處理磷酸系混酸廢液而制造肥料的方法和裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明主要設及對包含高濃度的憐酸、硝酸和乙酸的廢液進行處理而使其能作為 肥料利用的方法。特別是設及在制造平板顯示器等時將用于制作包含侶或其合金的布線圖 案的蝕刻液重復使用后進行處理并再利用的方法。
【背景技術】
[0002] 通常用作平板顯示器的液晶顯示裝置、有機化顯示裝置包含形成有布線圖案的 陣列基板。陣列基板上的布線圖案中大多包含由侶或其合金形成的單層膜、或者其與鋼等 的層疊膜。侶或其合金具有電阻小、反射率高等特性，因此廣泛用于陣列基板上的各種布 線、像素電極的圖案等。運種侶系圖案的制作通常使用包含50重量％ ^上的憐酸、硝酸和 乙酸的蝕刻液。
[0003] 運種粘度較高的蝕刻液重復使用時，侶、鋼溶入其中等一種"疲勞"加劇，因此需要 替換成新的蝕刻液。因此，自該蝕刻加工設備排出的廢液分為如下兩種：作為疲勞液而定期 更新廢棄的包含高濃度憐酸的廢酸、附著于玻璃基板并在水洗工序中被清洗掉的稀薄的清 洗廢液。該蝕刻液由于包含高濃度的憐酸，因此粘度高，附著于玻璃基板并在水洗工序中被 清洗廢棄的量較多，全部使用液體量的約60%~70%作為清洗排水被廢棄。但是，剩余的 30~40%作為包含高濃度的憐酸的疲勞液而被分離處理。
[0004] 近年來，伴隨生產平板顯示器的工廠的大型化，源自上述蝕刻液的疲勞液、清洗廢 水量增大，存在其處理開支龐大的問題。包含憐酸的清洗廢水主要通過沉淀分離方式進行 處理，但會產生大量的污泥，因此存在污泥的處理開支龐大的問題。 陽0化]所W，近年來提出了回收該廢水中的憐酸的技術（例如下述專利文獻1~2)。專 利文獻1中，將=烷基憐酸醋與芳香族系有機溶劑的混合液作為提取劑，提取乙酸和硝酸， 使憐酸殘留在提取殘液中。專利文獻2中，通過在維持低抑的條件下進行反滲透膜處理， 從而僅濃縮憐酸，使乙酸和硝酸與透過水一起被去除。
[0006] 現有技術文獻
[0007] 專利文獻1 :日本特開2004-160292 WO引 專利文獻2 :國際公開W02009/119684(日本再表2009/119684 ;日本特許 5413192)
【發明內容】
[0009] 發巧要解決的間顆
[0010] 關于專利文獻1的方法，需要大量藥劑和有機溶劑，為此的費用、環境上產生問 題。另外，關于專利文獻2的方法，需要比較大型的設備，認為設備投資會變大。進而，關于 運些方法，憐酸由于W包含雜質的水溶液的形式被回收，因此不能直接用于憐酸系肥料等。 另外，運些方法中，無法將乙酸自硝酸有效地分離，認為難W進行硝酸的再利用。
[0011] 關于日本國內的特大型液晶顯示裝置的工廠，相關藥液供給公司、供水廢水處理 公司、和玻璃基板供給公司等形成大工業中屯、，確立了將疲勞液等用配管送回到藥液供給 公司并進行再生等處理來再利用的方式。然而，不屬于運種方式的單獨的大型液晶顯示裝 置工廠也很多。于是，代表性地，將W 70噸/月~150噸/月運樣的量產生的高濃度疲勞 液委托給外部的廢液處理公司處理的案例較多。該委托處理開支在現狀中也較昂貴，伴隨 環保規定等的強化，該委托處理開支存在進一步增加的傾向。
[0012] 本發明是鑒于上述問題而做出的，想要提供能夠W低成本對由侶的蝕刻工序等產 生的、包含高濃度的憐酸、硝酸和乙酸的廢液進行處理，而且不需要為此投資大型設備的憐 酸系混酸廢液的處理方法和處理裝置。另外，想要提供能將回收憐酸而得到的產物直接用 作肥料的處理方法和處理裝置。 柳1引 用于解決間顆的方案
[0014] 本發明的處理方法的特征在于，在優選的實施方式中，在對包含50重量％ W上的 濃度的憐酸、0. 1~15重量％的硝酸、和0. 5~20重量％的乙酸的廢液（A)進行處理時， 至少針對憐酸和硝酸測定濃度后，加入根據該測定而計算出的量的憐酸一氨錠（憐酸二 錠（Diammonium phosphate);(畑4)2冊〇4)，從而使其與憐酸和硝酸進行反應，利用該反應 回收憐酸和硝酸，并且得到能用作肥料的憐酸二氨錠（ammonium dihy化Ogen phosphate; 畑化P〇4)的粉末似。
[0015] 本發明的處理裝置（10)的特征在于，其為對包含50重量％ W上的濃度的憐酸、 0. 1~15重量％的硝酸、和0. 5~20重量％的乙酸的廢液（A)進行處理的裝置（10)，其具 備：膽藏前述廢液的膽藏槽（20)、測定所膽藏的前述廢液（A)中的憐酸和硝酸的濃度的濃 度測定裝置（27)、具有加熱機構（12)和混合攬拌機構（11)的固液混合反應器（1)、測量廢 液（A)并將其投入到固液混合反應器（1)中的測量投入裝置（19)、投入憐酸一氨錠的粉末 度）的粉末投入裝置（17, 18)、W及由微型計算機和/或個人計算機等構成的控制機構（3)， 控制機構（3)進行如下的操作：控制濃度測定裝置（27)來自動測定憐酸和硝酸的濃度，根 據如此測得的濃度和將前述廢液（A)投入到固液混合反應器（1)中的規定投入量計算剛 好與憐酸和硝酸反應的憐酸一氨錠（憐酸二錠）的理論量，控制粉末投入裝置（17, 18)，W 使該理論量的憐酸一氨錠（憐酸二錠）的粉末度）被投入到固液混合反應器（1)中，控制 加熱機構（12)和混合攬拌機構（11)，W使所投入的憐酸一氨錠的粉末度）被加熱至55~ 85°C，然后控制測量投入裝置（19)，將前述規定投入量的前述廢液（A)散布于固液混合反 應器（1)內的憐酸一氨錠的粉末做上，然后控制加熱機構和混合攬拌機構（11)，繼 續55~85°C下的加熱和混合攬拌，直至反應完成。
[0016] 發巧的效果
[0017] 用于處理的運行成本和設備成本小，能將回收憐酸和硝酸而得到的產物幾乎直接 用作肥料。
【附圖說明】
[0018] 圖1為示出一個實施方式的處理設備的概略結構的方框圖。 WW 附圖梳巧說巧
[0020] 1…固液混合反應器；10…處理裝置；11…攬拌葉片； 陽02U 12…加熱套；13…噴嘴；14…排出口；
[0022] 15…排氣配管；16…吸引排氣機構；17…測量料斗； 陽023] 17A…定量供給螺桿；18…定量膽料斗；
[0024] 18A…振動進給器；19…測量累；
[0025] 20…疲勞液膽藏槽；21~24、26…疲勞液用配管；
[0026] 25…循環累；27…濃度測定裝置；28…肥料膽存槽；
[0027]29…排氣濃度計；3…控制裝置；A…疲勞液（混酸廢液）；
[0028] B…憐酸一氨錠（憐酸二錠）的粉末；
[0029] C…憐酸二氨錠的粉末（憐酸系肥料）
【具體實施方式】
[0030] 自用于制造平板顯示器等的如上所述的侶的濕式蝕刻工序排出的疲勞液（混酸 廢液）通常為除了高濃度的憐酸和硝酸/乙酸之外還含有由蝕刻生成的侶和鋼等而不含其 它成分的穩定組成。構成疲勞液（混酸廢液）