，在使用塑料膜等作為基材 的情況下，會發生該基材的變形、基材的強度降低等。但是，在聚酷亞胺等耐熱性高的膜、金 屬等基材的情況下，則可W在更高溫下處理。因此，對該紫外線照射時的基材溫度，沒有通 常的上限，本領域技術人員可W根據基材的種類適當設定。另外，對紫外線照射氣體氛圍沒 有特別限制，只要在空氣中實施即可。
[0129]作為運樣的紫外線的產生方法，可W列舉例如：金屬面素燈、高壓隸燈、低壓隸燈、 氣弧燈、碳弧燈、準分子燈（172nm、222nm、308nm的單一波長、例如，USHI0(公司）制）、UV 光激光等，沒有特別限定。另外，在對涂布層照射產生的紫外線時，為了實現均勻照射并提 高效率，優選使來自產生源的紫外線被反射板反射后再照射至涂布層。
[0130]紫外線照射可W應用于分批處理，也可W應用于連續處理，可W根據被涂布基材 的形狀來適當選擇。例如，在分批處理的情況下，可w利用具備了如上所述的紫外線產生源 的紫外線燒成爐對在表面上具有涂布層的基材（例如，娃晶片等）進行處理。紫外線燒成 爐自身可W使用通常周知的，例如EYEGRAPHICS(公司）制。另外，在表面上具有涂布層的 基材為長條膜狀的情況下，一邊對其輸送，一邊在具備如上所述的紫外線產生源的干燥區 中連續地照射紫外線，由此能夠進行陶瓷化。紫外線照射所需要的時間根據待涂布的基材、 涂布液的組成、濃度的不同而不同，通常為0.1秒鐘~10分鐘，優選為0. 5秒鐘~3分鐘。 陽131] (2-2)真空紫外線照射處理；準分子照射處理
[0132] 在本發明中，作為更優選的改性處理的方法，可W列舉利用真空紫外線照射進行 的處理。利用真空紫外線照射進行的處理是如下所述方法：使用大于娃氮燒化合物內的原 子間鍵強度的100~200皿的光能量，優選使用100~180皿波長的光能量，通過被稱為光 量子工藝的僅利用光子的作用，一邊直接切斷原子鍵，一邊進行由活性氧、臭氧引起的氧化 反應，由此能夠在較低溫度下進行氧化娃膜的形成。 陽133] 作為其需要的真空紫外光源，可W優選使用稀有氣體準分子燈。
[0134] 運里，由于Xe、Kr、Ar、化等稀有氣體的原子不能進行化學鍵合而形成分子，因此， 被稱為非活性氣體。但是，通過放電等得到了能量的稀有氣體的原子（激發原子）能夠與 其它原子鍵合而形成分子。在稀有氣體為氣氣的情況下，
[0137] 作為被激發的準分子分子的乂62巧^遷至基底狀態時，發出172nm的準分子光。作 為準分子燈的特征，可W列舉：發射集中于一個波長，且幾乎不會發射出不需要的光，因此 效率較高。
[013引另外，由于未發射多余的光，因此可W較低地保持對象物的溫度。另外，由于不需 時間來啟動/再啟動，因此能夠瞬間點亮或焰滅。
[0139] 為了得到準分子發光，已知有使用介質氣體阻擋放電（dielecticgasbarrier discharge)的方法。介質氣體阻擋放電是指，在兩電極之間隔著介電質（準分子燈的情 況下為透明石英）配置氣體空間，并對電極施加數10曲Z的高頻高電壓，由此在氣體空 間所產生的與雷相似的非常地細小的被稱為微放電（microdischarge)的放電。如果 microdischarge的電子流到達管壁（介電質），則會在介電質表面積存電荷，因此micro discharge消失。如上所述，介質氣體阻擋放電是指microdischarge擴散至管壁整體，且 反復生成/消失的放電。因此，會產生即使是肉眼也能夠看見的光的閃爍。另外，由于溫度 非常高的電子流在局部直接到達管壁，因此也有加速管壁劣化的可能性。
[0140] 作為高效率地得到準分子發光的方法，除了介質氣體阻擋放電W外，也可W使用 無電極電場放電（electrodelessfielddischarge)。利用電容性禪合的無電極電場放電， 別名也稱為RF放電。燈和電極及其配置基本上也可W與介質氣體阻擋放電相同，通過在兩 極之間施加的高頻達到數MHz來點亮。無電極電場放電如上所述能夠獲得空間上/時間上 相同的放電，因此可W得到無閃爍且壽命長的燈。 陽141] 在介質氣體阻擋放電的情況下，由于microdischarge僅在電極之間產生，因此為 了使放電空間整體進行放電，必須使外側的電極覆蓋外表面整體，且為了使光射出外部而 必須使光透過外表面。因此，可W使用將細金屬線做成網狀而形成的電極。由于該電極為 了不遮擋光而盡可能使用較細的線，因此在氧氣氛圍中，容易被由真空紫外光產生的臭氧 等損傷。 陽142]為了防止運樣的情況，需要使燈的周圍、即照射裝置內為氮氣等非活性氣體氛圍， 且需要設置合成石英窗來使照射光射出。合成石英窗不但是高價的消耗品，而且也會產生 光損耗。 陽14引由于雙層圓筒型燈的外徑為25mm左右，因此對于燈軸的正下方和燈側面而言，至U照射面的距離之差不能忽視，且在照度上產生很大的差別。因此，即使將燈密接排列，也不 能得到同樣的照度分布。如果是設置了合成石英窗的照射裝置，則可W使氧氣氛圍中的距 離相同，能夠得到相同的照度分布。
[0144] 在使用無電極電場放電的情況下，不需要將外部電極做成網狀。只要在燈外面的 一部分設置外部電極，輝光放電即可擴展至放電空間整體。對于外部電極而言，通常在燈背 面使用由侶塊制作的電極，該電極也用作光的反射板。但是，與介質氣體阻擋放電的情況一 樣，燈的外徑較大，因此為了形成相同的照度分布需要合成石英。
[0145] 細管準分子燈的最大的特征在于結構簡單。封閉石英管的兩端，并且僅在內部封 入用于進行準分子發光的氣體。因此，可W提供非常廉價的光源。
[0146] 對于雙層圓筒型燈而言，將內外管的兩端連接并進行了封閉加工，因此與細管燈 相比，容易由使用或輸送而導致破損。另外，細管燈的管的外徑為6~12mm左右，如果過粗， 則啟動時需要高電壓。 陽147]放電的形式可W使用介質氣體阻擋放電、無電極電場放電中的任一種。對于電極 的形狀而言，與燈相接的面可W為平面，但是如果為符合燈的曲面的形狀，則可W通過牢固 地固定燈，且同時使電極密接于燈而使放電更穩定。另外，如果用侶將曲面做成鏡面，則也 可W成為光的反射板。
[0148]Xe準分子燈W單一波長發射波長較短的172nm的紫外線，因此發光效率優異。該 光的氧的吸收系數較大，因此能夠用微量的氧來高濃度地產生自由基氧原子種、臭氧。另 夕F，已知使有機物的鍵解離的短波長172nm的光的能量具有較強的能力。通過該活性氧、臭 氧和紫外線放射所具有的高能量，能夠在短時間內實現含有聚娃氮燒的涂布膜的改性。因 此，與發出波長185nm、254nm的低壓隸燈或等離子體清洗相比，能夠隨著高產能而縮短工 藝時間、縮小設備面積，可W對容易受到熱導致的損傷的有機材料、塑料基板等進行照射。
[0149] 準分子燈的光的產生效率較高，因此能夠通過較低的電力投入來使其點亮。另外， 不會發出作為由光引起溫度升高的主要原因的長波長的光，且在紫外線區域中W單一波長 照射能量，因此具有能夠抑制照射對象物的表面溫度升高的特征。因此，適于容易受到熱影 響的PET等的曉性膜材料。
[0150]《樹脂材料》 陽151] 如上所述，在本發明的光學膜的半導體納米粒子層中，優選含有樹脂材料，更優選 含有紫外線固化性樹脂。 陽152]作為紫外線固化性樹脂，優選使用例如：紫外線固化型聚氨醋丙締酸醋類樹脂、紫 外線固化型聚醋丙締酸醋類樹脂、紫外線固化型環氧丙締酸醋類樹脂、紫外線固化型多元 醇丙締酸醋類樹脂、或紫外線固化型環氧樹脂等。其中，優選紫外線固化型丙締酸醋類樹 脂。 陽153] 紫外線固化型聚氨醋丙締酸醋類樹脂通常可W通過使異氯酸醋單體或預聚物與 聚醋多元醇反應，并將得到的生成物進一步與丙締酸2-徑基乙醋、甲基丙締2-徑基乙醋 (W下，作為丙締酸醋中包含甲基丙締酸醋的醋，僅表示丙締酸醋）、丙締酸2-徑基丙醋等 具有徑基的丙締酸醋類單體發生反應而容易地得到。可W使用例如特開昭59-151110號公 報中記載的物質。優選使用例如UNIDIC17-806值1C公司制）100份與CORONATEUNippon Polyurethane公司制）1份的混合物等。 陽154] 作為紫外線固化型聚醋丙締酸醋類樹脂，通常可W列舉例如：使丙締酸2-徑基乙 醋、丙締酸2-徑基醋類的單體與聚醋多元醇發生反應而容易得到的樹脂，可W使用特開昭 59-151112號公報中記載的樹脂。
[0155] 作為紫外線固化型環氧丙締酸醋類樹脂的具體例子，可W列舉：將環氧丙締酸醋 作為低聚物，向其中添加反應性稀釋劑、光聚合引發劑，使其發生反應而生成的樹脂，可W 使用在特開平1-105738號公報所記載的樹脂。
[0156] 作為紫外線固化型多元醇丙締酸醋類樹脂的具體例子，可W列舉：Ξ徑甲基丙烷 Ξ丙締酸醋、二（Ξ徑甲基丙烷）四丙締酸醋、季戊四醇Ξ丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、 二季戊四醇六丙締酸醋、烷基改性二季戊四醇五丙締酸醋等。 陽157] 作為運些紫外線固化性樹脂的光聚合引發劑，具體而言，可W列舉：苯偶姻及其衍 生物、苯乙酬、二苯甲酬、徑基二苯甲酬、米蛋酬、α-戊基朽醋、嚷噸酬等及它們的衍生物。 還可W與光敏劑一起使用。上述光聚合引發劑也可W作為光敏劑來使用。另外，在使用環 氧丙締酸醋類的光聚合引發劑時，可W使用：正下胺、Ξ乙胺、Ξ正下麟等敏化劑。相對于該 組合物100質量份，用于紫外線固化樹脂組合物的光聚合引發劑或光敏劑為0. 1~15質量 份，優選為1~10質量份。
[0158] 作為樹脂單體，例如，作為不飽和雙鍵為一個的單體，可W列舉：丙締酸甲醋、丙 締酸乙醋、丙締酸下醋、丙締酸節醋、丙締酸環己醋、乙酸乙締醋、苯乙締等通常的單體。另 夕F，作為具有兩個W上不飽和雙鍵的單體，可W列舉：乙二醇二丙締酸醋、丙二醇二丙締酸 醋、二乙締基苯、1,4-環己燒二丙締酸醋、1,4-環己基二甲基二丙締酸醋、Ξ徑甲基丙烷 Ξ丙締酸醋、季戊四醇四丙締酸醋等。作為市售品，可W適當選擇使用：ADEKA0PT0MER KR·BY系列：KR-400、KR-410、KR-550、KR-566、KR-567、BY-320B(ADEKA株式會社制）； K0EIHA畑A-101-KK、A-101-WS、C-302、C-401-N、C-501、M-101、M-102、T-102、D-102、 NS-101、FT-102Q8、MAG-1-P20、AG-106、M-101-C(廣榮化學工業株式會社制）；SEIKABEAM P肥2210 (S)、PHCX-9〇(-3)、P肥2213、DP-10、DP-20、DP-30、P1000、P1100、P1200、P1300、 P1400、P1500、P1600、SCR900(大日精化工業株式會社制）；KRM7033、KRM7039、KRM7130、 KRM7131、UVECRYL29201、UVECRYL29202 值aicelUCB株式會社制）；RC-5015、RC-5016、 RC-5020、RC-5031、RC-5100、RC-5102、RC-5120、RC-5122、RC-5152、RC-5171、RC-5180、 RC-518UDIC株式會社制）；0LEXNo. 340化EAR(中國涂料株