掩膜板夾取裝置的制作方法

本實用新型涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜板夾取裝置。

背景技術：

精細金屬掩膜板(英文：Fine Metal Mask；簡稱：FMM)是有機發光二極管(英文：Organic Light-Emitting Diode；簡稱：OLED)顯示裝置制造過程中，用于在基板上蒸鍍發光層的組件。在通過該FMM對基板進行蒸鍍前，需要先通過多個掩膜板夾取裝置分別夾取該FMM的兩端，然后對該FMM進行拉伸，使得FMM上的掩膜圖形與基板上待蒸鍍的圖形保持一致。

相關技術中，參考圖1，每個掩膜板夾取裝置可以包括相對設置的第一夾取部A和第二夾取部B。在使用該多個掩膜板夾取裝置夾取FMM時，可以先將該FMM放置在各個夾取裝置的第一夾取部A的端面上，然后使該多個掩膜板夾取裝置的第二夾取部B同時靠近并壓緊在該FMM遠離第一夾取部A的一面，使得該FMM固定在該兩個夾取部之間，以便對該FMM進行拉伸。

但是，在使用相關技術中的掩膜板夾取裝置對FMM進行夾取的過程中，對該多個掩膜板夾取裝置的第二夾取部的同步性要求較高，若某個掩膜板夾取裝置的第二夾取部提前壓緊在FMM上，則可能會使該FMM發生移動，進而使得夾取過程中FMM產生額外褶皺，影響后續的拉伸效果。

技術實現要素：

為了解決相關技術中的掩膜板夾取裝置在夾取掩膜板時可能使得掩膜板發生移動而產生額外褶皺的問題，本實用新型提供了一種掩膜板夾取裝置。

所述掩膜板夾取裝置包括：第一夾取部、第二夾取部以及吸附部；

所述第一夾取部和所述第二夾取部相對設置，用于將掩膜板固定在所述第一夾取部和所述第二夾取部之間；

在所述掩膜板放置在所述第一夾取部上時，所述吸附部能夠與所述掩膜板靠近所述第一夾取部的一面接觸，并吸附所述掩膜板。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部的一側，且所述吸附部的吸附面與所述第一夾取部的端面位于同一平面。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部靠近所述掩膜板的一側。

可選的，所述吸附部設置在所述第一夾取部的端面。

可選的，所述吸附部包括吸附面板和抽真空組件；

所述吸附面板上設置有多個貫穿所述吸附面板的通孔；

所述抽真空組件通過氣管與所述多個通孔連通，當所述吸附面板與所述掩膜板接觸時，所述抽真空組件能夠通過所述多個通孔，對所述吸附面板與所述掩膜板之間的空間進行抽真空。

可選的，所述多個通孔的進氣口陣列排布在所述吸附面板的吸附面上。

可選的，所述多個通孔中至少兩個通孔共用一個出氣口，所述出氣口為與所述氣管連接的開口。

可選的，所述吸附面板的吸附面上設置有硅膠層。

可選的，所述吸附部包括支撐組件、抽真空組件和多個真空吸嘴；

所述多個真空吸嘴插裝在所述支撐組件上，且每個所述真空吸嘴與所述抽真空組件連通。

可選的，所述吸附部為電磁鐵。

本實用新型提供的技術方案帶來的有益效果是：

本實用新型實施例提供了一種掩膜板夾取裝置，該掩膜板夾取裝置中除了第一夾取部和第二夾取部，還包括吸附部，在掩膜板放置在第一夾取部上時，該吸附部能夠吸附掩膜板，從而可以提高掩膜板放置在第一夾取部上時的穩定性，避免第二夾取部壓緊掩膜板時使該掩膜板發生移動，進而可以避免掩膜板在夾取過程中產生的額外褶皺，保證了掩膜板的拉伸效果，進而保證了顯示裝置的蒸鍍效果。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是相關技術中一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例提供的一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例提供的另一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖4是本實用新型實施例提供的又一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖5是本實用新型實施例提供的再一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖6是本實用新型實施例提供的一種吸附面板的俯視圖；

圖7是圖6所示的吸附面板在AA方向的截面圖；

圖8是本實用新型實施例提供的再一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖；

圖9是本實用新型實施例提供的再一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型實施方式作進一步地詳細描述。

圖2是本實用新型實施例提供的一種掩膜板夾取裝置的結構示意圖，如圖2所示，該掩膜板夾取裝置可以包括：

第一夾取部10、第二夾取部20以及吸附部30。

該第一夾取部10和該第二夾取部20相對設置，用于將掩膜板00固定在該第一夾取部10和該第二夾取部20之間。

在該掩膜板00放置在該第一夾取部10上時，該吸附部30能夠與該掩膜板00靠近該第一夾取部10的一面接觸，并吸附該掩膜板00。

綜上所述，本實用新型實施例提供了一種掩膜板夾取裝置，該掩膜板夾取裝置中還包括吸附部，在掩膜板放置在第一夾取部上時，該吸附部能夠吸附掩膜板，提高了掩膜板放置在第一夾取部上時的穩定性，避免第二夾取部壓緊掩膜板時使該掩膜板發生移動，進而可以避免掩膜板在夾取過程中產生的額外褶皺，保證了掩膜板的拉伸效果，進而保證了顯示裝置的蒸鍍效果。

需要說明的是，本實用新型實施例提供的掩膜板夾取裝置主要用于夾取精細金屬掩膜板。

可選的，如圖2和圖3所示，該吸附部30可以設置在該第一夾取部10的一側，且該吸附部30的吸附面與該第一夾取部10的端面位于同一平面。例如圖2中，吸附部30設置在第一夾取部10靠近掩膜板00的一側，即圖2中第一夾取部10的左側；或者，如圖3所示，吸附部30也可以設置在該第一夾取部10遠離掩膜板的一側，即圖3中第一夾取部10的右側。

優選的，參考圖2，該吸附部30可以設置在該第一夾取部10靠近該掩膜板00的一側；使得當該第二夾取部20壓緊在掩膜板00的末端時，該吸附部30能夠對該掩膜板進行有效的預固定，避免各個夾取裝置中第二夾取部同步性較差對該掩膜板造成的影響。

另一方面，如圖4所示，該吸附部30還可以設置在該第一夾取部10的端面。也即是，在放置掩膜板時，可以直接將該掩膜板放置在該吸附部30的端面(即吸附面)上。

在本實用新型一種可選的實現方式中，如圖5所示，該吸附部可以包括吸附面板301和抽真空組件302。

其中，該吸附面板301上設置有多個貫穿該吸附面板301的通孔a；該抽真空組件302通過氣管b與該多個通孔a連通，當該吸附面板301與該掩膜板接觸時，該抽真空組件302能夠通過該多個通孔a，對該吸附面板301與該掩膜板之間的空間進行抽真空，從而將該掩膜板吸附在該吸附面板301上。

圖6是本實用新型實施例提供的一種吸附面板的俯視圖，從圖6中可以看出，該多個通孔a的進氣口可以陣列排布在該吸附面板301的吸附面上，以保證該掩膜板所受到的吸附力是均勻分布的。

圖7是圖6所示的吸附面板在AA方向的截面圖，從圖7中可以看出，該多個通孔a中至少兩個通孔可以共用一個出氣口，該出氣口為與該氣管連接的開口。由于每個出氣口需要通過一根氣管與抽真空組件連接，因此使多個通孔共用一個出氣口可以減少吸附部中所需使用的氣管的數量，降低該掩膜板夾取裝置的成本和體積。

可選的，該吸附面板301的吸附面上可以設置有硅膠層，即該吸附面可以由硅膠材料制成，由于硅膠具有一定的彈性，能夠增強真空吸附的效果。

作為本實用新型另一種可選的實現方式，參考圖8，該吸附部還可以包括支撐組件303、抽真空組件302和多個真空吸嘴304。該多個真空吸嘴304插裝在該支撐組件303上，且每個真空吸嘴304與該抽真空組件302連通。示例的，如圖8所示，該多個真空吸嘴304可以在該支撐組件303上陣列排布，以保證掩膜板能夠均勻受力。并且，每個真空吸嘴304可以通過氣管b與抽真空組件302連通，該抽真空組件302可以通過氣管b對真空吸嘴304與掩膜板之間的空間進行抽真空。

作為本實用新型又一種可選的實現方式，該掩膜板夾取裝置中的吸附部還可以為電磁鐵，該電磁鐵在通電狀態下具有磁性，能夠吸附精細金屬掩膜板；該電磁鐵斷電時磁性消失，能夠解除對該精細金屬掩膜板的吸附力。

以圖5所示的掩膜板夾取裝置為例，對本實用新型實施提供的掩膜板夾取裝置的使用方法進行說明。參考圖9，在實際應用中，可以在待夾取的掩膜板00的兩側對稱設置兩組掩膜板夾取裝置。在夾取掩膜板之前，可以先對第一夾取部(圖9中未示出)端面的平坦度進行調整。具體的，如圖5所示，該第一夾取部10用于承載掩膜板的一端設置有可拆卸部101，可以通過在該可拆卸部101的下表面鋪墊錫紙來調節該可拆卸部101上表面(即該第一夾取部10的端面)的平坦度，使得該第一夾取部端面的平坦度保持在±10微米以內。此外，從圖5中還可以看出，第二夾取部20用于壓緊掩膜板的一端也設置有可拆卸部201，因此也可以通過該可拆卸部201來調整第二夾取部20端面的平坦度，且該兩個夾取部中的可拆卸部可以分別通過連接件與夾取部的主體連接。

之后即可將掩膜板00的兩端分別放置在各夾取裝置中第一夾取部的端面上，使得吸附部30與該掩膜板00靠近第一夾取部10的一側接觸。然后采用抽真空組件302對吸附面板301與掩膜板之間的空氣進行抽真空(各個掩膜板夾取裝置中的抽真空組件統一控制，可以達到很好的同步性)，從而將掩膜板吸附在各個夾取裝置中的吸附面板上。通過吸附部30將掩膜板00預固定后，即可使該多個夾取裝置的第二夾取部20在馬達或者氣動裝置的驅動下，同步下降并壓緊在該掩膜板00的上表面(即遠離第一夾取部的一面)。由于該掩膜板00的前端已經經過真空吸附固定，掩膜板00和吸附面板的吸附面之間基本無空隙，所以第二夾取部20下降壓緊的過程中，對掩膜板00的影響降低很多，可以避免該掩膜板發生移動。第二夾取部20完全壓緊后，即可使抽真空組件釋放真空，此時吸附部對該掩膜板的吸附力解除，完成夾取操作。

需要說明的是，在本實用新型實施例中，該吸附部可以通過連接件(例如螺栓)與該第一夾取部可拆卸連接。或者，該吸附部還可以與該第一夾取部相對獨立設置，此時該吸附部可以由支撐平臺或者支撐件進行支撐，只要保證該吸附部的吸附面與該第一夾取部的端面位于同一平面即可。本實用新型實施例對該吸附部與該第一夾取部之間的連接關系不做限定。

綜上所述，本實用新型實施例提供了一種掩膜板夾取裝置，該掩膜板夾取裝置中還包括吸附部，在掩膜板放置在第一夾取部上時，該吸附部能夠吸附掩膜板，提高了掩膜板放置在第一夾取部上時的穩定性，避免第二夾取部壓緊掩膜板時使該掩膜板發生移動，進而可以避免掩膜板在夾取過程中產生的額外褶皺，保證了掩膜板的拉伸效果，進而保證了顯示裝置的蒸鍍效果。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。