用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的制作方法

本發明涉及用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器，更具體地，本發明涉及用于進行蒸汽清潔的這樣的一種蒸汽發生器，在該蒸汽發生器中，多個加熱棒依次布置在本體板內，并且清潔液加熱管線以圍繞所述多個加熱棒的形式布置在整個本體板中，使得能夠提高對流動通過清潔液加熱管線的清潔液進行加熱的性能并且能夠增加流動通過清潔液加熱管線的清潔液的加熱時間，由此能夠提高產生蒸汽的效率。

背景技術：

近來，信息處理設備已快速發展成具有多種功能和更高的處理速度。這種信息處理設備包括用于顯示已處理信息的顯示面板。隨著近來技術的發展，重量輕且占據較小空間的液晶顯示器(lcd)等平板顯示器已被廣泛使用。

在制造平板顯示器時，需要進行各種工序。在這些工序中，清潔工序用以去除附著在基底上的諸如顆粒之類的異物。另外，進行清潔工序是為了將諸如薄膜晶體管之類的設備的損耗減至最小并且因而提高生產收率。

在常規的清潔工序中，通過向基底供水或者物理地擦刷基底而將異物從基底上去除。在清潔工序中當擦刷基底時，幾十微米的相對較大的顆粒容易從基底上去除，但幾納米的相對較小的顆粒不容易從基底上去除。

當用水清潔基底時，隨著基底的尺寸變得較大，清潔工序中會使用大量的水。為了提高清潔基底的效率，高溫且高壓的水被直接噴射至基底。然而，在清潔工序中在將水噴射至基底的情況下，很難提供用于將清潔大基底所需的這些大量的水加熱至高溫的加熱器。盡管是用水清潔基底，但和擦刷基底的情況一樣，小于幾微米的細小顆粒也不容易從基底上去除。

為了解決這些問題，韓國專利no.10-0732519(名稱為“apparatusandmethodfortreatingsubstrate”)中提出了通過在高溫高壓下將蒸汽噴射至基底來清潔基底的技術。

在該相關技術中，蒸汽發生器通過用清潔液填充殼體并且然后使用加熱器而產生蒸汽。然而，在這種情況下，由于是通過加熱填充于殼體中的清潔液而產生蒸汽的，因此產生蒸汽要花費很長的時間、消耗比實際所需更多的能量，并且很難連續不斷地產生恒定量的蒸汽。

技術實現要素：

因此，構想了本發明以解決上述問題，并且本發明的一方面在于提供用于進行蒸汽清潔的這樣的一種蒸汽發生器，在該蒸汽發生器中，多個加熱棒依次布置在本體板內，并且清潔液加熱管線以圍繞所述多個加熱棒的形式布置在整個本體板中，使得能夠提高對流動通過清潔液加熱管線的清潔液進行加熱的性能并且能夠增加流動通過清潔液加熱管線的清潔液的加熱時間，由此能夠提高產生蒸汽的效率。

本發明的另一方面在于提供用于進行蒸汽清潔的這樣的一種蒸汽發生器，在該蒸汽發生器中，根據本發明的實施方式的清潔液加熱管線與本體板的內側進行表面接觸，使得能夠改善清潔液加熱管線的熱傳遞，由此提高熱傳遞效率。

根據本發明的實施方式，提供了用于進行蒸汽清潔的這樣的一種蒸汽發生器，該蒸汽發生器包括：本體板，該本體板由金屬制成；多個加熱棒，所述多個加熱棒沿某一方向插入在本體板中，并且以彼此間隔的方式依次布置；以及清潔液加熱管線，該清潔液加熱管線圍繞所述多個加熱棒布置，并且該清潔液加熱管線將通過清潔液入口管線引入且在清潔液入口管線中流動的清潔液加熱成以蒸汽的形式通過蒸汽出口管線被排出。

本體板可以包括：第一板，該第一板形成有沿某一方向設置的且用于在其中接納加熱棒的插入安裝孔；第三板，該第三板與第一板的第一表面進行表面接觸，使得清潔液加熱管線的一部分能夠被插置于第一板與第三板之間；以及第五板，該第五板與第一板的第二表面進行表面接觸，使得清潔液加熱管線的其余部分能夠被插置于第一板與第五板之間。

清潔液加熱管線可以包括沿上下方向依次布置的單位管線，每個單位管線可以包括一對第一管線和第二管線，第一管線可以布置在第一板與第三板之間并且橫向于所述某一方向，第二管線可以布置在第一板與第五板之間并且橫向于所述某一方向，單位管線的第一管線的第一端和第二管線的第一端可以通過水平連接管線彼此連接，單位管線的第一管線的第二端可以通過第一豎向連接管線連接至另一相鄰的單位管線的第一管線的第二端，并且單位管線的第二管線的第二端可以通過第二豎向連接管線連接至另一相鄰的單位管線的第二管線的第二端。

第一管線可以布置成與形成在第一板的第一表面上的第一表面凹槽和形成在第三板上且面向第一表面凹槽的第三凹槽進行表面接觸，并且第二管線可以布置成與形成在第一板的第二表面上的第二表面凹槽和形成在第五板上且面向第二表面凹槽的第五凹槽進行表面接觸。

附圖說明

根據結合附圖進行的對示例性實施方式的以下描述，本發明的上述方面和/或其他方面將變得明顯，并且將更容易理解本發明的上述方面和/或其他方面，其中，在附圖中：

圖1為具有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的蒸汽清潔系統的示意圖；

圖2為根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的局部立體圖，圖3為圖2的正視圖，圖4為圖3的示意圖；

圖5為根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的平面圖，圖6為圖5的示意圖；

圖7為示出根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的右側的視圖，圖8為圖7的示意圖；

圖9為示出根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的左側的視圖，圖10為圖9的示意圖；

圖11為根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的局部放大立體圖；

圖12為具有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的蒸汽產生模塊的立體圖；以及

圖13為具有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的蒸汽產生模塊的分解立體圖。

具體實施方式

關于上述問題、解決方案和效果，下面將參照附圖對根據本發明的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的示例性實施方式進行描述。

為了描述清楚方便起見，附圖中可以放大元件的尺寸、形狀等。另外，考慮到元件的結構和功能而具體定義的術語可以根據用戶和操作人員的意向或習慣而改變。

圖1為具有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100的蒸汽清潔系統的示意圖。

如圖1中所示，具有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100的蒸汽清潔系統包括用于存儲用作清潔液的di的清潔液儲箱200、用于將di泵出清潔液儲箱200且供給di的清潔液泵300、用于由所供給的di產生蒸汽且供給蒸汽的蒸汽發生器100、以及蒸汽噴射模塊400，其用于將由用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100產生且由用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100供給的蒸汽噴射至安置在室中的基底。

用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100基于溫度壓力控制對供給的清潔液進行加熱并且然后通過清潔液的相變而產生蒸汽，由此向蒸汽噴射模塊400供給蒸汽。然后，布置在所述室內布置在上側處的蒸汽噴射模塊400將蒸汽噴射至在所述室內以恒定的速度移動的基底，或者蒸汽噴射模塊400沿一定方向移動以將蒸汽噴射至靜止的基底。

根據本發明的實施方式的用于產生且供給蒸汽的蒸汽發生器100可以將清潔液加熱至發生相變以便產生蒸汽。替代性地，可以增設控制裝置用以通過周圍的閥而控制壓力并且引起相變，由此產生蒸汽。

圖2至圖11中示出了根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100。

如圖2至圖11中所示，根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100包括本體板10、插入在本體板10中且布置在本體板10內的多個加熱棒30、以及圍繞所述多個加熱棒30布置的清潔液加熱管線50，其中，清潔液加熱管線50通過由加熱棒30傳遞的熱而使在清潔液加熱管線50中流動的清潔液被加熱，并且因而使其發生相變，以便產生蒸汽。

本體板10指的是形成根據本發明的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的本體的板。本體板10可以由熱導率高的金屬制成。例如，本體板10可以由與其他金屬相比重量相對較輕、便宜且導熱性優異的鋁制成。

本體板10可以呈各種形狀，例如，矩形、圓盤形等各種多邊形形狀或圓形形狀。考慮到所述多個加熱棒30的插入布置以及清潔液加熱管線的布置，在該實施方式中，本體板10是具有預定厚度的矩形板。

所述多個加熱棒30并排地插入并布置在本體板10中。換言之，所述多個加熱棒30沿本體板10的某一方向插入并布置，并且加熱棒彼此平行且彼此間隔預定距離。簡言之，所述多個加熱棒30沿本體板10的某一方向插入且以彼此間隔的方式依次布置。

為了將所述多個加熱棒30插入并布置在本體板10內，本體板10形成有用以接納所述多個加熱棒30的多個插入安裝孔12。具體地，所述多個插入安裝孔12形成在第一板11(隨后將會描述)中。

如上所述，所述多個加熱棒30均沿某一方向(即，沿圖3的豎向方向)插入在本體板10中，并且以彼此之間留有預定距離的方式依次并排布置。

所述多個加熱棒30可以以距相鄰的加熱棒等距的方式布置。然而，與本體板10的中部相比，本體板10的邊緣處的熱損失多且溫度低，因此，依次并排布置在本體板10的邊緣處的多個加熱棒30之間的距離可以與布置在本體板10的中部處的加熱棒之間的距離不同。

具體地，圖3示出所述多個加熱棒30沿水平方向依次等距地布置。然而，布置在兩個邊緣處的加熱棒(例如，圖3中示出的二十個加熱棒中的左邊的五個加熱棒和右邊的五個加熱棒)之間的距離可以比布置在中部處的加熱棒(例如，圖3中示出的二十個加熱棒中除左邊的五個加熱棒和右邊的五個加熱棒之外的十個加熱棒)之間的距離短。

如上所述，所述多個加熱棒30中的布置在邊緣處的加熱棒之間的間隔比布置在中部處的加熱棒之間的間隔窄，由此改善本體板10的在水平方向上的溫度均勻性。

順便提及，所述多個加熱棒的布置結構形式不能夠改善本體板的在豎向方向上的溫度均勻性。因此，通過改變清潔液加熱管線50(隨后將會描述)的布置結構形式來加強在本體板10的上邊緣和下邊緣中流動的清潔液的熱傳遞。

所述多個加熱棒30中產生的熱通過本體板10被傳遞并且最終被傳遞至布置在本體板10內的清潔液加熱管線50。因此，沿著清潔液加熱管線50流動的清潔液被加熱并且發生相變。

清潔液加熱管線50布置成穿過本體板10的內部并且圍繞所有的所述多個加熱棒30，因而清潔液加熱管線50能夠完全接受到由所述多個加熱棒30產生的熱，從而在整個本體板10中傳遞的清潔液能夠接受足夠時間的熱并且連續不斷地接受來自所有移動部段的熱。

清潔液加熱管線50圍繞所述多個加熱棒30布置，使得在清潔液入口管線58中流動的清潔液能夠被加熱，同時移動并且以蒸汽的形式從蒸汽出口管線59(如圖3中所示)排出。

具體地，清潔液加熱管線50穿過本體板10布置，使得在清潔液入口管線58中流動的清潔液能夠被充分加熱而發生相變。

為了通過對沿著清潔液加熱管線50移動的清潔液進行加熱來產生蒸汽，熱必須被充分傳遞至清潔液。因此，清潔液不僅必須接受足夠時間的熱，而且還必須連續不斷地接受移動部段或移動點處的熱。為此，清潔液加熱管線50圍繞所有的所述多個加熱棒30布置。即，清潔液加熱管線50布置成與所有的所述多個加熱棒30相鄰并且圍繞所有的所述多個加熱棒30纏繞多次。

具體地，清潔液加熱管線50布置成貫穿本體板10的整個表面，因而能夠增加清潔液的加熱時間并且能夠均勻連續地接受移動點處的熱，由此通過蒸汽出口管線59排放蒸汽。

在上述結構的情況下，將對根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100的元件進行更詳細的描述。

出于本體板10易于制造且清潔液加熱管線50、加熱棒30和本體板10易于維護的目的，本體板10不是由單個本體形成的，而是由多個板形成的，即，第一板11、第三板13和第五板15。

具體地，本體板10包括：第一板，該第一板形成有在某一方向上的用以在其中插入加熱棒30的插入安裝孔12；第三板13，第三板13與第一板11的第一表面進行表面接觸，使得清潔液加熱管線50的一部分能夠被插置于第一板11與第三板13之間；以及第五板15，第五板15與第一板11的第二表面進行表面接觸，使得清潔液加熱管線50的其余部分能夠被插置于第一板與第五板15之間。

第一板11足夠厚而能夠在其中插入加熱棒30，并且第一板11的插入安裝孔12的個數與加熱棒30的個數相同且加熱棒30相應地插入在第一板11的插入安裝孔12中。所述多個加熱棒30沿某一方向相應地插入形成在第一板11內插入安裝孔12中，并且所述多個加熱棒30以可拆卸的方式布置在插入安裝孔12中以便進行維護或更換。

第三板13布置成與和位于第一板11的兩個側部之間的一個側部相對應的第一表面相接觸。另外，第三板13布置成使得清潔液加熱管線50的一部分——即，清潔液加熱管線50的設置在所述多個加熱棒30前面的部分(即，圖3中示出的清潔液加熱管線50)——能夠被插置于第三板13與第一板11之間。因此，清潔液加熱管線50的一部分(即，設置在所述多個加熱棒前面的部分)布置成被插入第一板11與第三板13之間。

為了使清潔液加熱管線的一部分(即，設置在所述多個加熱棒前面的部分)布置在第一板11與第三板13之間，第一板11的第一表面形成有第一表面凹槽(未示出)，并且第三板13形成有與第一表面凹槽相對應的第三凹槽(未示出)。

因而，當第一板11與第三板13彼此接觸時，第一表面凹槽和第三凹槽形成插入通道，使得能夠將清潔液加熱管線的一部分(即，設置在所述多個加熱棒前面的部分)插入在該插入通道中。

參照圖2，與清潔液加熱管線的一部分(即，設置在所述多個加熱棒的前面的部分)相對應的第一管線51被插入在第一板11與第三板13之間。

因而，清潔液加熱管線的一部分(即，設置在所述多個加熱棒前面的部分)與由第一表面凹槽和第三凹槽這兩者形成的插入通道相接觸以便實現充分的表面接觸，因此，通過第一板11和第三板13傳遞的熱能夠被更有效地傳遞至清潔液加熱管線50的一部分(即，設置在所述多個加熱棒前面的部分)。

第五板15布置成與和位于第一板11的兩個側部之間的另一側部相對應的第二表面相接觸。另外，第五板15布置成使得清潔液加熱管線50的其余部分——即，清潔液加熱管線50的設置在所述多個加熱棒30的后面的部分(即，圖3中未示出的清潔液加熱管線50，但在圖2中用附圖標記“52”表示)——能夠被插置于第五板15與第一板11之間。因此，清潔液加熱管線50的其余部分(即，設置在所述多個加熱棒后面的部分)布置成被插入在第一板11與第五板15之間。

為了使清潔液加熱管線的其余部分(即，設置在所述多個加熱棒后面的部分)布置在第一板11與第五板15之間，第一板11的第二表面形成有第二表面凹槽(未示出)，并且第五板15形成有與第二表面凹槽相對應的第五凹槽(未示出)。

因而，當第一板11與第五板15彼此接觸時，第二表面凹槽和第五凹槽形成插入通道，使得能夠將清潔液加熱管線的其余部分(即，設置在所述多個加熱棒后面的部分)插入在該插入通道中。

參照圖2，與清潔液加熱管線的其余部分(即，用附圖標記“52”表示的設置在所述多個加熱棒后面的部分)相對應的第二管線52插入在第一板11與第五板15之間。

因而，清潔液加熱管線的其余部分(即，設置在所述多個加熱棒后面的部分)與由第二表面凹槽和第五凹槽形成的插入通道相接觸以便實現充分的表面接觸，因此，通過第一板11和第五板15傳遞的熱能夠被更有效地傳遞至清潔液加熱管線的其余部分(即，用附圖標記“52”表示的設置在所述多個加熱棒后面的部分)。

如上所述，所述多個板被組裝成本體板10，并且清潔液加熱管線50以各種形式布置在本體板10內。根據本發明的實施方式，清潔液加熱管線50布置得盡可能長并且橫穿所述多個加熱棒，使得在清潔液加熱管線中流動的清潔液能夠從所述多個加熱棒30接受足夠時間的熱。

為此，清潔液加熱管線50包括沿豎向方向依次布置的單位管線53。另外，單位管線53包括第一管線51和第二管線52，第一管線51和第二管線52形成一對。第一管線51沿橫向于某一方向(即，橫向于插入加熱棒的方向或圖3中的豎向方向)的方向布置在第一板11與第三板13之間，并且第二管線52沿橫向于某一方向(即，橫向于插入加熱棒的方向或圖3中的豎向方向)的方向布置在第一板11與第五板15之間。某一單位管線53中的第一管線51的第一端(即，圖3和圖5中的左端)與第二管線52的第一端(即，圖3和圖5中的左端)通過水平連接管線54彼此連接，并且第一管線51的第二端(即，圖3和圖5中的右端)與另一相鄰的單位管線(即，安置于所述某一單位管線上方或下方的單位管線)的第一管線51的第二端通過第一豎向連接管線55彼此連接。另外，所述某一單位管線53的第二管線52的第二端與另一相鄰的單位管線(即，安置于所述某一單位管線上方或下方的單位管線)的第二管線52的第二端通過第二豎向連接管線56彼此連接。

單位管線53包括沿水平方向布置的所述一對第一管線51和第二管線52。第一管線51和第二管線52在一個平面上彼此平行。另外，第一管線51布置成面向所述多個加熱棒30的一個側部(即，前側)，并且第二管線52布置成面向所述多個加熱棒30的另一側部(即，后側)。因而，第一管線與第二管線彼此相對，從而能夠將所述多個加熱棒插置于第一管線與第二管線之間。

單位管線53的第一管線51和第二管線52布置成橫穿過所述多個加熱棒，使得在第一管線51和第二管線52中流動的清潔液能夠連續不斷地接受熱。即，單位管線53不必必須垂直于所述多個加熱棒，只要單位管線53橫過所述多個加熱棒即可。

然而，單位管線53必須沿上下方向(即，豎向方向)依次布置并且彼此連接以便形成清潔液加熱管線50，并且考慮到易于制造的問題，多個單位管線需具有相同的長度。因此，該示例性實施方式中的單位管線53布置成垂直地橫過所述多個加熱棒30。因此，單位管線53的第一管線51和第二管線52垂直于所述多個加熱棒30。

在清潔液加熱管線50中，單位管線53必須在豎向方向上彼此連接，并且單位管線53的第一管線51和第二管線52必須彼此連通。

首先，第一管線51和第二管線52通過水平連接管線54連接并且因而彼此連通。第一管線51和第二管線52布置在同一平面上，并且通過水平連接管線54連接。水平連接管線54將第一管線的第一端和第二管線的第一端(見圖3和圖5中的左端)連接。

第一管線和第二管線布置在本體板10內。由于水平連接管線54也被用作清潔液在其中流動的通道，因此水平連接管線54可以插入在本體板10內，以便將熱連續不斷地傳遞至清潔液。

然而，可能需要對包括第一管線51和第二管線52的單位管線53進行維護或更換。為此，水平連接管線54可以以可拆卸的方式聯接至第一管線51的第一端和第二管線52的第一端并且鄰近于本體板10的第一側部安置在外部處。此處，水平連接管線54必須盡可能短。

由于單位管線53的第一管線51的第一端與第二管線52的第一端通過水平連接管線54連接，因此第一管線的第二端和第二管線的第二端連接至安置于上方或下方的另一單位管線，或者連接至豎向方向上的另一單位管線的第一管線和第二管線，由此形成清潔液加熱管線50的連續的路徑。

具體地，單位管線53的第一管線51的第二端和第二管線52的第二端通過豎向連接管線57分別連接至在豎向方向上彼此相鄰的另一第一管線和另一第二管線。如果單位管線53的第一管線51的第二端連接至布置于上方的另一單位管線的第一管線，那么單位管線53的第二管線52的第二端連接至并非布置于上方而是布置于下方的另一單位管線的第二管線。如此，能夠形成從清潔液入口管線58到蒸汽出口管線59的連續的路徑。

某一單位管線53的第一管線51的第二端通過第一豎向連接管線55連接至布置在上方(或下方)的另一單位管線53的第一管線的第二端，并且所述某一單位管線53的第二管線52的第二端通過第二豎向連接管線56連接至布置在下方(或上方)的另一單位管線53的第二管線的第二端。因而，使得能夠將清潔液加熱管線50布置成形成單個連續的連接路徑。

通過這種連接結構，在本體板10的整個表面中圍繞所述多個加熱棒30布置的清潔液加熱管線50構造成延伸清潔液的流動路徑并且允許清潔液連續不斷地接受熱。因此，沿著清潔液加熱管線移動的清潔液在管線內直接發生相變或者在朝向蒸汽出口管線流動的同時受到溫度壓力控制而發生相變，從而以蒸汽的形式被供給至蒸汽噴射模塊。

為了更有效地將熱傳遞至沿著清潔液加熱管線50流動的清潔液，必須增大清潔液加熱管線的接觸面積。為此，第一管線51布置成與形成在第一板11的第一表面上的第一表面凹槽(未示出)和形成在第三板13上且面向第一表面凹槽的第三凹槽(未示出)這兩者進行表面接觸，并且第二管線52布置成與形成在第一板11的第二表面上的第二表面凹槽(未示出)和形成在第五板15上且面向第二表面凹槽的第五凹槽(未示出)這兩者進行表面接觸。

因而，第一管線51插入在由第一表面凹槽和第三凹槽形成的插入通道中，并且因而與第一表面凹槽和第三凹槽進行表面接觸，并且第二管線52插入在由第二表面凹槽和第五凹槽形成的插入通道中，并且因而與第二表面凹槽和第五凹槽進行表面接觸。因而，能夠提高將熱傳遞至清潔液加熱管線50的效率。

順便提及，通過沿豎向方向依次連接多個單位管線53而實現清潔液加熱管線50。此處，單位管線53的第一管線51和第二管線52如圖3中示出的彼此等距地間隔，使得能夠將用于連接單位管線53的豎向連接管線57制造成長度相等。

然而，就本體板10在豎向方向上的溫度分布而言，上部部分和下部部分處的溫度比上部部分與下部部分之間的中間部分的溫度低。因此，如果單位管線在豎向方向上彼此等距間隔開地連接，則布置在本體板的上部部分和下部部分(除中間部分外)中的清潔液加熱管線的熱傳遞效率自然低于布置在本體板10的中間部分中的清潔液加熱管線的熱傳遞效率。這種豎向方向上的不均衡的熱傳遞使產生蒸汽的效率降低。

對此，豎向地布置在本體板10的上部部分和下部部分中的單位管線之間的豎向間隔比豎向地布置在本體板10的中間部分中的單位管線之間的豎向間隔窄。換言之，與中間部分相比，單位管線在本體板的上部部分和下部部分中布置得更密集。通過該結構，穿過本體板的上部部分和下部部分的清潔液比穿過中間部分的清潔液接受熱的時間更長，從而沿著清潔液加熱管線流動的清潔液能夠持續保持溫度。

通過上述結構和操作，可以獨立地使用用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100，或者可以將與蒸汽發生器100相應地對應的多個模塊密封在殼體中以由此形成蒸汽產生裝置。在后一種情況下，用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100在蒸汽產生裝置的殼體中操作，從而將產生的蒸汽供給到外部。

為了制造這種蒸汽產生裝置，用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100必須被制造為待安裝至殼體的模塊，即，制造為蒸汽產生模塊。

圖12示出了穩固地安裝有根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的蒸汽產生模塊，并且圖13為蒸汽產生模塊的分解立體圖。

如圖12和圖13中所示，根據本發明的實施方式的用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100可以安裝至模塊封閉件70。模塊封閉件70可以包括封閉件本體71和封閉件蓋73。

用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100被容納在封閉件本體71中且穩固地緊固至封閉件本體71。作為參照，設置在用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100中的加熱棒30的上端部分穿過封閉件本體71的頂部并且從封閉件本體71的頂部突出。

另外，封閉件本體71的頂表面形成有加熱棒通孔72，使得加熱棒30的上端部分能夠穿過封閉件本體71的頂部并且從封閉件本體71的頂部突出。如上所述，當封閉件蓋73聯接至封閉件本體71的上側部時，從封閉件本體71的頂部突出的加熱棒30的上端部分受到保護。

由于用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器100以加熱棒30的上端部分穿過封閉件本體71的頂部的方式安裝至模塊封閉件70并且封閉件本體71的頂部用封閉件蓋73覆蓋，因此有利的是能夠只將加熱棒取出進行維護并且能夠用新的加熱棒更換故障的加熱棒而無需拆卸封閉件本體71。

實際上，在用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的元件中，加熱棒是最需要進行更換或維護的。順便提及，如果每次進行維護或更換都要拆卸封閉件本體，那么會浪費地消耗時間、精力和費用。

為了解決這個問題，蒸汽產生模塊被制造成使得能夠僅對加熱棒能夠進行容易地更換或分離。當然，清潔液入口管線58和蒸汽出口管線59從封閉件本體向外突出以便引入清潔液并且排放蒸汽。

具有上述結構的蒸汽產生模塊被安裝至殼體的內部，并且多個蒸汽產生模塊(例如，四個蒸汽產生模塊)可以組成蒸汽產生裝置。蒸汽產生裝置指的是多個蒸汽產生模塊安裝至殼體的內部的結構件。

蒸汽產生裝置可以具有位于殼體內的各種傳感器以便感測蒸汽產生模塊的各種環境、物理數據等并且將感測到的數據輸出至外部。

順便提及，供給至用于進行蒸汽清潔的蒸汽發生器的清潔液可以是功能水以提高清潔效果。例如，清潔液可以比如是臭氧化水、氫水或類似的功能水。如果供給氫水以作為向清潔液入口管線58供給的清潔液，則還需要氫發生器。

氫發生器單獨設置在殼體外并且產生氫水。產生的氫水通過給送線被引入到清潔液入口管線中。另外，氫發生器安裝至殼體的內部，使得產生的氫水能夠通過清潔液入口管線被直接供給。

根據本發明的實施方式，提供了用于進行蒸汽清潔的這樣的一種蒸汽發生器，在該蒸汽發生器中，多個加熱棒依次布置在本體板內，并且清潔液加熱管線以圍繞所述多個加熱棒的形式布置在整個本體板中，使得能夠分別提高對流動通過清潔液加熱管線的清潔液進行加熱的性能以及增加流動通過清潔液加熱管線的清潔液的加熱時間，由此能夠提高產生蒸汽的效率。

另外，根據本發明的實施方式的清潔液加熱管線與本體板的內側進行表面接觸，使得能夠改善清潔液加熱管線的熱傳遞，由此能夠提高熱傳遞效率。

盡管示出并描述了本發明的一些示例性實施方式，但本領域技術人員應當理解的是，在不背離本發明的原理和精神的情況下可以對這些實施方式進行改變，本發明的范圍在所附權利要求及其等效方案中限定。