搬運裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及對半導體基板等工件、收納了工件的搬運容器等物品進行搬運的搬運
目.ο
【背景技術】
[0002]在現有技術的半導體器件等的制造設備中，有時，半導體基板等工件、收納了工件的搬運容器等物品，在被沿著設于設備的頂棚附近的行走軌行走的頂棚搬運車(搬運裝置)把持的狀態下，在多個處理裝置之間依次搬運。并且，有時還由1臺頂棚搬運車同時對多個物品進行搬運。
[0003]例如，在專利文獻1中公開了一種掩模搬運裝置，該掩模搬運裝置包含臺車和把持件。該臺車可動地與為了向掩模儲存裝置及基板處理裝置搬運圖案轉印用掩模而敷設的軌道軌連接，可沿上述軌道軌移動，而且，可將與上述軌道軌連接的部分作為軸大體水平地進行旋轉。該把持件為了把持多個可收納圖案轉印用掩模的掩模收納容器而配備于上述臺車。
[0004]在專利文獻1的搬運裝置中，通過在臺車設置多個用于對掩模收納容器(物品)進行把持的把持件，由各把持件對掩模收納容器進行把持，同時地搬運多個掩模收納容器。
[0005]專利文獻1:日本特開2002-362737號公報
【發明內容】
[0006]然而，在專利文獻1的搬運裝置中，為了同時地搬運多個搬運容器(物品)，必須在臺車設置多個把持單元。另外，必須設置用于對這些多個把持單元的全部進行驅動的驅動單元。因此，存在搬運裝置的裝置構造變復雜的問題。
[0007]因此，本發明的目的在于提供一種可由簡單的裝置結構同時地搬運多個物品的搬運裝置。
[0008]本發明要解決的課題如上，接下來對用于解決此課題的技術手段進行說明。
[0009]S卩，本發明中的技術方案1記載的搬運裝置具備對物品進行把持的物品把持單元，對由上述物品把持單元進行把持的上述物品進行搬運；在該搬運裝置中，具備對由上述物品把持單元把持的上述物品進行收納的物品收納部；上述物品收納部具有從上述物品把持單元承接由上述物品把持單元把持的上述物品的承接部；上述承接部，在從上述物品把持單元承接了物品的狀態下，使從上述物品把持單元承接的物品從上述物品把持單元移動到上述物品收納部。
[0010]當采用上述構成時，由承接部承接由物品把持單元把持的物品，使承接的物品從物品把持單元移動到物品收納部。即，使由物品把持單元把持的物品從物品把持單元的把持位置向其它的位置(物品收納部)移動。
[0011]另外，技術方案2記載的發明在技術方案1記載的搬運裝置中，上述承接部被設置成能夠相對于上述物品收納部回旋；通過使上述承接部回旋，從而使由上述物品把持單元把持的上述物品從上述物品把持單元移動到上述物品收納部。
[0012]當采用上述構成時，物品從物品把持單元到物品收納部的移動通過使承接了物品的承接部回旋來進行。
[0013]并且，技術方案3記載的發明在技術方案1或技術方案2記載的搬運裝置中，具備使由上述物品把持單元把持的上述物品在由上述物品把持單元把持的狀態下進行升降的升降單元；上述物品收納部沿著上述升降單元對上述物品進行升降的升降路徑設置。
[0014]當采用上述構成時，脫離由升降單元對物品進行升降的升降路徑進行物品在物品收納部的收納。
[0015]根據本發明的搬運裝置，因為可在使單一的物品把持單元把持的物品移動到物品收納部的狀態下對物品進行搬運，所以，可由簡單的裝置結構同時地搬運多個物品。
【附圖說明】
[0016]圖1是作為本發明的搬運裝置的一例的頂棚搬運車的正面簡圖。
[0017]圖2是由該頂棚搬運車搬運的盒的立體圖。
[0018]圖3 (a)是該頂棚搬運車的夾持裝置的正面剖視圖，(b)是該頂棚搬運車的夾持裝置的側面剖視圖。
[0019]圖4是該頂棚搬運車的物品收納部近旁的俯視圖。
[0020]圖5是表示該頂棚搬運車的回旋臺板的回旋動作的俯視簡圖。
【具體實施方式】
[0021]首先，對作為本發明的搬運裝置的一例的頂棚搬運車10進行說明。
[0022]如圖1所示那樣，頂棚搬運車10是用于向對半導體基板等未圖示的工件(“物品”的一例)進行規定的處理的多個處理裝置(未圖示)搬運工件的搬運車。頂棚搬運車10在收納及把持多個(在圖1中是3個)收納了工件的盒80( “物品”的一例)的狀態下進行搬運。
[0023]如圖2所示那樣，由頂棚搬運車10搬運的盒80是大致長方體的箱狀的搬運容器。盒80具備在內部可收納多個工件的多層的載置部81。盒80可從在其長度方向的兩端部開口的收納口 82收納工件地構成。另外，在盒80的上面形成與夾持裝置20的夾頭構件(夾頭構件24、25)卡合的第1卡合孔83、83和與夾持裝置20的定位導向構件(定位導向構件26,27)卡合的第2卡合孔84、84。另外，盒80不限于圖2所示的盒，只要是可收納半導體基板等工件的一般形狀、大小的盒即可。
[0024]如圖1所示那樣，頂棚搬運車10被以相對于設置在設備的頂棚附近的行走軌91懸掛的狀態安裝。頂棚搬運車10可沿行走軌91移動地構成。頂棚搬運車10主要由搬運車主體11、橫行驅動部12、升降驅動部13 ( “升降單元”的一例)、夾持裝置20和物品收納部40、41構成。
[0025]搬運車主體11是頂棚搬運車10的主體部分。搬運車主體11形成為大致箱狀。搬運車主體11主要由行走部14和筐體部15構成。
[0026]行走部14是通過橫行驅動部12的驅動使頂棚搬運車10沿固定地安裝于頂棚的行走軌91進行行走的部分。行走部14設置在頂棚搬運車10的上部。
[0027]筐體部15是在其內部對橫行驅動部12、升降驅動部13、夾持裝置20和物品收納部(物品收納部40、41)進行收納和支承的部分。筐體部15形成為空心狀。筐體部15被以懸掛于行走部14的狀態支承于行走部14。
[0028]橫行驅動部12是用于使頂棚搬運車10行走的驅動部。橫行驅動部12被設置在筐體部15的內部上方。通過橫行驅動部12對行走部14進行驅動，頂棚搬運車10沿行走軌91行走。
[0029]升降驅動部13是在對夾持裝置20進行支承的狀態下進行升降的部分，S卩，是對由夾持裝置20把持的盒80進行升降的部分。升降驅動部13在筐體部15的內部被支承于橫行驅動部12的下方。升降驅動部13具有多條升降皮帶16。升降驅動部13構成為可同時地對多條升降皮帶16進行卷取及開卷。通過進行多條升降皮帶16的卷取及開卷，由升降皮帶16懸掛支承的夾持裝置20被一邊維持大致水平姿勢，一邊進行升降操作。通過升降驅動部13對夾持裝置20進行升降，被夾持裝置20把持的盒80在從用于夾持裝置20下降、對盒80進行把持的位置(盒80的把持位置)到用于夾持裝置20向回旋臺板(回旋臺板42,43)交接盒80的位置(盒80的交接位置)之間(盒80的升降路徑)進行升降。
[0030]夾持裝置20是對盒80進行把持的裝置。夾持裝置20在筐體部15的內部可升降地支承于升降驅動部13的下方。
[0031]如圖3所示那樣，夾持裝置20以將盒80的上部夾入的方式對盒80進行把持。夾持裝置20主要由裝置主體21、對盒80進行把持的把持部22和對把持部22進行驅動的驅動部23構成。
[0032]裝置主體21是夾持裝置20的主體部分。裝置主體21形成為箱狀。裝置主體21在其上部安裝升降驅動部13的升降皮帶16。裝置主體21可通過升降驅動部13的驅動進行升降地構成。
[0033]把持部22是以將盒80的上部夾入的方式對盒80進行把持的部分。把持部22被設置于裝置主體21的下端部。
[0034]把持部22主要由兩個夾頭構件(夾頭構件24、25)和兩個定位導向構件(定位導向構件26、27)構成。把持部22通過由兩個夾頭構件從盒80的長度方向夾入盒80的上部，對盒80進行把持。
[0035]夾頭構件(夾頭構件24、25)是對盒80的上部進行把持的構件。夾頭構件(夾頭構件24、25)的一端部與盒80的上部的第1卡合孔83卡合。夾頭構件(夾頭構件24、25)的另一端部被固定于滑動構件(滑動構件28、29)的導向部(導向部33、34)。另外，在夾頭構件(夾頭構件24、25)的中途部，設置用于防止被收納在盒80內的工件跳出的跳出防止構件(跳出防止構件30、31)。
[0036]定位導向構件(定位導向構件26、27)是用于在夾頭構件(夾頭構件24、25)對盒80進行把持的位置進行盒80的定位的導向構件。定位導向構件(定位導向構件26、27)被設置于裝置主體21的下端部。定位導向構件(定位導向構件26、27)通過與盒80的第2卡合孔84卡合，進行盒80的定位。
[0037]驅動部23是用于使夾頭構件(夾頭構件24、25)在盒80的長度方向上移動的驅動部分。驅動部23被設置在裝置主體21的內部。驅動部23主要由馬達32和滑動構件(滑動構件28、29)構成。
[0038]馬達32是用于使滑動構件(滑動構件28、29)移動的馬達。
[0039]滑動構件(滑動構件28、29)是用于使夾頭構件(夾頭構件24、25)在盒80的長度方向上移動的構件。滑動構件(滑動構件28、29)由對夾頭構件(夾頭構件24、25)進行支承的導向部(導向部33、34)和用于使導向部(導向部33、34)滑動的導軌(導軌35、36)構成。通過使馬達32工作，第1導向部33和第2導向部