一種硒蒸汽的制備裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于砸蒸汽制備技術領域，尤其涉及一種砸蒸汽的制備裝置。
【背景技術】
[0002]銅銦鎵砸是一種新型的薄膜材料，具有吸收好、厚度薄、抗輻射、弱光發電量大、太陽光譜匹配佳、轉化效率高等優勢，已被廣泛認可并作為未來輕薄光伏材料的不二之選。制備銅銦鎵砸吸收層最常用的方法是制備金屬預制層再進行后砸化，而高溫砸化方法通常有砸蒸汽導入、砸化氫導入以及蒸發砸預制層熱處理三種方法。砸化氫因其劇毒的特性在工業界不被普遍使用，另外兩種方法都涉及到砸蒸汽的制備，而砸蒸汽在高溫下對大多數金屬有腐蝕作用，同時由于其優先冷凝的特性，在導入通道中的任何低溫區都可導致砸固體的堆積而堵塞，從而其制備較困難，對制備設備要求較高，現有技術中缺乏一種安全有效地砸蒸汽制備裝置。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的在于提供一種砸蒸汽的制備裝置，旨在解決現有技術中缺乏一種安全有效的砸蒸汽制備裝置的問題。
[0004]本實用新型的技術方案是:一種砸蒸汽的制備裝置，其包括底座、設于所述底座上的箱體、設于所述箱體內的砸固體加熱裝置，所述箱體上設置有一用于抽真空用的排氣口及一用于向所述箱體內填充氮氣的進氣口 ；所述砸固體加熱裝置包括具有內腔的加熱罐、均勻纏繞于所述加熱罐外壁上的加熱絲，所述砸蒸汽的制備裝置還包括與所述加熱罐的內腔相連通的砸蒸汽應用模塊，所述加熱罐上設有一第一控制閥，以控制所述加熱罐與所述砸蒸汽應用模塊之間的通斷狀態；所述加熱罐上連通有一用于向所述加熱罐內填充氮氣的進氣管，所述加熱罐上還設置有一第二控制閥，以控制所述進氣管與所述加熱罐的通斷狀
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[0005]進一步地，所述加熱罐和所述砸蒸汽應用模塊通過通氣導管連通。
[0006]進一步地，所述通氣導管包括內管和套設于所述內管上的外管，所述內管和所述外管之間夾設有加熱絲；所述進氣管的結構和所述通氣導管的結構相同。
[0007]具體地，所述加熱罐包括采用陶瓷制作的內膽和套設于所述內膽上的不銹鋼外層O
[0008]進一步地，所述第一控制閥和所述第二控制閥均設于所述加熱罐的頂部，且所述第一控制閥和所述第二控制閥的外側套設有用于加熱所述第一控制閥和所述第二控制閥的加熱絲，以用于加熱所述第一控制閥和所述第二控制閥。
[0009]進一步地，所述箱體滑動連接于所述底座上。
[0010]進一步地，所述底座上設有導軌，所述箱體的底部設置有與所述導軌滑動連接的滑塊。
[0011]具體地，所述滑塊設置有四個，所述四個滑塊兩兩分設于所述箱體的相對兩側。
[0012]進一步地，所述箱體的一側壁上具有一箱門，所述箱門上具有一視窗。
[0013]進一步地，所述加熱罐內設置有一豎直導管，所述豎直導管與所述第一控制閥連通。
[0014]本實用新型提供的砸蒸汽的制備裝置，其通過密封箱體內設置加熱罐，加熱罐內可將砸固體蒸發成砸蒸汽，并于箱體內填充氮氣，從而使得加熱罐可被氮氣層包圍，為砸蒸汽提供較安全的防護措施，同時，通過于加熱罐上連接一通氣導管將砸蒸汽傳導至砸蒸汽應用模塊中，由于通氣導管內亦夾設有加熱絲，從而砸蒸汽在通過通氣導管時可避免發生冷凝，從而，不僅使得加熱罐可穩固、安全地對砸固體進行加熱制成砸蒸汽，且制備的砸蒸汽可穩定地傳輸導入砸蒸汽應用模塊中，從而解決了現有技術中如何安全有效地制備砸蒸汽的問題。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型實施例提供的砸蒸汽的制備裝置的立體示意圖；
[0016]圖2是本實用新型實施例提供的加熱罐的立體示意圖；
[0017]圖3是本實用新型實施例提供的加熱罐的爆炸示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0019]如圖1至圖3所示，為本實用新型實施例提供的砸蒸汽的制備裝置的示例圖，其包括底座1、設于底座I上的箱體2、設于箱體2內的砸固體加熱裝置3，箱體2上設置有一用于抽真空用的排氣口及一用于向箱體2內填充氮氣的進氣口(圖未示出)，這樣，可將箱體2內抽真空后，向箱體2內填充氮氣，從而為箱體2內的砸固體加熱裝置3提供防護，將砸蒸汽隔離，防止其泄露，避免其與金屬接觸而腐蝕金屬，具體地，砸固體加熱裝置3包括具有內腔的加熱罐31、均勻纏繞于加熱罐31外壁上的加熱絲4，從而可對加熱罐31進行均勻加熱，砸蒸汽的制備裝置還包括與加熱罐31的內腔相連通的砸蒸汽應用模塊5，該砸蒸汽應用模塊5可為CIGS的快速退火爐或是蒸發鍍膜設備，可根據砸蒸汽的應用目的而具體進行選擇，加熱罐31上設有一第一控制閥311，以控制加熱罐31與砸蒸汽應用模塊5之間的通斷狀態；加熱罐31上連通有一用于向加熱罐31內填充氮氣的進氣管312，這樣，可向加熱罐31內填充氮氣，從而便于調節加熱罐31內的氣壓，又可保證砸蒸汽的穩定，加熱罐31上還設置有一第二控制閥313，以控制進氣管312與加熱罐31的通斷狀態，從而便于對氮氣的填充進行控制。
[0020]進一步地，加熱罐31和砸蒸汽應用模塊5通過通氣導管314連通，即通過通氣導管314讓加熱罐31內的砸蒸汽進入到砸蒸汽應用模塊5中。作為一較佳實施方式，為保證加熱罐31和砸蒸汽應用模塊5之間的氣流發生更好的交換，可于加熱罐31內插設一根豎直導管6，該豎直導管6的上端與通氣導管314相連通，從而更有利于加熱罐底部的氣流流向砸蒸汽應用模塊5中。
[0021]本實用新型提供的砸蒸汽的制備裝置，其通過于一密封箱體2內設置加熱罐31，加熱罐31內可將砸固體蒸發成砸蒸汽，并于箱體2內填充氮氣，從而使得加熱罐31可被氮氣層包圍，為砸蒸汽提供較安全的防護措施，同時，通過于加熱罐31上連接一通氣導管314將砸蒸汽傳導至砸蒸汽應用模塊5中，由于通氣導管314內亦夾設有加熱絲，從而砸蒸汽在通過通氣導管314時可避免發生冷凝，從而，不僅使得加熱罐可穩固、安全地對砸固體進行加熱制成砸蒸汽，且制備的砸蒸汽可穩定地傳輸導入砸蒸汽應用模塊5中，從而解決了現有技術中如何安