一種多晶硅還原爐石墨件的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及多晶硅生產設備領域，特別是涉及一種多晶硅還原爐石墨件。
【背景技術】
[0002]目前在多晶硅生產領域中，大多是采用改良西門子法生產多晶硅，在進行多晶硅還原反應之前，將娃芯插在石墨件上，石墨件套在銅電極上，娃芯按照一定的電極連接方式進行安裝，安裝完成后，按照工藝程序進行置換、擊穿、進料并進而發生氣相沉積反應，反應產生的晶粒沉積在硅芯上，經過規定時間生長后形成多晶硅棒。
[0003]石墨件包括石墨卡座、石墨卡帽和用于夾持硅芯的石墨卡瓣，石墨卡瓣設置在石墨卡座上，石墨卡座與電氣設備的電極連接，石墨卡帽套設在石墨卡座的頂部，石墨卡帽與石墨卡座通過螺紋連接將石墨卡瓣固定于石墨卡座上，從而保證石墨卡瓣將硅芯加緊。
[0004]多晶硅還原反應完成后，石墨卡瓣與硅芯的根部完全融合，無法回收，而在摘除硅芯后，石墨卡座和石墨卡帽可以分離重復利用，通常，是由人工不借助任何工具直接將石墨卡座與石墨卡帽手動分離。但是，由于石墨卡座和石墨卡帽二者是螺紋連接，螺紋之間有縫隙，在沉積多晶硅的過程中，部分多晶硅會沉積在螺紋的縫隙中，人員通過手動旋轉石墨卡座和石墨卡帽很難將二者分離，費時費力。為了順利分離石墨卡座和石墨卡帽，通常先使用小錘子輕輕敲擊石墨卡帽，使得沉積在螺紋縫隙中的多晶硅脫落，再手動旋轉將二者分離。然而每個人的用力大小有差異，在敲擊石墨卡帽的過程中，就有可能造成石墨件的損壞，降低石墨件的回收利用率。
[0005]因此，亟需一種多晶硅還原爐石墨件以解決上述技術問題。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型針對現有技術中存在的上述不足，提供一種多晶硅還原爐石墨件，用以解決多晶硅還原爐石墨件回收效率低、工人工作強度大，以及回收利用率低的問題。
[0007]本實用新型為解決上述技術問題，采用如下技術方案:
[0008]本實用新型提供一種多晶硅還原爐石墨件，包括石墨卡座和石墨卡帽，石墨卡座與石墨卡帽螺紋連接，石墨卡座的側壁外側中心對稱設置有至少一對第一凹槽，和/或，石墨卡帽的側壁外側中心對稱設置有至少一對第二凹槽。
[0009]優選的，所述第一凹槽設置于所述石墨卡座的側壁的下部，并豎直貫通所述石墨卡座的底端。
[0010]優選的，所述第一凹槽的深度小于或等于5mm，且大于或等于3mm。
[0011]優選的，所述第一凹槽的高度小于或等于石墨卡座的外螺紋的底端到石墨卡座的底端的距離的一半。
[0012]優選的，所述第一凹槽為兩對。
[0013]優選的，所述第二凹槽設置于所述石墨卡帽的側壁的中部。
[0014]優選的，所述第二凹槽的深度小于或等于5mm，且大于或等于3mm。
[0015]優選的，所述第二凹槽的高度小于或等于所述石墨卡帽的高度的一半。
[0016]優選的，所述第二凹槽為兩對。
[0017]本實用新型具有如下有益效果:
[0018]本實用新型通過在石墨卡座的側壁外側中心對稱設置至少一對第一凹槽，和/或在石墨卡帽的側壁外側中心對稱設置至少一對第二凹槽，可以借助扳手分離石墨卡座和石墨卡帽，相對手動旋轉分離，更為省時省力，石墨件的回收時間可以縮短70%，并可降低80 %的工作強度；在分離石墨卡座和石墨卡帽的過程中，也無需再敲擊石墨卡帽，避免敲擊造成的石墨件損毀，提高石墨件的回收利用率，進而降低生產成本。
【附圖說明】
[0019]圖1為本實用新型實施例提供的石墨卡座的主視圖；
[0020]圖2為本實用新型實施例提供的石墨卡座的俯視圖；
[0021]圖3為本實用新型實施例提供的石墨卡帽的主視圖；
[0022]圖4為本實用新型實施例提供的石墨卡帽的俯視圖；
[0023]圖5為回收本實用新型實施例提供的多晶硅還原爐石墨件所使用的扳手結構示意圖之一；
[0024]圖6為回收本實用新型實施例提供的多晶硅還原爐石墨件所使用的扳手結構示意圖之二。
[0025]圖例說明:
[0026]1、石墨卡座2、石墨卡帽 11、外螺紋
[0027]12、第一凹槽21、內螺紋 22、第二凹槽
[0028]51、套筒61、開口dl、第一凹槽的深度
[0029]d2、第二凹槽的深度11、第一凹槽的高度
[0030]12、第二凹槽的高度L、石墨卡帽的高度
[0031]H、石墨卡座的外螺紋的底端到石墨卡座的底端的距離
【具體實施方式】
[0032]為使本領域技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述。
[0033]本實用新型提供一種多晶硅還原爐石墨件，通過在石墨卡座與石墨卡帽二者中至少一個的側壁外側中心對稱設置至少一對凹槽，可以借助扳手分離石墨卡座和石墨卡帽，解決多晶硅還原爐石墨件回收效率低、工人工作強度大，以及回收利用率低的問題。
[0034]以下結合圖1-4詳細說明本實用新型的多晶硅還原爐石墨件的結構。如圖1、3所示，一種多晶硅還原爐石墨件包括石墨卡座I和石墨卡帽2，石墨卡座I的側壁外側的上部設置有外螺紋11，石墨卡帽2的側壁內側設置有內螺紋21，石墨卡座I與石墨卡帽2螺紋連接。石墨卡座I的側壁外側上中心對稱設置有至少一對第一凹槽12，和/或，石墨卡帽2的側壁外側中心對稱設置有至少一對第二凹槽22。第一凹槽12和/或第二凹槽22均呈中心對稱設置，用以配合扳手夾持。需要說明的是，石墨卡座I和石墨卡帽2均為圓柱狀，每對第一凹槽12在石墨卡座I的側壁外側，以石墨卡座I的橫截面的圓心為對稱點呈中心對稱設置，每對第二凹槽22在石墨卡帽2的側壁外側，以石墨卡帽2的橫截面的圓心為對稱點呈中心對稱設置。
[0035]可以僅在石墨卡座I上設置至少一對第一凹槽12 (不在石墨卡帽2上設置第二凹槽22)，也可以僅在石墨卡帽2上設置至少一對第二凹槽22 (不在石墨卡座I上設置第一凹槽12)，也可以既在石墨卡座I上設置至少一對第一凹槽12，又在石墨卡帽2上設置至少一對第二凹槽22。在本實用新型實施例中，為了清楚說明技術方案，以第一凹槽12和第二凹槽22同時設置的方案為例進行說明。
[0036]通過在石墨卡座的側壁外側中心對稱設置至少一對第一凹槽，和/或在石墨卡帽的側壁外側中心對稱設置至少一對第二凹槽，可以借助扳手分離石墨卡座和石墨卡帽，相對手動旋轉分離，更為省時省力，石墨件的回收時間可以縮短70%，并可降低80%的