本實用新型屬于自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種燕尾托板自動化提升裝置。
背景技術(shù):
硅棒加工硅片過程中在脫膠工段,需要搬運工裝燕尾托板。傳統(tǒng)的搬運燕尾托板,以人工為主,工裝的提升和挪動均通過人力來實現(xiàn)。工裝的人工作業(yè)主要存在兩方面的缺陷:一是人工提升工裝,由于定位不準(zhǔn)易造成硅片的磕碰損傷;二是工裝重量大,對人員的體力是一種挑戰(zhàn),搬運效率低。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的在于提供一種燕尾托板自動化提升裝置,解決了現(xiàn)有的人工搬運燕尾托板存在的搬運效率低以及容易磕碰工件的問題。
本實用新型所采用的技術(shù)方案是:燕尾托板自動化提升裝置,包括提升機(jī)構(gòu)、夾持機(jī)構(gòu)以及控制提升機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)動作的控制器,夾持機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于移動工作臺下端的相對設(shè)置的左側(cè)滾珠絲杠和右側(cè)滾珠絲杠,移動工作臺由控制器控制提升機(jī)構(gòu)帶動升降,控制器控制左側(cè)滾珠絲杠和右側(cè)滾珠絲杠相向運動夾持放置于脫膠小車上的燕尾托板。
本實用新型的特點還在于,
提升機(jī)構(gòu)包括連接于移動工作臺的齒輪齒條提升結(jié)構(gòu),齒輪齒條提升結(jié)構(gòu)由提升伺服電動機(jī)驅(qū)動后帶動移動工作臺完成升降動作。
提升機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于齒輪齒條提升機(jī)構(gòu)上的提升距離傳感器,控制器通過提升距離傳感器確認(rèn)升降位置。
夾持機(jī)構(gòu)的左側(cè)滾珠絲杠和右側(cè)滾珠絲杠分別對應(yīng)由左側(cè)伺服電動機(jī)和右側(cè)伺服電動機(jī)驅(qū)動相向或相離運動。
夾持機(jī)構(gòu)的左側(cè)滾珠絲杠和右側(cè)滾珠絲杠上分別對應(yīng)設(shè)置有左側(cè)夾持傳感器和右側(cè)夾持傳感器,控制器通過左側(cè)夾持傳感器和右側(cè)夾持傳感器確定左側(cè)滾珠絲杠和右側(cè)滾珠絲杠相向或相離的距離。
脫膠小車上設(shè)置有定位工裝,定位工裝包括小車定位傳感器,控制器通過小車定位傳感器獲取脫膠小車的確切位置。
本實用新型的有益效果是:本實用新型的燕尾托板自動化提升裝置解決了現(xiàn)有的人工搬運燕尾托板存在的搬運效率低以及容易磕碰工件的問題。本實用新型的燕尾托板自動化提升裝置代替了原來人工抬取搬運托板的工作,變成自動運行,定位精確,運行平順,提高了搬運效率,通過約束工裝移動的軌跡,避免了與硅片的碰撞和擦碰,有助于提高硅片生產(chǎn)質(zhì)量,實用性強(qiáng),適應(yīng)性強(qiáng)。
附圖說明
圖1是本實用新型的燕尾托板自動化提升裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中,1.提升機(jī)構(gòu),2.夾持機(jī)構(gòu),3.燕尾托板,4.定位工裝,5.脫膠小車,11.提升距離傳感器,12.提升伺服電動機(jī),13.齒輪齒條提升結(jié)構(gòu),21.左側(cè)滾珠絲杠,22.左側(cè)夾持傳感器,23.右側(cè)夾持傳感器,24.右側(cè)滾珠絲杠,25.右側(cè)伺服電動機(jī),26.左側(cè)伺服電動機(jī),27.移動工作臺。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
本實用新型提供的燕尾托板自動化提升裝置的結(jié)構(gòu)如圖1所示,包括設(shè)置于脫膠小車5上的定位工裝4,定位工裝4上安裝有小車定位傳感器,提升裝置1包含提升距離傳感器11、齒輪齒條提升結(jié)構(gòu)13和提升伺服電動機(jī)12,燕尾托板夾持機(jī)構(gòu)2包含左側(cè)伺服電動機(jī)26、左側(cè)滾珠絲杠21、左側(cè)夾持傳感器22、右側(cè)夾持傳感器23、右側(cè)滾珠絲杠24、右側(cè)伺服電動機(jī)25與移動工作臺27相連。移動工作臺27與齒輪齒條提升結(jié)構(gòu)13相連。
控制器(圖未示)和提升伺服電動機(jī)12、左側(cè)伺服電動機(jī)26、右側(cè)伺服電動機(jī)25、提升距離傳感器11、左側(cè)夾持傳感器22、右側(cè)夾持傳感器23、小車定位傳感器(圖未示)相連。
本實用新型的燕尾托板自動化提升裝置工作過程如下:
定位工裝4上的小車定位傳感器獲得脫膠小車5的位置感應(yīng)信號后將其送入控制器,然后控制器傳送信號給提升伺服電動機(jī)12以驅(qū)動齒輪齒條提升結(jié)構(gòu)13帶動移動工作臺27開始下降,下降到指定位置后,觸發(fā)提升距離傳感器11,感應(yīng)信號送入控制器,控制器控制伺服電動機(jī)12停止轉(zhuǎn)動保持不變,此時提升機(jī)構(gòu)下降過程完成并開始燕尾托板夾持過程。
控制器傳送開始信號給燕尾托板夾持機(jī)構(gòu)2的左側(cè)伺服電動機(jī)26和右側(cè)伺服電動機(jī)25,然后電動機(jī)分別驅(qū)動左側(cè)滾珠絲杠21和右側(cè)滾珠絲杠24相向而行夾持燕尾托板3,直到燕尾托板3分別觸發(fā)左側(cè)夾持傳感器22和右側(cè)夾持傳感器23;兩個傳感器將停止信號傳遞給控制器,控制器控制左側(cè)伺服電動機(jī)26和右側(cè)伺服電動機(jī)25停止運轉(zhuǎn)保持不變,此時夾持過程完成并開始提升過程。
控制器傳送提升信號給提升伺服電動機(jī)12以驅(qū)動齒輪齒條提升結(jié)構(gòu)13帶動移動工作臺27上升到指定位置后,觸發(fā)提升距離傳感器11,將感應(yīng)信號送入控制器,控制器控制伺服電動機(jī)12停止轉(zhuǎn)動保持不變,此時提升機(jī)構(gòu)上升過程完成。