技術總結
本發明公開了一種耐高壓高發熱碳晶板材及其制備方法，其特征在于所述硬質塑料板和表面沉積厚度30?700nm涂層，涂層由以下重量份的原料制成：石墨烯20?60、Mg5?10、La5?10、Y5?15、SiC10?15。本發明還提供了一種方法，包括以下步驟：用去離子水超聲清洗硬質塑料板，然后烘干、沉積、高溫、退火，借助雙頻容性耦合等離子體放電技術制成。通過該方法制得的碳晶板材不僅具有耐高壓性，且制備方法簡單，原料易得。
技術研發人員：馬西健
受保護的技術使用者：蕪湖桑樂金電子科技有限公司
文檔號碼：201610808214
技術研發日：2016.09.08
技術公布日：2017.02.15