本發明涉及藍寶石晶體制備工藝技術領域,尤其涉及一種間距可調的藍寶石長晶提拉平臺。
背景技術:
藍寶石又稱白寶石,是世界上硬度僅次于金剛石的晶體材料,由于具有優良的物理、機械、化學及紅外透光性能,一直是微電子、航空航天、軍工等領域急需的材料,尤其是光學級大尺寸藍寶石材料,由于其具有性能穩定、市場需求量大、綜合利用率及產品附加值高等特點,生長高質量大尺寸藍寶石的泡生法設備,成為近年國內外研究開發和產業化熱點。
對于泡生法藍寶石設備,提拉平臺是其中不可或缺的組成部分。其作用是保持水平的條件下,調節籽晶桿位置至路口中心,使晶體能穩定的沿垂直方向生長。目前使用的泡生法設備由于爐體尺寸的不同,其提拉平臺與爐口的間距也就不同,因此,不同設備其提拉平臺盡管結構相似但不具有通用性,往往造成設備的浪費。本發明采用的提拉平臺間距調節系統,能根據提拉平臺與路口的距離大范圍的自動調節水平位置,這樣就能在任意的設備上使用相同的提拉平臺,從而實現了生長設備之間的通用同時減少不同設備保養維護的成本。
技術實現要素:
一種間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,其特征在于,該提拉平臺包括粗調滑軌1,粗調電機2,微調平臺3三個組成部分,其中:微調平臺3位于粗調滑軌1上方,并通過左右兩個卡槽4相連接;粗調電機2位于粗調滑軌1右上方,并與右側卡槽通過絲桿5相連接。
優選的,所述的間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,其特征在于,粗調滑軌1由兩條平行的金屬滑軌組成,粗調間距10厘米。
優選的,所述的間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,其特征在于,所述粗調滑軌1為工字結構,卡槽4可在滑軌上沿水平方向移動。
優選的,所述的間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,其特征在于,卡槽4與微調平臺3鉚接在一起后,微調平臺3可通過卡槽4沿粗調滑軌1在10cm范圍內移動。
優選的,粗調電機2用絲桿5與粗調滑軌1鏈接,可根據實際需要,沿粗調滑軌1自動調節提拉機構的水平位置;用于完成粗調設備的自動化,減少人工操作。
優選的,所述的間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,其特征在于,粗調電機2為勻速直流步進電機,移動精度為1mm。
由于其調節范圍超過10厘米,該可調提拉平臺,可以和任意路口間距的泡生法藍寶石晶體生長系統相匹配,結構簡單,自動化程度高,籽晶中心便于調節,容易保證晶體生長的一致性。
本發明的其他特征和優點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。
附圖說明
下面結合具體的實施例對本發明進一步展開說明,但需要指出的是,本發明所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。對于本領域普通技術人員可以推知的其他結構形式,亦屬于本發明所要求保護的范圍之內。
圖1是本發明提供的間距可調的藍寶石長晶提拉平臺的結構示意圖。
附圖標記說明
1粗調滑軌 2粗調電機
3微調平臺 4卡槽
5絲桿。
具體實施方式
為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白,以下結合具體實施例,并參照附圖,對本發明進一步詳細說明。需要指出的是,本發明所要求保護的結構并不限于實施例及說明書附圖中的具體結構。
在該實施方式中,在未作用相反說明的情況下,使用的方位詞如“上、下、左、右”通常是指如圖1所示的上下左右。“內、外”是指具體輪廓上的內與外。
如圖1所示,圖1是本發明提供的一種間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺。該提拉平臺包括包括粗調滑軌1,粗調電機2,微調平臺3三個組成部分,其中:微調平臺3位于粗調滑軌1上方,并通過卡槽4相連接;粗調電機2位于粗調滑軌1右上方,并與右側卡槽通過絲桿5相連接。
在該實施方式中,在間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺上,粗調滑軌1由兩條平行的金屬滑軌組成,粗調間距10厘米;用于控制調節的幅度,防止出現受力不均勻的現象。
在該實施方式中,在間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,粗調滑軌1為工字結構,卡槽4可在滑軌上沿水平方向移動;用于控制方向。
在該實施方式中,在間距可調的藍寶石晶體生長提拉平臺,卡槽4與微調平臺3鉚接在一起后,微調平臺3可通過卡槽4沿粗調滑軌1在10cm范圍內移動。
在該實施方式中,粗調電機2用絲桿5與粗調滑軌1鏈接,可根據實際需要,沿粗調滑軌1自動調節提拉機構的水平位置;用于完成粗調設備的自動化,減少人工操作。
在該實施方式中,所用的粗調電機2為勻速直流步進電機,移動精度為1mm。用于保證調節的精度,防止過快走動,損壞設備。
以上所述的具體實施方式,對本發明的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明,所應理解的是,以上所述僅為本發明的具體實施例而已,并不用于限制本發明,凡在本發明的精神和原則之內,所做的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本發明的保護范圍之內。