玻璃基板蝕刻裝置及其屏蔽組件的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及液晶面板的制造技術領域，尤其涉及一種玻璃基板蝕刻裝置及其屏蔽組件。
【背景技術】
[0002]在液晶面板的制造過程中，需要對已經對鍍膜的玻璃基板進行蝕刻，以在玻璃基板上形成需要的電路。現有的玻璃基板的蝕刻過程是通過在上電極與下電極之間充滿氯氣等腐蝕性氣體，然后在上電極與下電極之間加載電壓，將氯氣等腐蝕性氣體激發成腐蝕性電子以對玻璃基板進行蝕刻，然而腐蝕性電子同時也會蝕刻下電極。為了解決玻璃基板的蝕刻過程中，腐蝕性電子蝕刻下電極的問題，現有技術中一般在下電極上設置屏蔽元件，來避免下電極被腐蝕性電子蝕刻。
[0003]圖1是現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置的主視結構示意圖，圖2是現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置的立體結構示意圖，圖3是圖2中的下電極的結構示意圖，如圖1所示，現有的玻璃基板蝕刻裝置包括上電極(圖未示出)、下電極10以及多個屏蔽元件121。下電極10呈凸字形結構，包括第一電極層101及設置在第一電極層101的頂面103上的第二電極層102。多個屏蔽元件121設置在第一電極層101與第二電極層102之間且首尾相連形成環狀，并且多個屏蔽元件121覆蓋在第一電極層101的頂面103與第二電極層102的側面貼合。每一屏蔽元件121呈L形，包括第一屏蔽段120及自第一屏蔽段120的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段122，第一屏蔽段120的自由端上形成有鋸齒狀的第一結合部123，第二屏蔽段122的自由端上形成有鋸齒狀的第二結合部124，四個屏蔽元件121在首尾連接時，其中一個屏蔽元件121的第一結合部123與其臨近的另一屏蔽元件121的第二結合部124結合，使多個屏蔽元件121緊密結合在一起。但是，現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置在長時間的使用后，腐蝕性電子會蝕刻相連的兩個屏蔽元件121的結合處，使兩個屏蔽元件121的結合處的間隙變大，從而導致腐蝕性電子通過兩個屏蔽元件121的結合處的間隙對下電極10蝕刻的問題。
【實用新型內容】
[0004]有鑒于此，本實用新型提供了一種玻璃基板蝕刻裝置，以解決現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置在蝕刻玻璃基板時，兩個屏蔽元件的結合處的間隙變大，腐蝕性電子容易通過兩個屏蔽元件之間的間隙對下電極蝕刻的問題。
[0005]本實用新型提供一種玻璃基板蝕刻裝置，包括上電極、下電極及屏蔽組件。所述下電極呈凸字形，包括第一電極層及設置在所述第一電極層的頂面上的第二電極層，所述屏蔽組件包括多個第一屏蔽元件，多個所述第一屏蔽元件設置在所述第一電極層與所述第二電極層之間且首尾相連，每一所述第一屏蔽元件覆蓋在所述第一電極層的所述頂面上且與所述第二電極層的側面貼合，所述屏蔽組件還包括與所述第一屏蔽元件一一對應的多個第二屏蔽元件，每一所述第一屏蔽元件的兩端部在其底面分別設有第一滑槽與第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夾設在所述第一電極層的所述頂面與相應的所述第一屏蔽元件之間，且容置在對應的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽內，并且可以滑入與該對應的所述第一屏蔽元件相鄰的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽內。
[0006]進一步地，每一所述第一屏蔽元件均呈L形，包括第一屏蔽段及自所述第一屏蔽段的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段，所述第一滑槽開設在所述第一屏蔽段的自由端的底面上，所述第二滑槽開設在所述第二屏蔽段的自由端的底面上。
[0007]進一步地，每一所述第二屏蔽元件安裝在相應的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽內，并且所述第一屏蔽元件的所述第一屏蔽段沿著其長度延伸方向設有與所述第一屏蔽段的所述第一滑槽連通的通孔。
[0008]進一步地，每一所述第二屏蔽元件還可以安裝在所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽內，相應的每一所述第二屏蔽元件的所述第二屏蔽段沿著其長度延伸方向設有與所述第二屏蔽段的所述第二滑槽連通的通孔。
[0009]進一步地，每一所述第一屏蔽元件為L形的陶瓷件。
[0010]進一步地，每一所述第二屏蔽元件為陶瓷塊。
[0011]本實用新型還提供一種屏蔽組件，用于保護玻璃基板蝕刻裝置的下電極，包括多個第一屏蔽元件及與所述第一屏蔽元件一一對應的多個第二屏蔽元件，多個所述第一屏蔽元件設置在所述下電極的第一電極層與所述下電極的第二電極層之間且首尾相連，每一所述第一屏蔽元件覆蓋在所述第一電極層的頂面上且與所述第二電極層的側面貼合，每一所述第一屏蔽元件的兩端部于其底面分別設有第一滑槽與第二滑槽，每一所述第二屏蔽元件夾設在所述第一電極層的所述頂面與對應的所述第一屏蔽元件之間，并容置在對應的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽或所述第二滑槽內，且可以滑入與該對應的所述第一屏蔽元件相鄰的另一所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽或所述第一滑槽內。
[0012]進一步地，每一所述第一屏蔽元件均呈L形，包括第一屏蔽段及自所述第一屏蔽段的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段，所述第一滑槽開設在所述第一屏蔽段的自由端的底面上，所述第二滑槽開設在所述第二屏蔽段的自由端的底面上。
[0013]進一步地，每一所述第二屏蔽元件安裝在相應的所述第一屏蔽元件的所述第一滑槽內，并且所述第一屏蔽元件的所述第一屏蔽段沿著其長度延伸方向設有與所述第一屏蔽段的所述第一滑槽連通的通孔。
[0014]進一步地，每一所述第二屏蔽元件安裝在所述第一屏蔽元件的所述第二滑槽內，相應的每一所述第一屏蔽元件的所述第二屏蔽段沿著其長度延伸方向設有與所述第二屏蔽段的所述第二滑槽連通的通孔。
[0015]本實用新型提供的技術方案帶來的有益效果是:在使用本實用新型玻璃基板蝕刻裝置對玻璃基板蝕刻時，屏蔽組件中的多個第一屏蔽元件的結合處雖然在腐蝕性電子的蝕刻下也會出現間隙，但是屏蔽組件中的第二屏蔽元件可以從相鄰兩個第一屏蔽元件中的一個屏蔽組件的第一滑槽或第二滑槽滑入另一第一屏蔽元件的第二滑槽或者第一滑槽，將相鄰兩個第一屏蔽元件結合處的間隙封閉，從而可以有解決現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置因腐蝕性電子通過相鄰兩個屏蔽元件的結合處的間隙對下電極蝕刻的問題。
【附圖說明】
[0016]圖1是現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置的主視結構示意圖。
[0017]圖2是現有技術中的玻璃基板蝕刻裝置的立體結構示意圖。
[0018]圖3是圖2中的下電極的立體結構示意。
[0019]圖4是本實用新型實施例的玻璃基板蝕刻裝置的主視結構示意圖。
[0020]圖5是圖4中的下電極的立體結構示意圖。
[0021]圖6a_6c是圖4中的第一屏蔽元件的立體結構的不同視角的示意圖。
[0022]圖7是圖4中的第二屏蔽元件的立體結構示意圖。
【具體實施方式】
[0023]為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖對本實用新型實施方式作進一步地描述。
[0024]圖4是本實用新型實施的玻璃基板蝕刻裝置的主視結構示意圖，圖5是本圖4中的下電極的立體結構示意圖，請同時參考圖4和圖5，本實用新型實施例提供的玻璃基板蝕刻裝置，包括上電極(圖未示出)、下電極20及屏蔽組件30。下電極20呈凸字形，包括第一電極層201及設置在第一電極層201的頂面203上的第二電極層202。屏蔽組件30包括多個第一屏蔽元件31及與第一屏蔽元件31 —一對應的多個第二屏蔽元件32。多個第一屏蔽元件31設置在第一電極層201與第二電極層202之間，并且首尾相連形成環狀。每一第一屏蔽元件31覆蓋在第一電極層201的頂面203上且與第二電極層202的側面貼合。每一第一屏蔽元件31的兩端部在其底面分別設有第一滑槽330與第二滑槽340，每一第二屏蔽元件32夾設在第一電極層201的頂面203與一個第一屏蔽元件31之間，第二屏蔽元件32容置在第一屏蔽元件31的第一滑槽330或第二滑槽340內，并且可以滑入與該第一屏蔽元件31相鄰的另一第一屏蔽元件31的第二滑槽340或第一滑槽330內。
[0025]圖6a_6c是圖4中的第一屏蔽元件的立體結構的不同視角的示意圖，請同時參考圖6a-6c，在本實施例中，每一第一屏蔽元件31均呈L形，包括第一屏蔽段33及自第一屏蔽段33的一端垂直向上延伸出的第二屏蔽段34。第一滑槽330開設在第一屏蔽段33的自由端的底面上，第二滑槽340開設在第二屏蔽段34的自由端的底面上。
[0026]請繼續參考圖4，在本實施例中，第二屏蔽元件32安裝在第一屏蔽元件31的第一滑槽330內，并且第一屏蔽元件31的第一屏蔽段33沿著其長度延伸方向設有與其自身的第一滑槽330連通