曝氣管、曝氣盤及浸泡式蝕刻機的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及液晶面板制造技術領域，特別涉及一種曝氣管、曝氣盤及浸泡式蝕刻機。
【背景技術】
[0002]液晶顯示器是當今市場上的主流平板顯示裝置技術，現有液晶顯示器的液晶玻璃基板一般的結構包括:上下貼合的TFT基板與CF基板，以及灌注于該TFT基板與CF基板之間的液晶分子。在標準的液晶玻璃基板成型前，需要對板材裝的玻璃基板進行減薄及切割分離。其中，減薄是指減小玻璃基板兩個相對的外表面的玻璃厚度尺寸，以符合設計規定所述需要的液晶玻璃基板厚度。現有技術中，常用的減薄的設備有浸泡式蝕刻設備及頂噴式蝕刻設備。其中，浸泡式蝕刻設備是采用浸泡方式對所述玻璃基板外表面進行蝕刻，在浸泡過程中，設備底部的曝氣盤通過一個空氣壓縮機為多個曝氣管提供氣體對蝕刻液體進行攪拌，其中曝氣管上設置大小相同的呈直線排列的通氣孔用于對蝕刻液體循環吹氣。但是此結構的曝氣盤邊緣氣流較弱，蝕刻液體循環不暢通，導致玻璃基板邊緣砂堆積現象明顯惡化，影響玻璃基板表面質量。
【發明內容】
[0003]本發明提供一種曝氣管，解決曝氣盤邊緣氣流較弱而影響玻璃基板表面質量的技術問題。
[0004]本發明還提供一種曝氣盤及浸泡式蝕刻機。
[0005]為了實現上述目的，本發明實施方式提供如下技術方案:
[0006]本發明提供一種曝氣管，所述曝氣管為中空管體，其包括管壁，所述管壁圍城的空腔及位于管壁兩端的開口端，所述管壁上沿軸線方向設有數個呈直線排列的第一通氣孔，所述管壁上靠近每一開口端、且位于所述開口端與數個第一通氣孔中最外側的第一通氣孔之間的位置設有第二通氣孔，所述第二通氣孔中心所在直線與所述第一通氣孔中線所在直線錯位設置，所述第一通氣孔的直徑小于所述第二通氣孔的直徑。
[0007]其中，所述管壁上設有兩排呈平行直線排列的第一通氣孔。
[0008]其中，靠近每一個開口端處的所述第二通氣孔為兩個且沿著曝氣管軸線放向排列。
[0009]其中，所述第一通氣孔及所述第二通氣孔均與所述空腔貫通。
[0010]其中，所述兩個第二通氣孔之間的距離為1.5cm-3cmm。
[0011]本發明提供一種曝氣盤，所述曝氣盤包括多個曝氣管平行排列形成的第一曝氣管組、與多個曝氣管的開口端連通的第一通氣管及與第一通氣管連通的第一真空壓縮機，所述曝氣管為中空管體，曝氣管包括管壁，所述管壁圍城的空腔及位于管壁兩端的開口端，所述管壁上沿軸線方向設有數個呈直線排列的第一通氣孔，所述管壁上靠近每一開口端、且位于所述開口端與數個第一通氣孔中最外側的第一通氣孔之間的位置設有至少一個第二通氣孔，所述第二通氣孔中心所在直線與所述第一通氣孔中線所在直線錯位設置，所述第一通氣孔的直徑小于所述第二通氣孔的直徑。
[0012]其中，所述管壁上設有兩排呈平行直線排列的第一通氣孔；靠近每一個開口端處的所述第二通氣孔為兩個且沿著曝氣管軸線放向排列。
[0013]其中，所述第一通氣孔及所述第二通氣孔均與所述空腔貫通。
[0014]其中，所述曝氣盤還包括多個曝氣管平行排列形成的至少一個第二曝氣管組、與所述第二曝氣管的開口端連通的第二通氣管及與第二通氣管連通的第二真空壓縮機，所述至少一個第二曝氣管組與所述第一曝氣管組平行排列。
[0015]本發明提供一種浸泡式蝕刻機，浸泡式蝕刻機包括所述的曝氣盤。
[0016]本發明的曝氣盤采用的曝氣管的兩端設有第二通氣孔，所述第二通氣孔可以滿足曝氣盤邊緣位置氣流的流動，保證蝕刻液體邊緣的循環。同時曝氣盤的不同曝氣管組采用單獨的供氣裝置，可以保證整個曝氣盤產生足夠的氣流循環，也可以實現局部位置的氣流的大小變化，通用性強。
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發明的技術方案，下面將對實施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施方式，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以如這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1是本發明較佳實施方式中的曝氣管結構示意圖。
[0019]圖2是本發明的曝氣盤示意圖，其中只包括第一曝氣管組。
[0020]圖3是本發明的曝氣盤示意圖，其中，只包括第一曝氣管組及第二曝氣管組。
【具體實施方式】
[0021]下面將結合本發明實施方式中的附圖，對本發明實施方式中的技術方案進行清楚、完整地描述。
[0022]本發明的較佳實施例提供了一種曝氣管及曝氣盤。所述曝氣盤用于在浸泡噴式蝕刻機對液晶顯示器玻璃基板進行蝕刻時，為蝕刻液體提供氣壓。
[0023]請參閱圖1，本發明所述的曝氣管10為中空管體，其包括管壁11，所述管壁11圍城的空腔(圖未標)及位于管壁11兩端的開口端12。所述管壁11上沿軸線方向設有數個呈直線排列的第一通氣孔13。所述數個呈直線排列的第一通氣孔13至少排列成一排。所述管壁11上靠近每一開口端12、且位于所述開口端12與數個第一通氣孔13中最外側的第一通氣孔13之間的位置設有至少一個第二通氣孔14。所述第二通氣孔14中心所在直線與所述第一通氣孔13中線所在直線錯位設置，所述第一通氣孔13的直徑小于所述第二通氣孔14的直徑。進一步的，所述第一通氣孔13及所述第二通氣孔14均與所述空腔貫通。靠近每一個開口端12處的所述第二通氣孔14為兩個且沿著曝氣管10軸線方向排列。可以理解，所述第二通氣孔14不限于兩個，根據曝氣管10的尺寸及實際應用而設定數量。由于第二通氣孔14的存在，曝氣管10在使用過程中，位于邊緣的蝕刻液體具有足夠的氣流進入，可以實現對蝕刻液體邊緣提供足夠氣壓，保證曝氣管周緣的蝕刻液體的循環。
[0024]本實施例中，所述管壁11上設有一排呈平行直線排列的第一通氣孔13，即每一排有數個大小相同的圓心在同一直線的第一通氣孔13。所述第一通氣孔13直徑為
0.2mm-0.3mm。本實施例中，所述曝氣管10的兩端的第二通氣孔14均為兩個且沿著曝氣管軸線放向呈直線排列，并且第二通氣孔14靠近開口端12位置。所述第二通氣孔14中心所在直線與所述第一通氣孔13中線所在直線錯位設置，同時第二通氣孔14與第一通氣孔13在圍繞曝氣管10的軸線方向亦在曝氣管10的兩條平行的圓周線上。也就是說，所述第二通氣孔14位于所述曝氣管10的兩端位置，所述數個第一通氣孔13位于所述曝氣管10的兩端的第二通氣孔14之間的位置；所述第