反應，鼓泡罐溫度保持恒定(20-50°C )。
[0067]所述第三只第五步包括以下步驟:
[0068]B1:同時開啟第一氣動閥46和第三氣動閥48的閥門，載氣(氮氣或氬氣)從氣體進口 41途徑流量控制器43至第一分支進氣管道44，流量控制器43以100-600ml/min控制載氣進入第一鼓泡罐20的鼓泡管21。
[0069]B2:載氣從第一鼓泡罐20的鼓泡管21與第一鼓泡罐20內的四氯化鍺進行第一次鼓泡。
[0070]B3:第一次鼓泡后載有四氯化鍺的載氣從第一鼓泡罐20的出氣管22經連接管道60進入第二鼓泡罐30的鼓泡管21。
[0071]B4:第一次鼓泡后載有四氯化鍺的載氣與第二鼓泡罐30內的液態四氯化鍺進行第二次鼓泡，形成飽和的四氯化鍺載氣。
[0072]B5:開啟第四閥門49的閥門，飽和的四氯化鍺載氣經第二鼓泡罐30的出氣管至氣體出口 42，進入沉積噴燈參與反應。
[0073]載流氣體經過流量控制器的精確控制，先后進入兩個已被水浴系統加熱的第一鼓泡罐和第二鼓泡罐，形成飽和的四氯化鍺載氣體，飽和的四氯化鍺載氣體進入火焰中進行反應，堆積到芯棒松散體的芯層。
[0074]本發明通過載氣雙鼓泡罐的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，載流氣體先后通過兩個液態的鼓泡罐時，會形成攜帶有四氯化鍺的混合氣體，本發明四氯化鍺的鼓泡罐裝置中無大功率加熱設備，減少了能源消耗；石英玻璃鼓泡罐存儲四氯化鍺，避免出現由于材質腐蝕導致的質量問題；載流氣體先通過流量控制器再通過四氯化鍺，降低長時間使用腐蝕后，流量控制器計量出現偏差的概率；在載流氣體溫度變化或單罐液位變化時，可實現出料溫度、飽和四氯化鍺載氣的穩定，從而可長時間提供制備參數均勻的光棒疏松體。
[0075]以上對本發明的具體實施例進行了詳細說明，但內容僅為本發明創造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明創造的實施范圍。凡依本發明創造申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本發明的專利涵蓋范圍之內。
【主權項】
1.一種四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于，其包括: 一水浴系統； 第一鼓泡罐和第二鼓泡罐，并排裝設在水浴系統內，每個鼓泡罐均包括加料管、出氣管、鼓泡管； 連接管道，位于第一鼓泡罐的出氣管和第二鼓泡罐的鼓泡管之間； 四氯化鍺進料管道，分別向第一鼓泡罐的加料管和第二鼓泡罐的加料管通入四氯化鍺；以及 氣體進氣管道，設有:氣體進口、氣體出口、設置在氣體進口和氣體出口之間兩個分支進氣管道、以及設置在兩個分支進氣管道外側并靠近氣體進口的一流量控制器，其中，兩個分支進氣管道包括:與第一鼓泡罐的鼓泡管連接的第一分支進氣管道、以及與第二鼓泡罐的出氣管連接的第二分支進氣管道。2.根據權利要求1所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:所述鼓泡罐的鼓泡管位于加料管和出氣管之間。3.根據權利要求1所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:所述鼓泡罐由石英玻璃制成。4.根據權利要求1所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:四氯化鍺進料管道內設有兩個分支四氯化鍺進料管道，兩個分支四氯化鍺進料管道包括:接入第一鼓泡罐的加料管底部的第一分支四氯化鍺進料管道、以及接入第二鼓泡罐的加料管底部的第二分支四氯化鍺進料管道。5.根據權利要求4所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:四氯化鍺進料管道內還設有兩個氣動閥，該兩個氣動閥分別為:設置在第一分支四氯化鍺進料管道中第一加料氣動閥、以及設置在第二分支四氯化鍺進料管道中第二加料氣動閥。6.根據權利要求5所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:第一加料氣動閥和第二加料氣動閥均為常閉氣動閥。7.根據權利要求1或5所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:所述氣體進氣管道內還設有設置在氣體進口和流量控制器之間的第一氣動閥、以及設置在流量控制器和氣體出口之間的第二氣動閥。8.根據權利要求7所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:第一氣動閥和第二氣動閥均為一常開氣動閥。9.根據權利要求1或5所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:所述氣體進氣管道內還設有設置在第一分支進氣管道中的第三氣動閥、以及設置在第二分支進氣管道中的第四氣動閥。10.根據權利要求9所述的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，其特征在于:第三氣動閥和第四氣動閥均為一常閉氣動閥。11.根據權利要求1-10任一所述四氯化鍺的鼓泡罐裝置的鼓泡方法，其特征在于，包括如下步驟: 第一步:工作時，使水浴系統內維持恒溫，第一鼓泡罐和第二鼓泡罐通過水箱內水浴系統加熱至恒溫； 第二步:四氯化鍺經四氯化鍺進料管道依序通入第一鼓泡罐的底部和第二鼓泡罐的底部； 第三步:載氣經氣體進氣管道的第一分支進氣管道進入第一鼓泡罐的鼓泡管，載氣與第一鼓泡罐的四氯化鍺發生第一次鼓泡； 第四步:第一次鼓泡的載流氣體經連接管道進入第二鼓泡罐的鼓泡管，第一鼓泡的載流氣體與第二鼓泡罐內的液態四氯化鍺進行第二次鼓泡，形成飽和的四氯化鍺載氣；第五步:飽和的四氯化鍺載氣經第二鼓泡罐的出氣管至氣體出口。12.根據權利要求11所述的四氯化鍺的鼓泡方法，其特征在于，還包括以下步驟:當待機時，吹掃氣體持續吹掃氣體進氣管道，吹掃氣體依序經氣體進口、流量控制器、至氣體出□ο13.根據權利要求11或12所述的四氯化鍺的鼓泡方法，其特征在于，所述第二步包括以下步驟: A1:開啟第一加料氣動閥的閥門，四氯化鍺從第一鼓泡罐的加料管底部進入第一鼓泡罐內； A2:當目測第一鼓泡罐內液態的四氯化鍺的液體高度達到預定的高度時，關閉第一加料氣動閥； A3:開啟第二加料氣動閥的閥門，四氯化鍺從第二鼓泡罐的加料管底部進入第二鼓泡罐內； A4:當目測液態的四氯化鍺的液體高度達到預定的高度時關閉第二加料氣動閥。14.根據權利要求11或12所述的四氯化鍺的鼓泡方法，其特征在于，所述第三至第五步包括以下步驟: B1:同時開啟第一氣動閥和第三氣動閥的閥門，載氣從氣體進口途徑流量控制器至第一分支進氣管道； B2:載氣從第一鼓泡罐的鼓泡管與第一鼓泡罐內的四氯化鍺進行第一次鼓泡； B3:第一次鼓泡后載有四氯化鍺的載氣從第一鼓泡罐的出氣管經連接管道進入第二鼓泡罐的鼓泡管； B4:第一次鼓泡后載有四氯化鍺的載氣與第二鼓泡罐內的液態四氯化鍺進行第二次鼓泡，形成飽和的四氯化鍺載氣； B5:開啟第四閥門的閥門，飽和的四氯化鍺載氣經第二鼓泡罐的出氣管至氣體出口。
【專利摘要】本發明提供一種四氯化鍺的鼓泡罐裝置以及四氯化鍺的鼓泡方法，其包括：第一鼓泡罐和第二鼓泡罐，并排裝設在水浴系統內；連接管道，位于第一鼓泡罐和第二鼓泡罐之間；四氯化鍺進料管道，分別向第一鼓泡罐的加料管和第二鼓泡罐的加料管通入四氯化鍺；以及氣體進氣管道，設有：氣體進口、氣體出口、設置在氣體進口和氣體出口之間兩個分支進氣管道、以及一流量控制器，兩個分支進氣管道包括：與第一鼓泡罐的鼓泡管連接的第一分支進氣管道、以及與第二鼓泡罐的出氣管連接的第二分支進氣管道。本發明通過載氣雙鼓泡罐的四氯化鍺的鼓泡罐裝置，載流氣體先后通過兩個液態的鼓泡罐時，會形成攜帶有四氯化鍺的混合氣體。
【IPC分類】C03B37/018
【公開號】CN105384333
【申請號】CN201510713696
【發明人】杜森, 龐耀, 戚曉飛, 柏文俊, 胡付儉, 徐勤華
【申請人】江蘇亨通光電股份有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月28日