一種廢氣處理裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種廢氣處理裝置。更具體地說，本發明涉及一種用于處理半導體制造工藝中產生的廢氣的廢氣處理裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制作工藝中需要使用多種特殊氣體以及大量的酸或堿，在半導體制造的不同工藝中使用并產生大量的廢氣，這些廢氣通過排風系統收集并處理，以防止直接排放對環境以及人們的身體健康造成的嚴重后果。
[0003]半導體制作工藝中產生的廢氣一般采取水洗、燃燒、吸附、解離等方法，然而燃燒水洗式去除廢氣的方法能有效處理廢氣中的主要廢棄物PFCs，能處理大流量的廢氣，同時去除各種可燃性的污染物，對環境污染較少，但是燃燒室內氣體燃盡的灰燼以及高溫對燃燒室內壁容易造成結垢，降低燃燒室的使用壽命，一般對燃燒室進行定期清理，但常以刮刀直接在燃燒室的內壁上采用強力去除，對燃燒室的結構造成破壞，仍舊會降低其使用壽命，同時，刮刀一般通過軸直接設置于燃燒室內，要求刮刀和軸具有耐火耐高溫的特性，另外，廢氣的處理除了燃燒之外，一般多采用水洗或其他酸堿性液體洗滌，但是一般采用噴嘴使用于洗滌或吸收的液體噴出，噴嘴噴出的液體流量有限，造成廢氣處理的效率較低，且增加了用于洗滌或吸收的液體的用量，造成不必要的資源浪費。
【發明內容】
[0004]本發明的一個目的是解決至少上述問題和/或缺陷，并提供至少后面將說明的優點。
[0005]本發明還有一個目的是提供一種廢氣處理裝置，在燃燒室的內壁設置光面層，減少燃燒室內壁吸附燃燒產生的固體顆粒，設置隔熱層以防止工作人員被燃燒室燙傷；
[0006]本發明還有一個目的是通過設計一種帶有夾層的噴淋管，通過在噴淋管內壁沿其圓周方向間隔設置貫通孔，可以充分增加液體的流量，增加液體與氣體的接觸面，從而提高液體水洗對廢氣的處理能力；
[0007]本發明還有一個目的是通過設置一個可拆卸的內壁清潔裝置，在不使用時可以取出，降低了對主軸及刮刀的性能要求，通過在主軸上設置滑槽，方便更換毛刷和刮刀，提高了主軸的使用壽命，結合內壁的結垢程度，對燃燒室內壁進行處理。
[0008]為了實現根據本發明的這些目的和其它優點，提供了一種廢氣處理裝置，包括:
[0009]燃燒室，其為中空的圓柱形筒體，所述燃燒室的上部設有第一進氣口，其與第一進氣管連通，其下部設有第一排氣口，其中，所述燃燒室由外至內依次為隔熱層、粘層和光面層；
[0010]第一沉降池，其位于所述燃燒室的下方，所述第一沉降池上方有第一開口，其側壁靠近所述第一開口的上部設有第二排氣口，其側壁靠近所述第一沉降池底部的部位設有第一排水口 ；
[0011]第一噴淋管，其連接所述第一排氣口與所述第一開口，所述第一噴淋管為中空的圓柱體，其內壁與外壁之間設有一容置空間，所述第一噴淋管的內壁上設有三層沿其圓周方向設置的多個間隔排列的圓形通孔，所述第一噴淋管的外壁上設有一連接控制閥的入水孔；
[0012]第二沉降池，其側壁的上部設有第二進氣口，所述第二進氣口通過一導管與所述第二排氣口連通，所述第二沉降池的上部設有第二開口，所述第二沉降池的側壁靠近所述第二沉降池底部的部位設有第二排水口；
[0013]第二噴淋管，其一端與所述第二開口連通，另一端與大氣連通。
[0014]優選的是，所述的廢氣處理裝置，還包括內壁清潔裝置，其包括:
[0015]主軸，其可拆卸地豎直設置在所述燃燒室內，所述主軸沿其軸向方向上相對設有兩個滑槽；
[0016]電機，其連接所述主軸并驅動所述主軸沿所述燃燒室的圓周方向運動；
[0017]毛刷，其通過所述兩個滑槽的其中一個滑槽與所述主軸可拆卸連接；
[0018]刮刀，其通過另一個滑槽與所述主軸可拆卸連接。
[0019]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述主軸沿其軸向方向上設有竹節伸縮結構。
[0020]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管與所述第二沉降池之間設有與兩者相連通的第三噴淋管。
[0021]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管與所述第三噴淋管均為中空的圓柱體，其內壁與外壁之間均設有一容置空間，所述第二噴淋管和所述第三噴淋管的外壁上設有一連接控制閥的入水孔，其中，所述第三噴淋管的內壁上設有兩層沿其圓周方向設置的多個間隔排列的圓形通孔，所述第二噴淋管的內壁上設有一層沿其圓周方向設置的多個間隔排列的圓形通孔。
[0022]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述圓形通孔的孔徑為0.5-1.5mm。
[0023]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第一沉降池的第一排水口與所述第二沉降池的第二排水口均連接有流量控制閥。
[0024]優選的是，所述的廢氣處理裝置，所述第二噴淋管、所述第三噴淋管和所述第二沉降池均通過耐腐蝕材料制成。
[0025]本發明至少包括以下有益效果:
[0026]I)在燃燒室的內壁設置光面層，減少燃燒室內壁吸附燃燒產生的固體顆粒，設置隔熱層以防止工作人員被燃燒室燙傷；
[0027]2)通過設計一種帶有夾層的噴淋管，通過在噴淋管內壁沿其圓周方向間隔設置貫通孔，可以充分增加液體的流量，增加液體與氣體的接觸面，從而提高液體水洗對廢氣的處理能力；
[0028]3)通過設置一個可拆卸的內壁清潔裝置，在不使用時可以取出，降低了對主軸及刮刀的性能要求，通過在主軸上設置滑槽，方便更換毛刷和刮刀，提高了主軸的使用壽命，結合內壁的結垢程度，對燃燒室內壁進行處理；
[0029]4)通過設置第二噴淋管和第三噴淋管，對廢氣進一步通過水洗的方式處理，提高氣體的凈化率，降低對環境的污染；
[0030]5)噴淋管上圓形通孔的孔徑為0.5-1.5mm，孔徑過大，液體沿噴淋管的內壁流下，無法以流線射出，與氣體接觸少，對氣體的處理能力較差，孔徑過小，水流量太小，無法將氣體中攜帶的固體顆粒吸附，也無法將氣體中的有害成分去除。
[0031]本發明的其它優點、目標和特征將部分通過下面的說明體現，部分還將通過對本發明的研宄和實踐而為本領域的技術人員所理解。
【附圖說明】
[0032]圖1為本發明的廢氣處理裝置的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0033]下面結合附圖對本發明做進一步的詳細說明，以令本領域技術人員參照說明書文字能夠據以實施。
[0034]應當理解，本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術語并不配出一個或多個其它元件或其組合的存在或添加。
[0035]圖1示出了根據本發明的一種實現形式，一種廢氣處理裝置，包括:
[0036]燃燒室1，其為中空的圓柱形筒體