容器運送設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及容器運送設備，具備移載部和板狀的載置體，所述移載部具備操作從下方支撐前表面配置有用于取放半導體基板的開口的容器的支撐體至少沿上下方向移動的移動操作部，所述板狀的載置體作為容器被該移載部移載的移載對象部位，支撐體具備在將容器定位在該支撐體上的移載用位置的狀態下支撐該容器的底面的支撐體側支撐部，載置體具備俯視為凹狀的缺口部，和分散在俯視下沿著缺口部的周緣的方向上的不同位置配置的多個載置體側支撐部，在通過支撐著容器的支撐體的一部分朝向下方通過缺口部，由多個載置體側支撐部將容器相對于載置體在橫寬方向上定位的狀態下承接支撐容器的1? 曲.。
【背景技術】
[0002]這種容器運送設備在半導體處理設備中用于運送基板運送用的容器。例如在日本國特開2003 - 72917號公報(專利文獻I)中，公開了在設在半導體處理設備中的保管設備的內部運送容器的情況的例子。如專利文獻I中也記載的那樣，在半導體處理設備中，在分擔進行多個工序的多個處理裝置之間設有運送收容了處理對象的半導體基板的容器的工序間運送設備，并設有在通過該工序間運送設備在工序間運送容器之際用于暫時保管容器的保管設備。
[0003]在保管設備中設有多個暫時保管容器的載置體，并設有在與這多個載置體之間移載容器的移載部。而且，在通過移載部將容器向載置體交接的情況下，在支撐體的一部分俯視下與載置體的缺口部重合的狀態下，操作支撐著容器的支撐體下降，使其從上方一側朝向下方一側地通過載置體的缺口部。這樣一來，由支撐體支撐著的容器隨著支撐體的下降而以該容器的底面的至少橫寬方向兩端部分支撐在載置體上。
[0004]以往，半導體基板(晶片)是以直徑為300mm的圓板形的基板為主流。因此，作為收容半導體基板的容器，使用由SEMI (國際半導體設備與材料，Semiconductor Equipmentand Materials Internat1nal)規格規定的形狀的300mm的晶片用的FOUP (前開式晶圓傳送盒，Front-Opening Unified Pod:以下稱為300mmF0UP)，容器運送設備中的支撐體以及載置體以適于支撐300_F0UP的形狀以及尺寸構成。
[0005]另一方面，由于近年來生產率的提高及生產效率的提高，生產直徑為450mm的圓板形的晶片，容器運送設備作為收容半導體基板的容器，必須要運送由SEMI規格規定的形狀，橫寬方向的寬度與300mmF0UP相比為寬幅的450mm的晶片用的容器(以下稱為450mmF0UP)o
[0006]在上述SEMI規格中，對于上述300mmF0UP以及上述450mmF0UP的任一種均規定在容器的底面具備分散配置的三個被支撐部，以便在由支撐體支撐著容器的情況下，容器相對于支撐體定位在恰當的位置(以下稱為恰當載置位置)。這三個被支撐部由沿容器的橫寬方向分離的一對的被支撐部(以下稱為一對的前方側被支撐部)，和在容器的橫寬方向中央部且相對于一對的前方側被支撐部位于向容器的后方一側分離的位置的一個被支撐部(以下稱為后方側被支撐部)構成。
[0007]而且，支撐體支撐300mmF0UP的情況下的該300mmF0UP的一對的前方側被支撐部與支撐體支撐450mmF0UP的情況下的該450mmF0UP的一對的前方側被支撐部相比，俯視下在容器的橫寬方向(支撐體的橫寬方向)上位于內方一側。
[0008]但是，由于若分別設置300mmF0UP用的移載部及載置體，和450mmF0UP用的移載部及載置體，則導致設備成本的增大，所以希望共用300_F0UP用的移載部及載置體，和450mmF0UP用的移載部及載置體。
[0009]但是，若僅是支撐體具備支撐小容器的前方側被支撐部的支撐部和支撐大容器的前方側被支撐部的支撐部雙方的結構，則支撐體的橫寬方向上的尺寸是與大容器的一對的前方側被支撐部的間隔相對應地設定的。因此，若在載置體上形成具備支撐大容器的前方側被支撐部的支撐部的支撐體能夠沿上下方向通過的缺口部，則難以在載置體上設置支撐小容器上的一對的前方側被支撐部的載置體側支撐部。因此，會產生雖然能夠支撐大容器，但不能夠將適當地將小容器從支撐體向載置體移載的問題。
[0010]為此，希望實現具備既能夠由支撐體恰當地支撐小容器和大容器雙方，又能夠適當地將小容器和大容器雙方向載置體移載的移載部的容器運送設備。
【發明內容】
[0011]本發明所涉及的容器運送設備具備:移載部，其具備支撐體和移動操作部，所述支撐體從下方支撐在前表面配置有用于取放半導體基板的開口的容器，所述移動操作部操作前述支撐體至少沿上下方向移動；板狀的載置體，作為前述容器被前述移載部移載的移載對象部位；
前述支撐體具備支撐體側支撐部，在將前述容器定位在該支撐體上的移載用位置的狀態下支撐該容器的底面；
前述載置體具備俯視為凹狀的缺口部，和分散配置在俯視下沿著前述缺口部的周緣的方向上的不同位置的多個載置體側支撐部，在通過支撐著前述容器的前述支撐體的一部分朝向下方通過前述缺口部，由前述多個載置體側支撐部將前述容器相對于前述載置體在橫寬方向上定位的狀態下承接支撐前述容器的底面，
前述支撐體具備連接前述移動操作部的基部，和從前述基部沿水平方向突出、在前述容器的移載時沿上下方向通過前述缺口部的突出部，并且以前述容器的從前方朝向后方的方向沿著前述突出部的突出方向的姿勢支撐前述容器，
前述突出部的橫寬與前述容器的橫寬相比較窄地形成，
作為前述容器，存在小容器和橫寬方向與前述小容器相比寬幅地構成的大容器，
前述小容器在其底面上具備分散配置的三個小容器用被支撐部，前述三個小容器用被支撐部由一對的小容器用前方側被支撐部和一個小容器用后方側被支撐部構成，所述一對的小容器用前方側被支撐部在前述小容器的橫寬方向上分離，所述一個小容器用后方側被支撐部位于前述小容器的橫寬方向中央部，并且相對于前述一對的小容器用前方側被支撐部向前述小容器的后方一側分離的位置，
前述大容器在其底面上具備分散配置的三個大容器用被支撐部，前述三個大容器用被支撐部由一對的大容器用前方側被支撐部和一個大容器用后方側被支撐部構成，所述一對的大容器用前方側被支撐部在前述大容器的橫寬方向上分離，所述一個大容器用后方側被支撐部位于前述大容器的橫寬方向中央部，并且相對于前述一對的大容器用前方側被支撐部向前述大容器的后方一側分離的位置，
前述支撐體支撐著前述小容器的狀態下的前述一對的小容器用前方側被支撐部與前述支撐體支撐著前述大容器的狀態下的前述一對的大容器用前方側被支撐部相比，俯視下在前述支撐體的橫寬方向上位于內方一側，
前述支撐體作為前述支撐體側支撐部具備支撐前述小容器的底面上的前述三個小容器用被支撐部的三個支撐體側小容器用支撐部，和支撐前述大容器的底面上的外周部的前述基部一側的緣部的支撐體側緣部支撐部。
[0012]S卩、支撐體能夠由支撐小容器的底面上的三個小容器用被支撐部的三個支撐體側小容器用支撐部對小容器以定位在恰當的載置位置的狀態進行支撐，并且能夠通過支撐大容器的底面上的外周部的基部一側的緣部的支撐體側緣部支撐部對大容器以定位在恰當的載置位置的狀態進行支撐。
[0013]而且，由于支撐體上的突出部的橫寬與小容器的橫寬相較窄地形成，當將由支撐體支撐的小容器向載置體移載時，通過以支撐著小容器的支撐體上的突出部朝向下方通過載置體的缺口部的方式使移動操作部動作，能夠使分散配置在沿著缺口部的周緣的方向上不同的位置的多個載置體側支撐部支撐小容器。
[0014]此外，由于支撐體上具備支撐大容器的底面上的外周部的基部一側的緣部的支撐體側緣部支撐部，所以如果突出部上具備支撐大容器的底面的支撐部，則能夠穩定地支撐大容器。而且，當將由支撐體支撐的大容器向載置體移載時，以支撐著大容器的支撐體上的突出部朝向下方通過載置體的缺口部的方式使移動操作部動作，能夠使分散配置在沿著缺口部的周緣的方向上不同的位置的多個載置體側支撐部支撐大容器。
[0015]這樣，能夠由支撐體恰當地支撐小容器和大容器雙方，并且能夠實現具備能夠適當地將小容器和大容器雙方向載置體移載的移載部的容器運送設備。
[0016]以下，對本發明的優選實施方式的例子進行說明。
[0017]在本發明所涉及的容器運送設備的實施方式中，優選的是，前述支撐體側緣部支撐部沿前述支撐體的橫寬方向分散地配置有多個。
[0018]即、由于支撐體側緣部支撐部以沿支撐體的橫寬方向分散的多個部位支撐大容器的底面上的外周部的基部一側的緣部，所以能夠使大容器的前方側部分的橫寬方向上的姿勢穩定。
[0019]因此，即使在通過移動操作部操作移載部移動，以將大容器向載置體移載的情況下，也能夠以穩定的姿勢由支撐體支撐大容器。