設置有電力輸出側端子。