清潔組合物的制作方法
【技術領域】
[0001] 本發明設及一種用于除去彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂的清潔組合物。
【背景技術】
[0002] 彩色濾光片實際上可通過內置于諸如互補金屬氧化物半導體(CM0巧或電荷禪合 器件(CCD)的圖像傳感器的彩色攝影裝置中而用于獲得彩色圖像。此外,它被廣泛用于圖 像傳感元件、等離子體顯示屏(PDP)、液晶顯示器化CD)、場發射顯示器(FEL)和發光顯示器 (LED)等,并且它們的應用范圍已迅速擴大。
[0003] 特別是,LCD的用途最近已被進一步擴大,因而彩色濾光片已被認為是用于重現 LCD的色調的最重要的組成部分之一。
[0004] 另一方面,光阻可大致分成正性光阻和負性光阻。不同于較易于除去并且可通過 基于有機溶劑的剝離劑在40°C至50°C的溫度下在一分鐘內除去的正性光阻,彩色光阻具 有負性光阻的特征,即具有高固化度并且由于隨著熱處理進行硬化而難W除去。
[0005] 于是,在高于70°C的條件下除去彩色光阻需要至少5分鐘的時間,因而期望更強 的剝離性能。
[0006] 目前,在平板顯示器的制造過程中,有機絕緣體被用于彩色濾光片的涂層。因此, 在彩色濾光片的RGB中出現涂層缺陷或在彩色濾光片的有機絕緣體中出現涂層缺陷時,如 果只是除去涂層缺陷部分而不是廢棄彩色濾光片,則可獲得提高產量和降低工藝成本的效 果。于是,彩色濾光片的再利用需要可同時將RGB彩色光阻和有機絕緣體全部除去的清潔 組合物。
[0007] 此外,在RGBW的透明光阻形成四像素結構而提高0L邸面板的光效率的情況下,使 用固化度高于彩色光阻或有機絕緣體且具有高的熱穩定性和化學穩定性的樹脂導致除去 更困難的問題。
[0008] 因此,為了再利用在彩色光阻的制備工藝期間產生的有缺陷的彩色濾光片,需要 開發可同時有效地將彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂全部除去的清潔組合物。
[0009] 為了解決運個問題,韓國專利公開10-2003-0026664號公開了一種含有氨氧化物 作為主要成分的彩色光阻剝離劑組合物,并且韓國專利公開10-2005-0006980號公開了一 種包含無機堿金屬氨氧化物、N-烷基-2-化咯燒酬等的剝離劑組合物。
[0010] 然而,即使現有技術實現了在剝離彩色光阻的方面上期望的性能,它也未顯示出 部分或全部除去有機絕緣體或透明樹脂的效果。
[0011] 此外,基于氨氧化物化合物的剝離劑組合物具有導致無機堿析出的問題,并且,由 于高溫工藝下水蒸發,無機堿金屬醋酸鹽也作為粉末析出,并且運可能導致缺陷。
[0012] 于是,需要開發一種可有效地將彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂基板全部除去 并且即使在高溫下也沒有離析問題的清潔組合物。
[001引專利文獻
[0014] 專利文獻1 :韓國專利公開10-2003-0026664號
[0015] 專利文獻2 :韓國專利公開10-2005-0006980號
【發明內容】
[0016] 于是,本發明考慮到相關領域中遇到的問題,并且本發明的一個目的是提供一種 在短時間內可有效地將彩色濾光片的彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂基板全部除去并且 即使在高溫下也沒有離析問題的清潔組合物。
[0017] 為了實現上述目的,本發明提供了一種用于除去彩色光阻、有機絕緣體和透明樹 脂的清潔組合物,基于所述組合物的總重量,包含:
[0018] (a) 1~lOwt%的季錠鹽化合物,
[0019] 化)40~80wt%的極性溶劑,
[0020] (C) 1~20wt%的由下面的化學式1或下面的化學式2表示的聚酸胺,
[0021] (d) 0. 1~5wt%的徑胺化合物,
[0022] (e)l~20wt%的碳原子數為4W上且沸點為100°CW上的烷基醇,
[0023] (f) 0. 01~%的無機堿或其鹽,和
[0024] (g) 1 ~40wt% 的水。
[00巧]本發明的清潔組合物可在短時間內有效地將彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂全 部除去,因而它可提高再利用彩色濾光片的生產率。
[0026] 特別是,本發明的清潔組合物可通過從LCD彩色濾光片或TFT基板中的彩色濾光 片集成結構中的基板除去固化的彩色光阻和有機絕緣體W及高交聯密度的透明樹脂來再 利用有缺陷的基板。
[0027] 進一步地,由于沒有使用具有堿金屬堿(a化allbase)的無機堿金屬氨氧化物,本 發明的清潔組合物即使在高溫工藝下也沒有由于蒸發剝離劑引起的析出無機堿的問題。
【具體實施方式】
[002引在下文中,將給出本發明的詳細描述。
[0029] 根據本發明,提供了一種用于除去彩色光阻、有機絕緣體和透明樹脂的清潔組合 物,其特征在于,包含:(a)季錠鹽化合物,化)極性溶劑,(C)由下面的化學式1或下面的化 學式2表示的聚酸胺,(d)徑胺化合物,(e)碳原子數為4W上且沸點為lOOrW上的烷基 醇,(f)無機堿或其鹽,和(g)水。
[0030] 本發明的清潔組合物通過上述組成具有W下優點:它可在短時間內有效地將彩色 光阻、有機絕緣體和透明樹脂全部除去,因而它可提高再利用彩色濾光片的生產率。
[0031] 季錠鹽化合物(a)
[0032] 本發明的季錠鹽化合物排放氨氧根離子,并且它滲入光阻中并起到促進聚合物光 阻溶解的作用。
[0033] 季錠鹽化合物可W是選自由四甲基氨氧化錠燈ΜΑΗ)、四乙基氨氧化錠燈EAH)、四 丙基氨氧化錠(ΤΡΑΗ)和四下基氨氧化錠(ΤΒΑΗ)組成的組中的任一種或多種。
[0034] 在本發明中,基于組合物的總重量,季錠鹽的量優選為1~lOwt%。如果季錠鹽在 本發明的清潔組合物中的量小于Iwt%,則氨氧根離子進入彩色光阻的聚合物的滲透能力 降低。相反,如果其量超過lOwt%,則水的量升高,從而降低聚合物樹脂的溶解性。
[00對極性溶劑化)
[0036] 本發明的極性溶劑通過滲透光阻和提高水溶脹性來提高對基板表面的剝離力度 (peelstrength)。進一步地,它提高了本發明的光阻剝離組合物在水中的溶解性,并且可 易于在水洗步驟后除去殘留物。
[0037] 極性溶劑可W是選自由二甲基亞諷、二乙基亞諷、二丙基亞諷、環下諷 (sulforan)、N-甲基化咯燒酬、化咯燒酬和N-乙基化咯燒酬組成的組中的一種或多種。
[0038] 在本發明中,基于組合物的總重量,極性溶劑的量優選為40~80wt%。
[0039] 如果極性溶劑在本發明的清潔組合物中的量小于40wt%,則聚合物樹脂的溶解力 可能下降。相反,如果其量超過80wt%,則錠鹽化合物的活性受到抑制,并且可除去性劣化。
[0040] 聚酸胺(C)
[0041] 本發明的聚酸胺對形成光阻的樹脂,特別是環氧樹脂具有優異的溶解性,因而它 可提高光阻的剝離力度,并用于改善裝置中的過濾器堵塞。進一步地,它對光阻(甚至使用 高熱穩定性及化學穩定性的樹脂的RGBW透明光阻)的剝離力度優異。
[0042] 在本發明中,聚酸胺是由下面的化學式1或下面的化學式2表示的化合物,
[0043][化學式1]
[0044]
[0045] 在化學式1中,R是C1~C6無環烷基或C1~C3的烷氧基,并且X是1至6的整 數。
[004引[化學式引
[0047]
[004引在化學式2中,y是2至70的整數。
[0049] 特別是,由上面的化學式1表示的聚酸胺是選自由Ξ乙二醇二胺、3,6-二氧 雜-1,8-辛二胺、4, 7-二氧雜-1,10-癸二胺、4, 9-二氧雜-1,12-十二燒二胺和 4, 7, 10-Ξ 氧雜-1,13-十Ξ燒二胺組成的組中的任一種或多種;并且
[0050] 由上面的化學式2表示的聚酸胺可W是y為2~3、5~6、33~34或67~68且 重均分子量為200至4000的化合物。它可W單獨使用或W兩種或更多種的組合使用。
[0051] 優選地,本發明的聚酸胺可W是Ξ乙二醇二胺、聚氧丙締二胺(重均分子量: 230)、聚氧丙締二胺(重均分子量:400)、聚氧丙締二胺(重均分子量:2000)等。
[0052] 在本發明中,基于組合物的總重量,聚酸胺的量優選為1~20wt%。如果聚酸胺在 本發明的清潔組合物中的量小于Iwt%,則滲入固化的樹脂使鍵斷裂的能力降低。相反,如 果其量超過20wt%,則聚合物光阻的溶解力由于烷基季錠化合物和二甲基亞諷的相對減少 而劣化。
[00閲徑胺化合物(d)
[0054] 本發明的徑胺化合物由于低分子量結構而在短時間內產生氨氧根離子,并可滲透 固化的樹脂,使鍵斷裂,并用于溶解光阻的染料組分。
[00巧]徑胺化合物可W是選自由徑胺、二甲基徑胺和二乙基徑胺組成的組中的任一種或 多種。
[0056] 在本發明中,基于組合物的總重量,徑胺化合物的量優選為0. 1~5wt%。如果徑 胺化合物在本發明的清潔組合物中的量小于0.Iwt%,則難W完全溶解光阻的染料組分。相 反,如果其量超過5wt%,則效果沒有隨著量升高而增強,因而,它不是在經濟上優選的,而 聚合物光阻的溶解力由于有機季錠氨氧化物和極性溶劑的相對減少而降低。
[0057] 烷基醇(e)
[0058] 本發明的烷基醇用于使聚合物的鍵斷裂,從而有利于通過徑基來溶解光阻。
[0059] 烷基醇的特征在于具有碳原子數為4W上且沸點為100°CW上的烷基醇,優選具 有碳原子數為4至8的徑基。
[0060] 詳細地,本發明的烷基醇可W是選自由1-下醇、2-下醇、異下醇、1-戊醇、異戊醇、 2-戊醇、1-己醇、1-庚醇、1-辛醇、2-甲基-1-下醇、2-己醇、環己醇、2-甲基-2-戊醇、 2-乙基己醇、2-苯基乙醇和3-甲基-3-戊醇組成的組中的任一種或多種。
[0061] 在本發明中,基于組合物的總重量,烷基醇的量優選為1~20