單晶爐的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及晶體硅生產領域，特別是涉及一種單晶爐。
【背景技術】
[0002]太陽能光伏發電是目前發展最快的可持續能源利用的形式之一，近些年來在各國都得到了迅速的發展。目前，應用最為普遍的是晶體硅太陽能電池，而晶體硅分為多晶硅和單晶硅兩種；當前制備單晶硅主要由兩種技術，根據晶體生長方式的不同，可以分為區熔單晶硅和直拉單晶硅。其中直拉單晶硅主要應用于微電子集成和太陽能電池方面，是單晶硅的主體。
[0003]直拉法是運用熔體的冷凝結晶驅動原理，在固液界面處，通過熔體溫度下降，將產生由液態轉換成固態的相變化。為了生長質量合格的單晶硅棒，首先就要選擇合乎技術要求的單晶爐。直拉單晶爐由立柱、主爐體、副爐體、隔離閥、升降機構、坩禍軸驅動機構、籽晶旋轉及提升機構、真空系統、充氣系統、水冷系統等部分組成。
[0004]副爐體包括副爐筒、籽晶旋轉機構、軟軸提拉室、精密蝸輪蝸桿減速器及晶升伺服機組等部件，同時它也是直拉單晶的收納室。副爐體能夠進行升降和旋轉，用于取晶棒或開啟爐蓋。副爐體升降是通過電動推桿進行的，但副爐體的旋轉目前都是依靠人力進行的，這樣不但增加人力成本，而且降低了生產效率。
【實用新型內容】
[0005]基于此，有必要針對上述副爐體的旋轉是依靠人力，從而增加了人力成本，降低了生產效率的技術問題，提出一種能夠使副爐體不依靠人力推動的新型單晶爐。
[0006]—種單晶爐，該單晶爐包括:主爐體；副爐體，裝配在所述主爐體的上部；支撐柱，位于所述主爐體與所述副爐體的一側；連接機構用以連接所述支撐柱與所述副爐體，其中，該連接機構包括旋轉軸與連接板，所述旋轉軸固定在所述支撐柱的側壁，所述連接板與副爐體固定連接，與支撐柱轉動連接，，其特征在于，還包括旋轉驅動機構，連接所述連接板，所述旋轉驅動機構可驅動連接板帶動所述副爐體以垂直于所述旋轉軸的軸線方向轉動。
[0007]這樣，單晶爐由于旋轉驅動機構的存在，工作人員可通過控制旋轉驅動機構推動連接板帶動副爐體轉動，旋替代了傳統意義上要通過人力推動副爐體轉動，這樣降低了人力的成本，提尚了生廣效率。
[0008]在其中一實施例中，所述旋轉驅動機構具有驅動部件，所述驅動機構能夠推動所述連接板繞支撐柱轉動。
[0009]在其中一實施例中，所述驅動部件為螺桿，所述旋轉驅動機構還包括:驅動電機，傳動裝置，所述驅動電機通過所述傳動裝置驅動所述螺桿轉動，進而使所述螺桿沿所述螺桿的長度的方向移動；所述螺桿的一端滑動固定于所述連接板的側面，使所述螺桿的一端在所述連接板的側面相對滑動。
[0010]在其中一實施例中，還包括十字滑塊與方向調節機構，十字滑塊固定于所述連接板的側面，所述螺桿的端面通過所述方向調節結構與所述十字滑塊連接，所述螺桿的端面可利用十字滑塊與方向調節機構在所述連接板的側面滑動。
[0011]在其中一實施例中，所述方向調節機構為萬向節聯軸器。
[0012]在其中一實施例中，所述傳動裝置為傳動齒輪。
[0013]在其中一實施例中，所述傳動齒輪為換向齒輪。
[0014]在其中一實施例中，還包括承載平臺，固定于所述支撐柱的外側壁，所述支撐平臺用于固定并支撐所述驅動電機與所述傳動裝置。
[0015]在其中一實施例中，其特征在于，所述驅動電機為同步電機。
[0016]在其中一實施例中，其特征在于，支撐結構位于所述主爐體的下方，用以支撐所述主爐體。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實用新型一優選實施例中單晶爐前視角立體結構示意圖；
[0018]圖2為本實用新型一優選實施例中單晶爐后視角立體結構示意圖；
[0019]圖3為本實用新型一優選實施例中旋轉驅動機構局部放大圖。
【具體實施方式】
[0020]下面結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行詳細表述。
[0021]參閱圖1及圖2，圖1為本實施例中單晶爐前視角立體結構示意圖；圖2為本實施例中單晶爐后視角立體結構示意圖，本實用新型公開了一種單晶爐100，該單晶爐100包括主爐體110，副爐體120，副爐體120裝配在主爐體110的上部。隔離閥130，設置在主爐體110與副爐體120之間，一個支撐柱140直立在主爐體110與副爐體120的一側，且該支撐柱140與主爐體110及副爐體120保持適當的距離。連接機構150固定在支撐柱140與副爐體120之間，用以連接支撐柱140與所述副爐體120，
[0022]進一步說，如圖2所示，該連接機構150包括旋轉軸152與連接板151，所述旋轉軸152固定于所述支撐柱140的側壁，連接板151的一端固定于副爐體120的外側壁，另一端連接于旋轉軸152上，連接板151可圍繞旋轉軸152轉動。旋轉驅動機構160，該旋轉驅動機構160由一操作機臺控制(圖未示)，該操作機臺可控制旋轉驅動機構160驅動連接板151以垂直于所述旋轉軸152的軸線方向進行轉動。
[0023]驅動機構160包括驅動電機161、傳動裝置162、滾珠絲杠163，滾珠絲杠163具有螺桿1631及螺母(圖未示)，驅動電機161可通過傳動裝置162控制滾珠絲杠163的螺桿1631在螺母內轉動，進而使螺桿1631在螺母內沿螺桿1631的長度方向移動，至于螺桿1631怎樣在螺母內將轉動運動轉變為線性移動，這是滾珠絲杠163的固有性質及現有技術，因而在此不再贅述。
[0024]螺桿1631的一端滑動連接于連接板151的側面，具體地，例如在該螺桿1631的一端與連接板的側面之間連接十字滑塊165與方向調節機構164，該十字滑塊165具有第一活動件1651與第二活動件1652，第一活動件1651與第二活動件1652相互連接，且可以在彼此表面上相對滑動。第一活動件1651固定在連接板的側面，螺桿1631的端面通過方向調節機構164與第二活動件1652連接，這樣隨著螺桿1