一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于光刻投影物鏡中物鏡的吊裝和運輸領域，具體涉及一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置。
【背景技術】
[0002]光刻投影技術是大規模集成電路制造技術和微光學、微機械技術的先導和基礎，決定了集成電路的集成度。光刻投影物鏡具有尺寸大、重量高、裝配精度高、多鏡組裝配組合等特點，在物鏡集成裝配的過程中經常需要吊裝鏡組；同時物鏡的測試和使用過程十分復雜，需要使用不同的設備對物鏡進行測試，要求物鏡在設備之間多次起吊和安放，而且物鏡對于振動的要求十分嚴格，要求在起吊和安放以及運輸過程中避免產生過大的沖擊和傾斜。過大的沖擊和較大的傾斜會導致物鏡內部柔性機構的位置變化甚至損壞。
[0003]現有技術中物鏡的吊裝和運輸過程中使用的吊裝裝置采用3個剛性桿連接物鏡，在物鏡起吊和安放過程中使物鏡受到振動沖擊，且當3個剛性桿的安裝長度不同時，物鏡發生傾斜，使物鏡內的柔性機構存在損壞的風險。
【發明內容】
[0004]本發明的目的在于提出一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置，解決現有技術在物鏡起吊和運輸過程中存在的物鏡振動沖擊和傾斜問題。
[0005]為實現上述目的，本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置包括吊裝板和吊裝桿；三個所述吊裝桿的一端分別與所述吊裝板連接；
[0006]所述吊裝桿包括上吊裝桿、下吊裝桿和自平衡調節器；所述上吊裝桿一端與所述吊裝板固定連接，另一端與長度可調的自平衡調節器一端連接，所述自平衡調節器另一端與所述下吊裝桿一端連接；
[0007]所述自平衡調節器內部包括壓縮彈簧，所述壓縮彈簧設置在所述自平衡調節器與所述上吊裝桿連接處。
[0008]所述吊裝板整體為三角形結構，所述吊裝板包括吊裝板主體和吊環螺釘；所述吊裝板主體三個角處分別設置有吊裝桿安裝孔，中間位置處設置有吊環螺釘安裝螺紋孔；
[0009]所述上吊裝桿穿過所述吊裝桿安裝孔與吊裝桿螺母螺紋連接，所述吊裝桿螺母與吊裝板主體之間設置有墊片；
[0010]所述吊環螺釘與所述吊環螺釘安裝螺紋孔螺紋連接，所述吊環螺釘穿過吊裝板主體部分與一個鎖緊螺母螺紋連接。
[0011]所述自平衡調節器還包括上調節器和下調節器；所述上調節器為圓柱形結構，圓柱型結構設置有圓柱外螺紋，中間設置有通孔，圓柱型結構的一端設置有圓形平臺A，所述圓形平臺A中間設置有中心圓孔A，所述中心圓孔A的內徑小于上調節器的通孔的內徑；所述下調節器為圓柱形結構，圓柱型結構中間設置有通孔，圓柱形結構設置有圓柱內螺紋，圓柱型結構的一端設置有圓形平臺B，所述圓形平臺B中間設置有中心圓孔B，所述中心圓孔B的內徑小于下調節器的通孔的內徑；所述上調節器的圓柱外螺紋與所述下調節器的圓柱內螺紋配合。
[0012]所述圓形平臺A外表面上設置有對稱平面A，所述圓形平臺B外表面上設置有對稱平面B。
[0013]所述上吊裝桿包括上吊裝桿凸臺、上吊裝桿主體和上吊裝桿安裝螺紋；所述上吊裝桿主體的一端設置有所述上吊裝桿凸臺，所述上吊裝桿主體的另一端設置有所述上吊裝桿安裝螺紋；所述上吊裝桿安裝螺紋穿過吊裝板安裝孔與所述吊裝桿螺母螺紋連接，所述上吊裝桿凸臺設置在所述上調節器的通孔中，與所述上調節器的圓形平臺A接觸，所述壓縮彈簧設置在所述上吊裝桿凸臺與所述圓形平臺A之間。
[0014]所述上吊裝桿主體上設置有對稱平面C。
[0015]所述下吊裝桿包括下吊裝桿凸臺、下吊裝桿主體和下吊裝桿安裝螺紋；所述下吊裝桿主體的一端設置有所述下吊裝桿凸臺，所述下吊裝桿主體的另一端設置有所述下吊裝桿安裝螺紋，所述下吊裝桿凸臺設置在所述下調節器中，與所述下調節器的圓形平臺B接觸。
[0016]所述下吊裝桿主體上設置有對稱平面D。
[0017]本發明的有益效果為:本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調節器的圓柱外螺紋與下調節器的圓柱內螺紋配合調節自平衡調節器的長度，上調節器的圓形平臺A用于限制壓縮彈簧的位置，上調節器的中心圓孔A用于上吊裝桿的安裝，上調節器的對稱平面A用于扳手操作；下調節器的圓形平臺B用于限制下吊裝桿凸臺的位置，下調節器的中心圓孔B用于下吊裝桿的安裝，下調節器的對稱平面B用于扳手操作；其裝配形式為上吊裝桿通過螺母與吊裝板連接，下吊裝桿通過下吊裝桿安裝螺紋與物鏡連接，上吊裝桿和下吊裝桿之間通過自平衡調節器相連接。壓縮彈簧安裝在上吊裝桿凸臺和上調節器圓形平臺A之間，在物鏡吊起時起到緩沖振動和自平衡的作用。
[0018]本發明的吊裝裝置能避免光刻投影物鏡在起吊和安放過程中由于沖擊導致物鏡柔性組件損壞的問題。同時由于物鏡的質量分布在各個方向上基本對稱，該吊裝裝置能夠在物鏡吊起時有效地保證物鏡平衡，避免物鏡傾斜過大的問題，滿足物鏡吊裝和運輸需求，降低光刻投影物鏡損壞的危險。
[0019]本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置，可以避免光刻投影物鏡在起吊和安放過程中由于沖擊導致物鏡柔性組件損壞的問題。該結構具有結構簡單、便于操作、可靠性高和通用性好等突出優點，可以很好的適用于物鏡吊裝和搬運過程，實現可靠吊裝。
【附圖說明】
[0020]圖1為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的立體裝配示意圖；
[0021]圖2為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置的主視剖視圖；
[0022]圖3為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中吊裝板立體示意圖；
[0023]圖4為圖3的仰視立體示意圖；
[0024]圖5為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上吊裝桿的立體結構示意圖；
[0025]圖6為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下吊裝桿的立體結構示意圖；
[0026]圖7為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調節器的立體結構示意圖；
[0027]圖8為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中上調節器的結構剖視圖；
[0028]圖9為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下調節器的立體結構示意圖；
[0029]圖10為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中下調節器結構剖視圖；
[0030]圖11為本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置中吊裝桿的立體裝配示意圖；
[0031]圖12是圖11的局部剖視圖；
[0032]其中:1、吊裝板，1-1、吊裝板主體，1-2、吊環螺釘，1-3、鎖緊螺母，1_4、吊環螺釘安裝螺紋孔，1_5、吊裝桿螺母，1-6、墊片，1_7、吊裝桿安裝孔，2、上吊裝桿，2_1、上吊裝桿凸臺，2_2、上吊裝桿主體，2_2_1、對稱平面C，2_3、上吊裝桿安裝螺紋，3、下吊裝桿，3_1、下吊裝桿凸臺，3-2、下吊裝桿主體，3-2-1、對稱平面D，3_3、下吊裝桿安裝螺紋，4、自平衡調節器，4-1、上調節器，4-1-1、圓柱外螺紋，4-1-2、圓形平臺A，4+3、中心圓孔A，4+4、對稱平面A，4_2、壓縮彈黃，4_3、下調節器，4_3_1、圓柱內螺紋，4_3_2、圓形平臺B，4_3_3、中心圓孔B，4-3-4、對稱平面B。
【具體實施方式】
[0033]下面結合附圖對本發明的實施方式作進一步說明。
[0034]參見附圖1和附圖2，本發明的一種用于光刻投影物鏡中可自平衡的吊裝裝置包括吊裝板1和吊裝桿；三個所述吊裝桿的一端分別與所述吊裝板1連接；
[0035]所述吊裝桿包括上吊裝桿2、下吊裝桿3和自平衡調節器4 ;所述上吊裝桿2 —端與所述吊裝板1固定連接，另一端與長度可調的自平衡調節器4 一端連接，所述自平衡調節器4另一端與所述下吊裝桿3 —端連接；
[0036]所述自平衡調節器4內部包括壓縮彈簧4-2，所述壓縮彈簧4-2設置在所述自平衡調節器4與所述上吊裝桿2連接處。
[0037]參見附圖3和附圖4，所述吊裝板1整體為三角形結構，所述吊裝板1包括吊裝板主體1-1和吊環螺釘1-2 ;所述吊裝板主體1-1三個角處分別設置有吊裝桿安裝孔1-7，中間位置處設置有吊環螺釘安裝螺紋孔1-4 ;
[0038]所述上吊裝桿2穿過所述吊裝桿安裝孔1-7與吊裝桿螺母1-5螺紋連接，所述吊裝桿螺母1-5與吊裝板主體1-1之間設置有墊片1-6 ;
[0039]所述吊環螺釘1-2與所述吊環螺釘安裝螺紋孔1-4螺紋連接，所述吊環螺釘1-2穿過吊裝板主體1-1部分與一個鎖緊螺母1-3螺紋連接，其中，所述鎖緊螺母1-3用于吊環螺釘1-2的放松。
[0040]參見附圖7、附圖8、附圖9和附圖10，所述自平衡調節器4還包括上調節器4-1和下調節器4-3 ;所述上調節器4-1為圓柱形結構，圓柱型結構設置有圓柱外螺紋4-1-1，中間設置有通孔，圓柱型結構的一端設置有圓形平臺A4-1-2，所述圓形平臺A4-1-2中間設置有中心圓孔A4-1-3，所述中心圓孔A4-1-3的內徑小于上調節器4_1的通孔的內徑；所述下調節