一種真空鍍膜冷卻裝置的制造方法
【專利說明】
[0001 ](一)
技術領域
[0002]本實用新型涉及泡沫金屬生產領域，特別涉及一種真空鍍膜冷卻裝置。
[0003](二)
【背景技術】
[0004]泡沫金屬是一種具有海綿狀三維多孔結構的金屬材料。連續泡沫金屬(例如:泡沫鎳)的規模化生產開始于21世紀初，是一種應用領域廣泛的新技術材料。其中泡沫鎳、泡沫銅可用于鎳氫電池、燃料電池的電極材料，汽車催化劑轉換器、催化燃燒、柴油車黑煙凈化器的催化劑載體，可用作過濾器材料，處理流體中磁性粒子的磁流導體，用于儲氫媒介、熱交換媒介。
[0005]隨著泡沫金屬的應用領域的不斷擴大，泡沫金屬的生產效率和成本成為其生產企業的瓶頸問題。在泡沫金屬的生產過程中涉及泡沫金屬產品模芯導電化處理過程，模芯導電化處理可采用真空鍍膜技術、化學鍍或浸涂導電膠的方法。真空鍍膜工藝具有產品純度高、無污染，成品阻值均勻等顯著優勢，在泡沫金屬生產中已逐步替代化學鍍和浸涂導電膠工藝。
[0006]用于連續泡沫金屬生產模芯導電化處理過程的真空鍍膜過程要在10—1Pa高真空環境下進行。由于真空狀態下熱量的對流、輻射要比大氣狀態下差得多。真空鍍膜時，鍍膜區域溫度達到300°C，這就會造成高分子泡綿基體材料結構的損傷，從而影響了泡沫金屬的產品質量。
[0007](三)【實用新型內容】
[0008]本實用新型為了彌補現有技術的不足，提供了一種真空鍍膜冷卻裝置，可以為鍍膜區域提供良好的溫度環境，改善鍍膜區域的冷卻條件，降低膜芯的溫度，進而提高泡沫金屬產品的質量。
[0009]本實用新型是通過如下技術方案實現的:
[0010]—種真空鍍膜冷卻裝置，其特征在于:包括殼體，殼體內設有N組相對的陰極靶和冷卻裝置;所述陰極靶固定在殼體內壁上，冷卻裝置與密封室連接，該密封室固定在殼體內壁上;所述冷卻裝置與循環管相連，陰極靶與設備的濺射電源相連;所述濺射電源等通過PCL控制器控制。
[0011]所述陰極靶表面為平面，冷卻裝置為長方體冷卻板。
[0012]所述殼體內連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有N條冷卻管道;所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。
[0013]所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。
[0014]所述殼體內連接有密封室，密封室通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有冷卻盤管;所述冷卻板上端設有回水管，下端設有進水管。
[0015]所述陰極靶表面為弧面，冷卻裝置為圓柱形冷卻輥。
[0016]所述殼體內連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥;所述密封室內設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連;所述冷卻輥內部設有中空的中軸，該中軸內設有輸水管;所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連;所述進水管與設在冷卻輥表面內的冷卻管道相連，冷卻管道另一端連接有回水管;所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。
[0017]所述冷卻管道末端設有通水口，該通水口交錯排列。
[0018]所述殼體內連接有密封室，密封室通過法蘭固定連接有冷卻輥;所述密封室內設有與殼體相通的進水道和出水道，進水道與設在殼體外的進水孔相連，出水道與設在殼體外的出水孔相連;所述冷卻輥內部設有中空的中軸，該中軸內設有輸水管;所述輸水管一端通過進水道與進水口相連，輸水管另一端與進水管相連;所述進水管與設在冷卻輥表面內的冷卻盤管相連，冷卻盤管另一端連接有回水管;所述回水管與中軸連接，該中軸通過出水道與出水孔相連。
[0019]鍍膜設備工作時，設備抽到一定的真空度，沖入氬氣，根據工藝要求開啟鍍膜電源，陰極靶材在工作介質的作用下，以一定的能量和速度附著到膜芯上。同時冷卻介質經冷卻板(輥)的進水口，經內部的焊接盤管或加工成型的冷卻管道流到回水口，再通過密封室將真空鍍膜產生的熱量帶到鍍膜室外。依此反復循環實現膜芯的直接冷卻。
[0020]本實用新型的有益效果是:
[0021]本實用新型為鍍膜區域提供良好的溫度環境，其膜芯溫度在-10°C?80°C范圍內可控;本實用新型冷卻機構與膜芯充分接觸，利用冷卻機構里的冷卻介質將膜芯上的熱量帶走。避免造成膜芯(高分子泡綿基體材料)結構的損傷，從而達到提高泡沫金屬的產品質量之目的。
[0022](四)
【附圖說明】
[0023]下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0024]圖1為本實用新型平板式結構示意圖。
[0025]圖2為本實用新型旋轉式結構示意圖。
[0026]圖3為本實用新型冷卻板示意圖。
[0027]圖4為本實用新型冷卻輥示意圖。
[0028]圖中，I牽引輥，2膜芯，3陰極靶，4冷卻裝置，5過渡輥，6放卷機構，7收卷機構，8殼體，9密封室，10濺射電源，11循環管，12冷卻管道，13回水管，14進水管，15通水口，16進水道，17出水道，18中軸，19輸水管。
[0029](五)
【具體實施方式】
[0030]實施例1
[0031]該實施例如圖1所示，包括殼體8，殼體8上下分別設有法蘭;所述殼體8內壁上設有N組相對的陰極靶3和冷卻裝置4;所述冷卻裝置4與循環管11相連，陰極靶3與設在殼體8外壁的濺射電源10相連;所述冷卻裝置4與密封室9連接，該密封室9固定在殼體8內壁上;所述濺射電源10通過PCL控制器控制。所述陰極靶3表面為平面，冷卻裝置4為長方體冷卻板。所述殼體8內連接有密封室9，密封室9通過螺母固定有冷卻板，該冷卻板設有N條冷卻管道12;所述冷卻板上端設有回水管13，下端設有進水管14。所述冷卻管道末端設有通水口 15，該通水口 15交錯排列。
[0032]膜芯2由放卷機構6經過渡輥5到牽引輥I，以一定的角度貼附在冷卻板上，最后經牽引輥1、過渡輥5到收卷機構7實現整個傳動。
[0033]實施例2
[0034]該實施例如圖1所示，包括殼體8，殼體8上下分別設有法蘭;所述殼體8內壁上設有N組相對的陰極靶3和冷卻裝置4;所述冷卻裝置4與循環管11相連，